线缆台及半导体制造设备的制作方法

本发明涉及半导体制造，具体而言，涉及一种线缆台及半导体制造设备。

背景技术：

1、半导体制造设备运行时，需要为硅片台和掩模台等载片台配备大量的信号线、功率线、气管和水管等线缆，载片台运动的过程中，线缆与载片台连接的一端会受到载片台的拖拽随其同步移动；为了减少线缆拖拽载片台对其运动精度造成的不良影响，现有半导体制造设备中一般会设置线缆台以带动线缆随载片台同步移动，现有线缆台一般采用直线电机作为驱动源，并采用导轨进行导向，运行过程中，部件之间相对接触摩擦会产生大量污染物颗粒，导致周围环境的发尘量恶化，进而影响周围环境的洁净度以及产品的质量。

技术实现思路

1、本发明的目的包括提供一种线缆台及半导体制造设备，以解决现有线缆台运行时会产生大量污染物颗粒，影响周围环境的洁净度以及产品质量的技术问题。

2、为解决上述问题，本发明提供一种线缆台，包括沿z向依次排布的基座、磁钢定子、线圈动子和载座，所述磁钢定子连接于所述基座，所述线圈动子连接于所述载座，所述基座和所述载座两者中，其中一者设有限位槽，所述限位槽的长度方向与y向一致、槽深方向与x向一致；另一者设有挂钩，所述挂钩的限位部插接于所述限位槽，且所述限位部与所述限位槽的槽底壁之间存在x向调节间隙、与所述限位槽的槽侧壁之间存在z向调节间隙。

3、可选地，所述基座和所述载座两者中，所述限位部通过所述挂钩的连接部连接于相应的一者，且所述限位部与所述连接部呈折角状；所述连接部朝向所述限位槽的一侧设有辅助限位面，所述辅助限位面与所述限位槽的槽端面的间距为sf，所述限位部与所述槽底壁的间距为sx，sf≤sx。

4、可选地，所述限位槽为两个，所述基座和所述载座两者中，两个所述限位槽位于相应一者的相对两侧，且两个所述限位槽的槽口相向或背向设置；所述挂钩为两组，两组挂钩与两个所述限位槽一一对应。

5、可选地，所述基座为矩形体，所述限位槽的长度方向与所述基座的y向侧边的长度方向一致；与同一所述限位槽配合的所述挂钩的数目至少为两个，且所述挂钩之间间隔设置。

6、可选地，所述基座x向的两侧均向下设有限位凸台，所述限位凸台沿y向延伸；两个所述限位槽与两个所述限位凸台一一对应，且所述限位槽设于对应的所述限位凸台的内侧壁。

7、可选地，所述基座与所述载座之间设有重力补偿组件。

8、可选地，所述重力补偿组件包括多个补偿件，多个所述补偿件分散排布于所述载座边缘区域。

9、可选地，所述载座位于所述基座的下方，且所述限位凸台为导磁体；所述载座的顶部设有补偿磁钢，所述补偿磁钢与所述限位凸台上下对应。

10、可选地，所述线缆台还包括限位臂，所述限位臂连接于所述载座。

11、本发明还提供了一种半导体制造设备，包括工作台、载片台、线缆和上述线缆台，所述线缆台的基座安装于所述工作台，所述线缆连接于所述载片台与所述线缆台的载座之间。

12、本发明提供的线缆台中的磁钢定子和线圈动子形成平面电机形式的驱动件，两者之间采用非接触式的磁悬浮驱动运动方式，在实现对载座六自由度的驱动下，产生热量较少，且能够大大减少驱动件自身或驱动件与工作台之间接触摩擦产生的污染物颗粒，相应减少对周围环境发尘量、真空度、温度等造成的不良影响，从而确保周围环境的洁净度以及产品的良率。

13、此外，该线缆台中，载座和基座通过挂钩与限位槽的配合实现连接限位，在确保载座能够于x向、y向、z向、rx、ry和rz六个自由度位置调节的基础上，限位槽的槽侧壁能够对限位部进行z向限位、槽底壁对限位部进行x向限位，相应实现对载座于z向及x向运动行程的限位，从而提高载座的运动位置精确度，减少载座运动行程超出设定范围与其他部件碰撞造成的损坏；此外，非工作状态下，当线圈动子断电时，限位部能够在载座重力作用下向下运动并搭接于限位槽下方的槽侧壁，即载座可以通过限位部与限位槽的搭接作用悬挂于基座，无需线圈动子出力，且能够确保线圈动子位于磁钢定子的有效磁场范围内，需要工作时，直接向线圈动子通电即可正常运行，从而提高线缆台的使用便捷度。

技术特征：

1.一种线缆台，其特征在于，包括沿z向依次排布的基座(100)、磁钢定子、线圈动子(200)和载座(300)，所述磁钢定子连接于所述基座(100)，所述线圈动子(200)连接于所述载座(300)，所述基座(100)和所述载座(300)两者中，其中一者设有限位槽(110)，所述限位槽(110)的长度方向与y向一致、槽深方向与x向一致；另一者设有挂钩(310)，所述挂钩(310)的限位部(311)插接于所述限位槽(110)，且所述限位部(311)与所述限位槽(110)的槽底壁(111)之间存在x向调节间隙、与所述限位槽(110)的槽侧壁(112)之间存在z向调节间隙。

2.根据权利要求1所述的线缆台，其特征在于，所述基座(100)和所述载座(300)两者中，所述限位部(311)通过所述挂钩(310)的连接部(312)连接于相应的一者，且所述限位部(311)与所述连接部(312)呈折角状；所述连接部(312)朝向所述限位槽(110)的一侧设有辅助限位面(312a)，所述辅助限位面(312a)与所述限位槽(110)的槽端面(113)的间距为sf，所述限位部(311)与所述槽底壁(111)的间距为sx，sf≤sx。

3.根据权利要求1所述的线缆台，其特征在于，所述限位槽(110)为两个，所述基座(100)和所述载座(300)两者中，两个所述限位槽(110)位于相应一者的相对两侧，且两个所述限位槽(110)的槽口相向或背向设置；所述挂钩(310)为两组，两组挂钩(310)与两个所述限位槽(110)一一对应。

4.根据权利要求3所述的线缆台，其特征在于，所述基座(100)为矩形体，所述限位槽(110)的长度方向与所述基座(100)的y向侧边的长度方向一致；与同一所述限位槽(110)配合的所述挂钩(310)的数目至少为两个，且所述挂钩(310)之间间隔设置。

5.根据权利要求4所述的线缆台，其特征在于，所述基座(100)x向的两侧均向下设有限位凸台(120)，所述限位凸台(120)沿y向延伸；两个所述限位槽(110)与两个所述限位凸台(120)一一对应，且所述限位槽(110)设于对应的所述限位凸台(120)的内侧壁。

6.根据权利要求1-5任一项所述的线缆台，其特征在于，所述基座(100)与所述载座(300)之间设有重力补偿组件。

7.根据权利要求6所述的线缆台，其特征在于，所述重力补偿组件包括多个补偿件，多个所述补偿件分散排布于所述载座(300)边缘区域。

8.根据权利要求5所述的线缆台，其特征在于，所述载座(300)位于所述基座(100)的下方，且所述限位凸台(120)为导磁体；所述载座(300)的顶部设有补偿磁钢(320)，所述补偿磁钢(320)与所述限位凸台(120)上下对应。

9.根据权利要求1-5任一项所述的线缆台，其特征在于，所述线缆台还包括限位臂(400)，所述限位臂(400)连接于所述载座(300)。

10.一种半导体制造设备，其特征在于，包括工作台、载片台、线缆和权利要求1-9任一项所述的线缆台，所述线缆台的基座(100)安装于所述工作台，所述线缆连接于所述载片台与所述线缆台的载座(300)之间。

技术总结
本发明提供一种线缆台及半导体制造设备，涉及半导体制造技术领域。该线缆台包括沿Z向依次排布的基座、磁钢定子、线圈动子和载座，磁钢定子连接于基座，线圈动子连接于载座，基座和载座两者中，其中一者设有限位槽，限位槽的长度方向与Y向一致、槽深方向与X向一致；另一者设有挂钩，挂钩的限位部插接于限位槽，且限位部与限位槽的槽底壁之间存在X向调节间隙、与限位槽的槽侧壁之间存在Z向调节间隙。该半导体制造设备包括工作台、载片台、线缆和上述线缆台，线缆台的基座安装于工作台，线缆连接于载片台与线缆台的载座之间。该线缆台采用无接触式磁悬浮运动方式，运行时对周围环境的洁净度影响较小，从而减少产品污染程度，提升产品良率。

技术研发人员：郭少龙,王利臣,张志刚
受保护的技术使用者：北京华卓精科科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/12