静电偏转器的制作方法

本公开的实施例涉及一种静电偏转器。

背景技术：

1、带电粒子束设备包括用于偏转带电粒子束的偏转器，带电粒子束设备可以为扫描电子显微镜(scanning electron microscope，sem)、聚焦离子束(focused ion beam，fib)、双束设备(fib-sem)、透射电镜(transmission electron microscope，tem)、扫描透射电镜(scanning transmission electron microscope，stem)或电子束曝光设备(electron beam lithography，ebl)等。以扫描电子显微镜为例，通常包括多个偏转器，有的偏转器用于偏转电子束至束消隐板(beam blanking plate)上，实现束消隐；有的偏转器用于偏转电子束以扫描样品，通过探测器收集电子束与样品作用后产生的二次电子或背散射电子，可对样品成像。

2、偏转器的类型包括静电偏转器和磁偏转器。多极静电偏转器是一种广泛应用的静电偏转器，包括多个电极，对这些电极加载一定的电压形成静电场，用于偏转带电粒子束。

技术实现思路

1、本公开的目的在于提供一种静电偏转器，通过将静电偏转器中的多个电极连接在一起形成电极组，在任一个电极组内部免去了导线连接。

2、本公开至少一个实施例提供一种静电偏转器，该静电偏转器包括偶数个电极组，每个电极组包括m个电极和导电连接部，m个电极连接于导电连接部，m为大于或等于2的整数。

3、例如，在本公开至少一个实施例提供的静电偏转器中，导电连接部包括环形件，环形件与m个电极同心。

4、例如，在本公开至少一个实施例提供的静电偏转器中，在每个电极组中，m个电极沿环形件的轴向方向凸出于环形件形成m个凸起，相邻的凸起之间形成有凹槽。

5、例如，在本公开至少一个实施例提供的静电偏转器中，在每个电极组中，n个凸起的外径均小于环形件的内径，m个凸起的高度均大于环形件的高度，n为整数且2≤n≤m。

6、例如，在本公开至少一个实施例提供的静电偏转器中，在每个电极组中，m-1个凸起的外径均小于环形件的内径，1个凸起的外径等于环形件的外径。

7、例如，在本公开至少一个实施例提供的静电偏转器中，在每个电极组中，m个凸起的外径均小于环形件的内径。

8、例如，在本公开至少一个实施例提供的静电偏转器中，环形件围设在所有电极外。

9、例如，本公开至少一个实施例提供的静电偏转器包括4个所述电极组，相对放置的2个电极组作为第一电极结构，相对放置的另外2个电极组作为第二电极结构，所述第一电极结构的凹槽与所述第二电极结构的凸起相匹配，所述第二电极结构的凹槽与所述第一电极结构的凸起相匹配。

10、例如，在本公开至少一个实施例提供的静电偏转器中，第一电极结构和第二电极结构之间保留有轴向间隙δ1和径向间隙δ2，轴向间隙δ1等于凸起的高度减去环形件的高度，径向间隙δ2等于环形件的内径减去第一凸起的外径，第一凸起为外径小于环形件的内径的凸起。

11、例如，在本公开至少一个实施例提供的静电偏转器中，静电偏转器中的所有电极沿环形件的周向等间隔设置，相邻两个电极间的间隙为a，所有电极组装成的整体的圆周等分角度为θ＝360度/4m，每个电极的圆心角为θ。

12、例如，在本公开至少一个实施例提供的静电偏转器中，每个电极组均包括上电端，上电端用于通过导线与电源连接。

13、例如，在本公开至少一个实施例提供的静电偏转器中，m个电极同心；所有电极的内径相同；静电偏转器还包括与电极组固定连接的绝缘外壳，绝缘外壳包括容纳电极组的内部腔体；每个电极组通过胶水或螺栓的方式与绝缘外壳固定连接。

14、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

15、本公开的静电偏转器具有如下有益效果：

16、该静电偏转器中的多个电极连接在一起形成电极组，在任一个电极组内部免去了导线连接，可以降低因导线虚焊、虚接或折断而导致静电偏转器失灵的风险，提高可靠性。

技术特征：

1.一种静电偏转器，包括偶数个电极组，其特征在于，每个所述电极组包括m个电极和导电连接部，所述m个电极连接于所述导电连接部，m为大于或等于2的整数。

2.根据权利要求1所述的静电偏转器，其特征在于，所述导电连接部包括环形件，所述环形件与所述m个电极同心。

3.根据权利要求2所述的静电偏转器，其特征在于，在每个所述电极组中，所述m个电极沿所述环形件的轴向方向凸出于所述环形件形成m个凸起，相邻的所述凸起之间形成有凹槽。

4.根据权利要求3所述的静电偏转器，其特征在于，在每个所述电极组中，n个所述凸起的外径均小于所述环形件的内径，所述m个凸起的高度均大于所述环形件的高度，n为整数且2≤n≤m。

5.根据权利要求4所述的静电偏转器，其特征在于，在每个所述电极组中，m-1个所述凸起的外径均小于所述环形件的内径，1个所述凸起的外径等于所述环形件的外径。

6.根据权利要求4所述的静电偏转器，其特征在于，在每个所述电极组中，m个所述凸起的外径均小于所述环形件的内径。

7.根据权利要求3所述的静电偏转器，其特征在于，所述环形件围设在所有电极外。

8.根据权利要求3-7中任一项所述的静电偏转器，其特征在于，包括4个所述电极组，相对放置的2个电极组作为第一电极结构，相对放置的另外2个电极组作为第二电极结构，所述第一电极结构的凹槽与所述第二电极结构的凸起相匹配，所述第二电极结构的凹槽与所述第一电极结构的凸起相匹配。

9.根据权利要求8所述的静电偏转器，其特征在于，所述第一电极结构和所述第二电极结构之间保留有轴向间隙δ1和径向间隙δ2，所述轴向间隙δ1等于所述凸起的高度减去所述环形件的高度，所述径向间隙δ2等于所述环形件的内径减去第一凸起的外径，所述第一凸起为外径小于所述环形件的内径的凸起。

10.根据权利要求8所述的静电偏转器，其特征在于，所述静电偏转器中的所有电极沿所述环形件的周向等间隔设置，相邻两个电极间的间隙为a，所有电极组装成的整体的圆周等分角度为θ＝360度/4m，每个所述电极的圆心角为θ。

11.根据权利要求1所述的静电偏转器，其特征在于，每个所述电极组均包括上电端，所述上电端用于通过导线与电源连接。

12.根据权利要求1所述的静电偏转器，其特征在于，所述m个电极同心；所有电极的内径相同；所述静电偏转器还包括与所述电极组固定连接的绝缘外壳，所述绝缘外壳包括容纳所述电极组的内部腔体；每个所述电极组通过胶水或螺栓的方式与所述绝缘外壳固定连接。

技术总结
本公开提供了一种静电偏转器，该静电偏转器包括偶数个电极组，每个电极组包括m个电极和导电连接部，m个电极连接于导电连接部，m为大于或等于2的整数。该静电偏转器能够简化导线连接，可以降低因导线虚焊、虚接或折断而导致静电偏转器失灵的风险，提高可靠性。

技术研发人员：罗浒,屈俊健
受保护的技术使用者：上海精测半导体技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12