一种双频微机电毫米波天线的制作方法

本发明涉及天线，尤其涉及一种双频微机电毫米波天线。

背景技术：

1、随着无线通信事业和雷达的深入研究和应用发展，毫米波通信技术备受关注,例如5g毫米波通信、汽车雷达、毫米波卫星通信等应用。无线技术在为人们带来便利的同时，也对系统各个器件的重量、尺寸、带宽等性能指标提出了越来越高的要求。毫米波通常指的是频率处于30ghz-300ghz的电磁波，其波长在1cm-1mm之间。作为毫米波最突出的优势之一，毫米波波段能够实现比微波频段更宽的带宽和更多的信道，实现甚至高达10gbps以上的无线传输速率。毫米波天线作为通信系统中重要组成部分，是毫米波通信技术的核心技术之一，也是未来发展重要方向。

2、传统的一个毫米波天线只能产生一个频段的信号，若需要两个频段的信号，则需要两个天线来生成两个频段的信号，这极大的提高了使用成本。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种双频微机电毫米波天线，能够产生两个频段的电磁波，天线尺寸小、带宽宽、增益高，且具有良好的天线性能。

2、为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

3、本发明实施例的一方面提供了一种双频微机电毫米波天线，所述双频微机电毫米波天线包括：主辐射天线，所述主辐射天线用于辐射无线信号；同轴馈线，所述同轴馈线的一端与所述主辐射天线连接；寄生辐射天线，所述寄生辐射天线设置于所述主辐射天线的一侧；金属槽，所述主辐射天线和所述寄生辐射天线均设置于所述金属槽的槽口，所述同轴馈线的另一端贯穿所述金属槽的侧壁向外侧延伸，以用于接收馈电信号。

4、在一些实施例中，所述主辐射天线包括第一辐射块和第一延长块，所述寄生辐射天线包括第二辐射块和第二延长块，所述第一辐射块和所述第二辐射块左右对齐设置，所述第一辐射块和所述第二辐射块的纵向长度相同，所述第一延长块与所述第一辐射块的顶部连接，所述第二延长块与所述第二辐射块的底部连接。

5、在一些实施例中，所述同轴馈线包括内部导线和外部通道，所述内部导线设置于所述外部通道内，所述外部通道与所述金属槽的侧壁连通，所述内部导线的一端与所述主辐射天线连接，另一端用于接收馈电信号。

6、在一些实施例中，所述同轴馈线还包括支撑条，所述外部通道内设置有多个支撑条，所述内部导线设置于所述支撑条上，所述内部导线和所述外部通道的内壁之间为空气介质。

7、在一些实施例中，所述双频微机电毫米波天线还包括支撑脚，所述支撑脚的两端分别连接所述金属槽的底部和所述寄生辐射天线，以用于支撑所述寄生辐射天线。

8、在一些实施例中，所述主辐射天线、寄生辐射天线和金属槽的侧壁均开设有多个释放孔。

9、在一些实施例中，所述金属槽的左侧壁内侧和右侧壁内侧均连接有第一凸块，所述金属槽的上侧壁内侧和下侧壁内侧均连接有第二凸块。

10、在一些实施例中，所述双频微机电毫米波天线采用mems工艺技术加工制作而成。

11、在一些实施例中，所述双频微机电毫米波天线可采用钛金或铬金或铂金或钛铂金或铜或铝制成。

12、在一些实施例中，所述主辐射天线的形状可以是矩形或梯形或圆形或三角形或e型或c型；所述寄生辐射天线的形状可以是矩形或梯形或圆形或三角形或e型或c型。

13、根据本发明实施例的一种双频微机电毫米波天线，至少具有如下有益效果：采用mems工艺技术制作同轴馈线，电学方面减少由于特性阻抗突变而导致过大的反射损耗以及传输线的传输损耗，结构方面，同轴馈线具有可以任意方向折叠，易于毫米波天线与其他集成电路的集成。采用mems工艺技术制作金属槽，通过控制金属槽的深度和尺寸可以方便控制天线的增益和带宽。并且采用金属槽可以防止天线与其他电磁器件相互干扰，改善整个电路系统的emi。采用mems工艺技术制作主辐射天线和寄生辐射天线，与半导体集成电路工艺兼容。方便与其他半导体器件进一步集成，降低成本，提高效率，易于量产。

14、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本公开。

技术特征：

1.一种双频微机电毫米波天线，其特征在于，所述双频微机电毫米波天线包括：

2.根据权利要求1所述的双频微机电毫米波天线，其特征在于，所述主辐射天线包括第一辐射块和第一延长块，所述寄生辐射天线包括第二辐射块和第二延长块，所述第一辐射块和所述第二辐射块左右对齐设置，所述第一辐射块和所述第二辐射块的纵向长度相同，所述第一延长块与所述第一辐射块的顶部连接，所述第二延长块与所述第二辐射块的底部连接。

3.根据权利要求1所述的双频微机电毫米波天线，其特征在于，所述同轴馈线包括内部导线和外部通道，所述内部导线设置于所述外部通道内，所述外部通道与所述金属槽的侧壁连通，所述内部导线的一端与所述主辐射天线连接，另一端用于接收馈电信号。

4.根据权利要求3所述的双频微机电毫米波天线，其特征在于，所述同轴馈线还包括支撑条，所述外部通道内设置有多个支撑条，所述内部导线设置于所述支撑条上，所述内部导线和所述外部通道的内壁之间为空气介质。

5.根据权利要求1所述的双频微机电毫米波天线，其特征在于，所述双频微机电毫米波天线还包括支撑脚，所述支撑脚的两端分别连接所述金属槽的底部和所述寄生辐射天线，以用于支撑所述寄生辐射天线。

6.根据权利要求1所述的双频微机电毫米波天线，其特征在于，所述主辐射天线、寄生辐射天线和金属槽的侧壁均开设有多个释放孔。

7.根据权利要求1所述的双频微机电毫米波天线，其特征在于，所述金属槽的左侧壁内侧和右侧壁内侧均连接有第一凸块，所述金属槽的上侧壁内侧和下侧壁内侧均连接有第二凸块。

8.根据权利要求1所述的双频微机电毫米波天线，其特征在于，所述双频微机电毫米波天线采用mems工艺技术加工制作而成。

9.根据权利要求1所述的双频微机电毫米波天线，其特征在于，所述双频微机电毫米波天线可采用钛金或铬金或铂金或钛铂金或铜或铝制成。

10.根据权利要求1所述的双频微机电毫米波天线，其特征在于，所述主辐射天线的形状可以是矩形或梯形或圆形或三角形或e型或c型；

技术总结
本发明公开了一种双频微机电毫米波天线，涉及天线技术领域，所述双频微机电毫米波天线包括：主辐射天线，所述主辐射天线用于辐射无线信号；同轴馈线，所述同轴馈线的一端与所述主辐射天线连接；寄生辐射天线，所述寄生辐射天线设置于所述主辐射天线的一侧；金属槽，所述主辐射天线和所述寄生辐射天线均设置于所述金属槽的槽口，所述同轴馈线的另一端贯穿所述金属槽的侧壁向外侧延伸，以用于接收馈电信号。本申请的双频微机电毫米波天线能够产生两个频段的电磁波，天线尺寸小、带宽宽、增益高，且具有良好的天线性能。

技术研发人员：刘燕春,杨云春,陆原,裘进,于新元
受保护的技术使用者：赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12