图像感测装置的制作方法

本专利文档中公开的技术和实现总体上涉及包括能够生成与入射光的强度相对应的电信号的像素的图像感测装置。

背景技术：

1、图像感测装置是用于通过使用对光起反应的光敏半导体材料将光转换为电信号来捕获光学图像的装置。随着汽车、医疗、计算机和通信行业的发展，在诸如智能电话、数码相机、游戏机、iot(物联网)、机器人、安防摄像头和医疗微型相机之类的各个领域中，对高性能图像感测装置的需求不断增加。

2、图像感测装置大致可以分为ccd(电荷耦合器件)图像感测装置和cmos(互补金属氧化物)图像感测装置。与cmos图像感测装置相比，ccd图像感测装置提供更好的图像质量，但是它们往往消耗更多的功率并且更大。cmos图像感测装置比ccd图像感测装置尺寸更小并且功耗更低。此外，使用cmos制造技术制造cmos传感器，因此可以将光敏元件和其它信号处理电路集成到单个芯片中，使得能够以更低成本生产小型化的图像感测装置。由于这些原因，正在为包括移动装置在内的许多应用开发cmos图像感测装置。

技术实现思路

1、所公开的技术的各种实施方式涉及具有提高的光接收(rx)效率的图像感测装置。

2、根据所公开的技术的实施方式，一种图像感测装置可以包括：透镜模块，其被构造为会聚来自场景的入射光，并且产生携带场景的图像信息的输出光束；以及像素阵列，其相对于透镜模块定位，以接收来自透镜模块的输出光束，并且被构造为包括多个像素，每个像素被构造为检测来自透镜模块的输出光束的光以生成携带场景的图像信息的电信号。像素阵列包括透镜模块的光轴穿过的中央区域、以及与透镜模块的光轴间隔开预定距离的边缘区域。边缘区域包括第一像素，并且边缘区域中包括的第一像素包括：半导体区域，其包括光电转换元件，光电转换元件被构造为通过转换输出光束的光来生成携带场景的图像信息的光电荷；以及微透镜，其包括从第一像素和更远离光轴设置的另一相邻的第一像素之间的边界延伸的反射表面，并且设置于半导体区域上方。反射表面的倾斜角依据像素相对于中央区域的位置而变化。

3、根据所公开的技术的另一实施方式，一种图像感测装置可以包括：半导体区域，其包括光电转换元件，光电转换元件被构造为生成与入射光的强度相对应的光电荷；以及微透镜，其设置于半导体区域上方以将入射光引导至半导体区域，并且包括反射表面，反射表面被构造为将入射到微透镜上的光朝向对应于微透镜的像素反射。反射表面相对于微透镜的底表面具有预定的倾斜角，并且反射表面的倾斜角依据对应于微透镜的像素的位置而变化。

4、要理解的是，所公开的技术的上述概括描述和以下详细描述二者都是例示性和解释性的，并且旨在提供对所要求保护的公开内容的进一步解释。

技术特征：

1.一种图像感测装置，所述图像感测装置包括：

2.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中：

3.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中：

4.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中：

5.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中：

6.根据权利要求5所述的图像感测装置，其中：

7.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述中央区域中包括的像素包括：

8.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述像素阵列还包括：

9.根据权利要求8所述的图像感测装置，其中：

10.根据权利要求9所述的图像感测装置，其中，所述中央边缘区域中包括的第二像素包括：

11.根据权利要求10所述的图像感测装置，其中：

12.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述像素还包括：

13.根据权利要求12所述的图像感测装置，其中：

14.一种图像感测装置，所述图像感测装置包括：

15.根据权利要求14所述的图像感测装置，其中：

16.根据权利要求14所述的图像感测装置，其中：

17.根据权利要求14所述的图像感测装置，其中：

18.根据权利要求14所述的图像感测装置，其中：

技术总结
本申请涉及图像感测装置。一种图像感测装置包括：透镜模块，其被构造为会聚来自场景的入射光并产生携带场景的图像信息的输出光束；以及像素阵列，其相对于透镜模块定位以接收来自透镜模块的输出光束并且被构造为包括多个像素，每个像素被构造为检测来自透镜模块的输出光束的光以生成携带场景的图像信息的电信号。

技术研发人员：李殷光
受保护的技术使用者：爱思开海力士有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13