载具存取系统及载具的制作方法

本申请涉及一种载具存取系统及载具，特别是一种可以应用于承载半导体对象或其他须以载具保护的对象的载具及载具存取系统。

背景技术：

1、常见半导体对象的承装载具，例如各式晶圆盒，被移载至相关的存取设备时，存取设备会开启晶圆盒的盖子，并将晶圆盒中的晶圆取出，或者，将晶圆置入于晶圆盒中，而后，存取设备会再将盖子固定回晶圆盒。此种存取设备在将晶圆取出或是置入于晶圆盒前，或是于将晶圆取出或是置入于晶圆盒的过程中，容易因为各种因素，发生晶圆盒无法对正摆放或是晶圆盒倾倒的问题。若晶圆盒无法对正摆放或发生倾倒时，将导致严重的损失。

技术实现思路

1、本申请公开一种载具存取系统及载具，主要用以改善现有的载具及相关存取设备，在取出或是置入相关对象于载具前，载具无法对正摆放的问题；以及在取出或是置入相关对象于载具的过程中，容易发生载具倾倒的问题。

2、本申请的其中一个实施例公开一种载具存取系统，其包含：控制装置；载台装置，其包含载台，载台用以提供载具置放；支撑结构，其邻近于载台设置；开门组件，其邻近载台及支撑结构设置，开门组件用以使设置于载台上的载具的门板，离开载具的本体；移载装置，其电性连接控制装置，控制装置能控制移载装置，以取出设置于载台的载具中的至少一个物件，或将至少一个物件置入于载具中；顶部固定机构，其设置于支撑结构，顶部固定机构包含：至少一个驱动组件，其与支撑结构相连接；至少一个固定组件，其与驱动组件相连接；驱动组件能被控制装置控制而作动，据以带动固定组件作动；其中，当载台上设置有载具时，控制装置能控制顶部固定机构，以使本体的顶部，被固定组件固定；其中，固定组件固定载具的顶部时，固定组件是抵顶本体的顶部的顶面上的定位结构远离本体的侧开口的一侧；门板是用来遮蔽侧开口。

3、可选地，载台装置还包含固定座、活动机构及至少一个传感器，载台通过活动机构与固定座连接；控制装置能控制活动机构，而使载台相对于固定座活动；传感器设置于载台；传感器用以感测载台上是否设置有载具，并对应产生感测讯号；当控制装置依据其所接收感测讯号，判定载台上设置有载具时，控制装置能先控制活动机构，以使设置于载台上的载具，向靠近固定组件的方向及靠近支撑结构的方向移动，再控制顶部固定机构，以使固定组件固定设置于载台上的载具的顶部。

4、可选地，固定组件包含活动件及至少一个滚轮，活动件与驱动组件相连接，控制装置能控制驱动组件，以使活动件向靠近或远离支撑结构的方向移动；滚轮可旋转地设置于活动件远离支撑结构的一端；定位结构包含两个导引斜面；当控制装置控制驱动组件，而带动活动件及滚轮向靠近支撑结构的方向移动时，滚轮将沿相邻的导引斜面移动，据以调整载具相对于载台的位置。

5、可选地，滚轮的外围包含金属层，金属层用以抵靠于定位结构。

6、可选地，载具存取系统还包含至少一个载具。

7、可选地，定位结构的顶部包含容置凹槽，容置凹槽用以容置滚轮，形成容置凹槽的彼此相面对的两个壁面为两个导引斜面，且两个导引斜面彼此间的距离，是由靠近侧开口的一端向远离侧开口的一端渐增。

8、可选地，固定组件包含两个滚轮及两个活动件，两个活动件彼此间隔地设置，定位结构包含中间部及两个抵靠部，中间部的两侧与两个抵靠部连接，而中间部位于两个抵靠部之间，中间部的两侧具有两个导引斜面，各个导引斜面与相邻的抵靠部共同形成容置缺口，各个容置缺口用以容置一个滚轮，两个导引斜面彼此间的直线距离，由靠近侧开口的一端向远离侧开口的一端递减。

9、可选地，顶部固定机构还包含移动组件，移动组件设置于支撑结构，且移动组件与驱动组件相连接，控制装置能控制移动组件，以使驱动组件及固定组件向远离或靠近载台装置的方向移动；控制装置能控制驱动组件，以使固定组件向靠近或远离支撑结构的方向移动。

10、本申请的其中一个实施例公开一种载具，其包含：本体，其一侧具有侧开口，本体具有侧开口的一侧内凹形成有容槽，容槽用以容置至少一个对象；定位结构，其设置于本体的顶部的顶面；门板，其可拆卸地设置于本体，以封闭侧开口；其中，载具设置于载具存取系统的载台装置后，定位结构能与载具存取系统的顶部固定机构配合，以使载具的顶部被固定。

11、可选地，定位结构包含容置凹槽，容置凹槽用以容置顶部固定机构的滚轮，形成容置凹槽的彼此相面对设置的两个壁面为两个导引斜面，且两个导引斜面彼此间的距离，由靠近侧开口的一端向远离侧开口的一端渐增。

12、可选地，定位结构包含中间部及两个抵靠部，中间部的两侧与两个抵靠部连接，而中间部位于两个抵靠部之间，中间部的两侧具有两个导引斜面，各个导引斜面与相邻的抵靠部共同形成容置缺口，各个容置缺口用以容置一个顶部固定机构的滚轮，两个导引斜面彼此间的直线距离，由靠近侧开口的一端向远离侧开口的一端渐减。

13、综上所述，本申请的载具存取系统及载具，通过载具存取系统的顶部固定机构、载具的定位结构等设计，可以让载具存取系统在将载具内的对象取出，或是，将对象置入载具前，可使载具相对于支撑结构对正设置；以及可以让载具存取系统在将载具内的对象取出，或是，将对象置入载具的过程中，不会发生载具倾倒的问题。

14、为能更进一步了解本申请的特征及技术内容，请参阅以下有关本申请的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本申请，而非对本申请的保护范围作任何的限制。

技术特征：

1.一种载具存取系统，其特征在于，所述载具存取系统包含：

2.依据权利要求1所述的载具存取系统，其特征在于，所述载台装置还包含固定座、活动机构及至少一个传感器，所述载台通过所述活动机构与所述固定座连接；所述控制装置能控制所述活动机构，而使所述载台相对于所述固定座活动；所述传感器设置于所述载台；所述传感器用以感测所述载台上是否设置有所述载具，并对应产生感测讯号；当所述控制装置依据其所接收所述感测讯号，判定所述载台上设置有所述载具时，所述控制装置能先控制所述活动机构，以使设置于所述载台上的所述载具，向靠近所述固定组件的方向及靠近所述支撑结构的方向移动，再控制所述顶部固定机构，以使所述固定组件固定设置于所述载台上的所述载具的所述顶部。

3.依据权利要求1所述的载具存取系统，其特征在于，所述固定组件包含活动件及至少一个滚轮，所述活动件与所述驱动组件相连接，所述控制装置能控制所述驱动组件，以使所述活动件向靠近或远离所述支撑结构的方向移动；所述滚轮可旋转地设置于所述活动件远离所述支撑结构的一端；所述定位结构包含两个导引斜面；当所述控制装置控制所述驱动组件，而带动所述活动件及所述滚轮向靠近所述支撑结构的方向移动时，所述滚轮将沿相邻的所述导引斜面移动，据以调整所述载具相对于所述载台的位置。

4.依据权利要求3所述的载具存取系统，其特征在于，所述滚轮的外围包含金属层，所述金属层用以抵靠于所述定位结构。

5.依据权利要求3所述的载具存取系统，其特征在于，所述载具存取系统还包含至少一个所述载具。

6.依据权利要求3所述的载具存取系统，其特征在于，所述定位结构的所述顶部包含容置凹槽，所述容置凹槽用以容置所述滚轮，形成所述容置凹槽的彼此相面对的两个壁面为两个所述导引斜面，且两个所述导引斜面彼此间的距离，是由靠近所述侧开口的一端向远离所述侧开口的一端渐增。

7.依据权利要求3所述的载具存取系统，其特征在于，所述固定组件包含两个所述滚轮及两个所述活动件，两个所述活动件彼此间隔地设置，所述定位结构包含中间部及两个抵靠部，所述中间部的两侧与两个所述抵靠部连接，而所述中间部位于两个所述抵靠部之间，所述中间部的两侧具有两个所述导引斜面，各个所述导引斜面与相邻的所述抵靠部共同形成容置缺口，各个所述容置缺口用以容置一个所述滚轮，两个所述导引斜面彼此间的直线距离，由靠近所述侧开口的一端向远离所述侧开口的一端递减。

8.依据权利要求1所述的载具存取系统，其特征在于，所述顶部固定机构还包含移动组件，所述移动组件设置于所述支撑结构，且所述移动组件与所述驱动组件相连接，所述控制装置能控制所述移动组件，以使所述驱动组件及所述固定组件向远离或靠近所述载台装置的方向移动；所述控制装置能控制所述驱动组件，以使所述固定组件向靠近或远离所述支撑结构的方向移动。

9.一种载具，其特征在于，所述载具包含：

10.依据权利要求9所述的载具，其特征在于，所述定位结构包含容置凹槽，所述容置凹槽用以容置所述顶部固定机构的滚轮，形成所述容置凹槽的彼此相面对设置的两个壁面为两个导引斜面，且两个所述导引斜面彼此间的距离，由靠近所述侧开口的一端向远离所述侧开口的一端渐增。

11.依据权利要求9所述的载具，其特征在于，所述定位结构包含中间部及两个抵靠部，所述中间部的两侧与两个所述抵靠部连接，而所述中间部位于两个所述抵靠部之间，所述中间部的两侧具有两个导引斜面，各个所述导引斜面与相邻的所述抵靠部共同形成一容置缺口，各个所述容置缺口用以容置一个顶部固定机构的滚轮，两个所述导引斜面彼此间的直线距离，由靠近所述侧开口的一端向远离所述侧开口的一端渐减。

技术总结
本申请公开一种载具存取系统及载具。载具存取系统包含控制装置、载台装置、支撑结构、开门组件、移载装置及顶部固定机构。载台装置用以承载载具。顶部固定机构设置于支撑结构。开门组件用以开启载具的门板。移载装置用以取出载具中的对象，或将对象置入于载具中。控制装置能控制顶部固定机构作动，以固定设置于载台装置的载具的顶部，而限制载具相对于载台装置的活动范围。本申请的载具存取系统，在准备将对象移入或移出载具前，可使载具相对于支撑结构对正设置；且在将对象移入或移出载具的过程中，可使载具不会发生倾倒的情况。

技术研发人员：陈义明,陈伯炫
受保护的技术使用者：盟立自动化股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16