装载锁定模块的制作方法

本发明涉及一种基板处理的发明，具体而言，涉及一种基板临时装载的装载锁定模块(load lock module)。

背景技术：

1、内存器、非内存器等的半导体、液晶显示器、oled面板、太阳能电池面板都是通过蚀刻、沉积等基板处理工艺而制造的。

2、并且，基板处理工艺由包括执行基板处理工艺的工艺模块、将基板导入和移出至工艺模块的装载锁定模块、卸载锁定模块等的基板处理系统来完成执行。

3、在此，装载锁定模块和卸载锁定模块，可根据基板的导入位置和移出位置由一个模块或单独的独立模块构成，装载锁定模块和卸载锁定模块，其构成方式实质上是相同或相似的，因此为了方便而对其统称为装载锁定模块。

4、另外，基板处理系统，根据是否具备向工艺模块传送基板的传送模块、工艺模块的数字及设置，具有内线型和集群型。工艺模块、传送模块、装载锁定模块包括腔体，其形成有预先设定压力环境。

5、另外，装载锁定模块/卸载锁定模块，是在比外部大气压低的气压下，即设置在工艺气压下的工艺模块或移送模块之间而导入或移出基板的模块，需要在大气压～工艺压之间进行相应的压力转换。

6、此时，通常利用将氮气等气体注入腔体的方法来进行从工艺压力向大气压的压力的转换。并且只有使压力转换时间最小化，才能提高工艺速度。

7、但是将气体以高压注入腔体以提高压力转换速度时，由于气体的流动而会引起基板抖动，进而由于基板抖动而损坏基板，存在这样的问题。

8、由此，压力转换速度的限制，即气体的注入压力受到限制，进而压力转换时间增加，从而导致基板处理速度降低，最终生产率就降低了。

9、特别是像液晶显示面板、oled面板等基板尺寸出现大型化的趋势，以及为了能在一个腔体内对多个基板进行基板处理，各个模块的腔体尺寸也有大型化的趋势。由此压力转换的腔体内体积增加，压力转换时间就会增加，这类问题就会进一步扩大。

10、(专利文献1)kr 10-1703767b1

11、(专利文献2)kr 10-1713630b1

技术实现思路

1、技术问题

2、本发明的目的在于，为了解决上述技术课题而提供一种装载锁定模块，通过设置气体阻隔部，使压力转换气体不直接喷设至基板，通过使压力转换气体的注入压增加，来加快压力转换速度，从而增强基板处理速度。

3、解决问题的手段

4、本发明的目的在于，解决上述课题而创作，本发明公开了一种装载锁定模块，其特征在于，包括：腔体100，至少形成一个密闭的内部空间s；基板支撑部150,设置于上述内部空间s,并支撑基板10；气体喷射部140，设置于上述腔体100，向上述内部空间s喷射压力转换气体；以及气体阻隔部200，防止在上述气体喷射部140喷射的压力转换气体直接喷射至安装于上述基板支撑部150上的基板10。

5、上述气体喷射部140，可设置于上述腔体100的侧壁上。

6、上述气体喷射部140，可包括：气体供应管141，贯通上述腔体100而设置；以及扩散器部142，与上述腔体100的内壁平行，与上述气体供应管141相连接。

7、上述扩散器部142，在其侧面具有多个气体喷射孔143形成的中空气缸的形状。

8、上述中空气缸的一侧末端，连接上述气体供应管141，上述空气气缸的另一侧末端，具有密闭的结构，可仅向上述气体喷射孔143形成的侧面喷射上述压力转换气体。

9、上述扩散器部142，其高度的设定比安装在上述基板支撑部150上的基板10的高度低。

10、上述气体阻隔部200，可与上述腔体100的内壁平行设置，上述气体阻隔部200沿水平方向的长度要比上述扩散器部142沿水平方向的长度要长。

11、上述气体阻隔部200，可由平板部件构成，并包括：固定结合部分210，对上述腔体100进行直接或间接地固定结合；以及阻隔部分220、230，从上述固定结合部分210延伸，防止上述压力转换气体直接喷射至安装在上述基板支撑部150上的基板10。

12、上述阻隔部分220、230可包括：第一阻隔部分230，从上述固定结合部分210向上侧延伸，直至安装在上述基板支撑部150上的基板10的高度；第二阻隔部分220，从上述第一阻隔部分230延伸，使上述压力转换气体以安装在上述基板支撑部150上的基板10的表面为基准向上侧流动。

13、上述第二阻隔部分220，可从上述第一阻隔部分230开始延伸，并形成向气体喷射部140倾斜的结构。

14、上述固定结合部分210，固定结合于上述内部空间(s)的底面，或者结合于上述基板支撑部150的侧面。

15、上述腔体100，可包括：上下设置的一对内部空间s。

16、上述腔体100，可包括：腔体主体110，沿上下方向形成一对内部空间s，并在其侧面至少形成一个栅极113；以及上引线120和下引线130，分别可拆卸地结合于上述腔体主体110的上侧开口和下侧开口，并能密闭上述一对内部空间s。

17、上述腔体主体110，可包括：分隔板114，分隔上述一对内部空间s；以及至少一个侧壁部，结合于上述分隔板114，并形成上述内部空间s的侧壁；上述上引线120和下引线130，可拆卸地结合于因上述分隔板114和上述侧壁部的结合而形成的上侧开口和下侧开口。

18、上述侧壁部，可在内侧面结合有突出形成的可拆卸结合部118上，能分别支撑上述上引线120和下引线130的边缘位置。

19、上述基板支撑部150，可包括从上述内部空间s的底面开始向上凸起形成的多个支撑销。

20、上述基板支撑部150，可包括：销基部152，设置于内部空间s的底面；至少一个支撑柱151，支撑面相对较小且设置在上述销基部152。

21、发明效果

22、本发明的装载锁定模块具有气体阻隔部，用于防止压力转换气体直接喷射到基板上。并且通过注入压力转换气体来增加压力，从而加快内部空间的压力转换速度，进而提高基板处理速度，具有这样的优势。

23、特别是本发明的装载锁定模块通过设置气体阻隔部，用于防止压力转换气体直接喷射到基板上，为了保证基板能得到大面积处理，即使增加内部空间，使压力转换气体的注入压力增加，从而防止压力转换时间的增加，进而减少处理时间，最终可以大幅提高基板处理的生产率。

24、具体而言，为了使注入气体时间最小化，则有必要增加压力转换气体的注入压力。根据本发明的装载锁定模块通过设置气体阻隔部，以防止压力转换气体直接喷射到基板上。即使增加了压力转换气体的注入压力，也可以防止基板抖动或损坏基板，进而提高工艺的成品率。同时通过将压力转换时间最小化，减少了工艺时间，同时还能大幅提高基板处理的生产率。

技术特征：

1.一种装载锁定模块，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装载锁定模块，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的装载锁定模块，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的装载锁定模块，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的装载锁定模块，其特征在于，

6.根据权利要求3所述的装载锁定模块，其特征在于，

7.根据权利要求3所述的装载锁定模块，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的装载锁定模块，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的装载锁定模块，其特征在于，

10.根据权利要求8所述的装载锁定模块，其特征在于，

11.根据权利要求8所述的装载锁定模块，其特征在于，

12.根据权利要求1至11项中的任意一项所述的装载锁定模块，其特征在于，

13.根据权利要求12所述的装载锁定模块，其特征在于，

14.根据权利要求13所述的装载锁定模块，其特征在于，

15.根据权利要求14所述的装载锁定模块，其特征在于，

16.根据权利要求1至11项中的任意一项所述的装载锁定模块，其特征在于，

17.根据权利要求1至11项中的任意一项所述的装载锁定模块，其特征在于，

技术总结
本说明涉及一种基板处理的发明，具体而言，涉及一种临时装载基板的装载锁定模块，包括：腔体(100)，至少形成一个密闭的内部空间(S)；基板支撑部(150),设置于上述内部空间(S),并支撑基板(10)；气体喷射部(140)，设置于上述腔体(100)，向上述内部空间(S)喷射压力转换气体；以及气体阻隔部(200)，防止在上述气体喷射部(140)喷射的压力转换气体直接喷射至安装于上述基板支撑部(150)上的基板(10)。

技术研发人员：许贤康
受保护的技术使用者：圆益IPS股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13