激光器的能量的控制方法及计算设备与流程

本发明涉及激光器控制领域，具体一种激光器的能量的控制方法及计算设备。

背景技术：

1、准分子激光器是一种波长处于紫外波段的脉冲气体激光器，其工作物质由惰性气体(如，氖气、氩气、氪气、氙气等)和卤族元素(如氟、氯、溴等)做成，在基态时，成两种原子气体混合状，被短脉冲电流激发到高能级时生成化合物，化合物的每个分子由两种气体各贡献一个原子组成，成准分子态。当电子从高能级跃迁到低能级时辐射出紫外激光。

2、而激光器产生的激光质量由气体压力、温度及放电腔的电压等因素来控制，而电压与激光器的产生的能量又直接相关，所以如何确定精准的能量值作为控制反馈输入尤为重要。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题在于，克服现有的技术的不足，提供一种激光器的能量的控制方法及计算设备，从而能够较为稳定控制的激光器的输出能量。

2、为达到上述技术目的，一方面，本发明提供的一种激光器的能量的控制方法，所述激光器包括放电腔，所述方法包括：在激光器曝光的状态下，采集激光器的出光口的多个能量值；采集与多个能量值对应的放电腔的多个电压值，并根据采集到的多个能量值以及对应的多个电压值，确定电压与能量之间的关联关系；获取激光器下发的目标能量值，以调整激光器的出光口的能量，根据所述关联关系，确定目标能量值对应的电压值，并根据确定的电压值控制激光器的能量调整。

3、具体的，所述采集激光器的出光口的多个能量值，包括：通过设置在激光器的出光口的功率计，采集多个时间点的能量值。

4、具体的，所述采集与多个能量值对应的放电腔的多个电压值，包括；通过能量计采集多个时间点对应的电压值，以与多个能量值进行对应。

5、具体的，所述根据采集到的多个能量值以及对应的多个电压值，确定电压与能量之间的关联关系，包括：根据采集到的多个能量值以及对应的多个电压值，确定电压与能量的线性关系。

6、具体的，所述根据确定的电压值控制激光器的能量调整，包括：获取激光器的放电腔的电压值；根据所述获取的电压值以及确定的电压值，确定电压偏差；根据电压偏差，确定所述放电腔的补偿电压，以使对所述放电腔的放电电压进行补偿，以调整激光器的出光口的能量。

7、此外，所述方法还包括：将补偿电压对应的电压信号发送至执行机构，通过所述执行机构将所述补偿电压对应的电压信号进行放大，并将放大后的补偿电压对应的电压信号发送至所述放电腔，以使对所述放电腔的放电电压进行补偿。

8、此外，所述方法还包括：获取激光器的放电腔的能量值；根据获取到的能量值以及目标能量值，确定能量偏差，并提取所述能量偏差中的干扰频率；对所述能量偏差以及所述干扰频率进行自动控制，并根据控制后的对应控制结果，确定所述放电腔的补偿电压；根据电压偏差确定的补偿电压以及控制结果确定的补偿电压，确定最终的补偿电压对所述放电腔的放电电压进行补偿。

9、具体的，所述根据获取到的能量值以及下发的能量值，确定能量偏差，并提取所述能量偏差中的干扰频率，包括：通过能量控制器，接收能量传感器发送的电压信号；通过能量控制器，确定能量信号对应的电压信号以及下发的能量值对应的电压信号的偏差信号，作为能量偏差的对应电压信号，并提取所述能量偏差的对应电压信号中的干扰频率。

10、此外，所述方法还包括：通过能量采集终端，采集多个时间点的能量值；通过测试设备对能量采集终端进行测试，所述测试设备包括主机，所述主机包括：数字处理核心模块、与数字处理核心模块连接的接口汇接模块；所述接口汇接模块连接有多个精密参考电源模块以及多个数模da模块；所述数字处理核心模块通过精密参考电源模块以及数模da模块为能量采集终端提供所需的模拟信号源，以进行能量采集终端的测试；所述精密参考电源模块用于提供所需的电源轨，以使产生对应的电源电压，供所述数模da模块使用；所述数模da模块用于产生测试波形，以向能量采集终端提供所需的模拟信号源。

11、另一方面，本发明提供的一种计算设备，包括：处理器、存储器；所述存储器，用于存储计算设备中的程序；所述处理器，执行存储器中的程序，以用于：在激光器曝光的状态下，采集激光器的出光口的多个能量值；采集与多个能量值对应的放电腔的多个电压值，并根据采集到的多个能量值以及对应的多个电压值，确定电压与能量之间的关联关系；获取激光器下发的目标能量值，以调整激光器的出光口的能量，根据所述关联关系，确定目标能量值对应的电压值，并根据确定的电压值控制激光器的能量调整。

12、在本申请实施例中，在激光器曝光的状态下，采集激光器的出光口的多个能量值；采集与多个能量值对应的放电腔的多个电压值，并根据采集到的多个能量值以及对应的多个电压值，确定电压与能量之间的关联关系；获取激光器下发的目标能量值，以调整激光器的出光口的能量，根据关联关系，确定目标能量值对应的电压值，并根据确定的电压值控制激光器的能量调整。使得根据关联关系较为精准地确定目标能量值对应的电压值，从而可以较为稳定地控制激光器的输出能量。

技术特征：

1.一种激光器的能量的控制方法，其特征在于，所述激光器包括放电腔，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述采集激光器的出光口的多个能量值，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述采集与多个能量值对应的放电腔的多个电压值，包括；

4.根据权利要求1述的方法，其特征在于，所述根据采集到的多个能量值以及对应的多个电压值，确定电压与能量之间的关联关系，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据确定的电压值控制激光器的能量调整，包括：

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述根据获取到的能量值以及下发的能量值，确定能量偏差，并提取所述能量偏差中的干扰频率，包括：

9.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

10.一种计算设备，其特征在于，包括：处理器、存储器；

技术总结
本申请实施例提供一种激光器的能量的控制方法及计算设备。在本申请实施例中，在激光器曝光的状态下，采集激光器的出光口的多个能量值；采集与多个能量值对应的放电腔的多个电压值，并根据采集到的多个能量值以及对应的多个电压值，确定电压与能量之间的关联关系；获取激光器下发的目标能量值，以调整激光器的出光口的能量，根据关联关系，确定目标能量值对应的电压值，并根据确定的电压值控制激光器的能量调整。使得根据关联关系较为精准地确定目标能量值对应的电压值，从而可以较为稳定地控制激光器的输出能量。

技术研发人员：袁海涛,冯泽斌,徐向宇,刘广义
受保护的技术使用者：北京科益虹源光电技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16