一种传片对中机构的制作方法

本发明涉及晶圆对中，尤其涉及一种传片对中机构。

背景技术：

1、回流机是电子制程领域回流焊工艺中的重要半导体设备，目前主要有传统回流机及甲酸回流机两种，传统回流机采用履带或链条式的传片机构，结构复杂，体积庞大，故障率高；甲酸回流机采用旋转传片的对中机构，结构紧凑，传片效率高，故障率低，并可在传片中实现晶圆对中，但是，目前行业内同类别的设备较少，只有少数国外厂商有类似的设备，国产替代率低，从而导致使用成本极高，不利于国内半导体行业的发展。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种传片对中机构。

2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种传片对中机构，包括固定支座，所述固定支座的下端固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有联轴器，所述联轴器的上端装有传片主轴，所述传片主轴的外表面固装有旋转手臂，所述旋转手臂的侧面装有传片对中手臂，所述固定支座的下端设置有下密封腔体，所述下密封腔体的上端固定连接有对中轮，所述传片对中手臂的下端固定安装有夹具支座，所述夹具支座的上端设置有对中夹具，所述对中夹具的侧面固装有导向板，所述传片对中手臂的上表面设置有弹簧支座。

3、为了使对中轮贴合在导向板表面，本发明改进有，所述导向板的形状为弧形。

4、为了将移动后的对中夹具复位，本发明改进有，所述弹簧支座和导向板之间装有复位弹簧。

5、为了挤压推动导向板，本发明改进有，所述对中轮与导向板相贴合。

6、为了同时进行六块晶圆的传片动作，本发明改进有，所述旋转手臂的数量为六组，六组所述旋转手臂圆周分布在传片主轴的外表面。

7、为了拆装夹具支座，本发明改进有，所述传片对中手臂与夹具支座采用栓接连接。

8、为了对中不同规格的晶圆，本发明改进有，所述对中夹具可兼容两种尺寸规格的晶圆。

9、与现有技术相比，本发明的优点和积极效果在于，

10、本发明中，传片主轴可以带动旋转手臂运动，使得传片对中手臂随旋转手臂的运动绕传片主轴作旋转动作，在传片对中手臂旋转的同时，利用对中轮对导向板的挤压，使对中夹具可以推动晶圆移动，以此在传片对中手臂进行晶圆传片的同时实现对晶圆的对中，从而解决了甲酸回流工艺过程中晶圆产生偏移的风险，避免了晶圆碎片的问题，复位弹簧则可以复位移动后的对中夹具。

技术特征：

1.一种传片对中机构，包括固定支座(3)，其特征在于：所述固定支座(3)的下端固定安装有电机(5)，所述电机(5)的输出端固定安装有联轴器(4)，所述联轴器(4)的上端装有传片主轴(1)，所述传片主轴(1)的外表面固装有旋转手臂(2)，所述旋转手臂(2)的侧面装有传片对中手臂(6)，所述固定支座(3)的下端设置有下密封腔体(7)，所述下密封腔体(7)的上端固定连接有对中轮(8)，所述传片对中手臂(6)的下端固定安装有夹具支座(13)，所述夹具支座(13)的上端设置有对中夹具(12)，所述对中夹具(12)的侧面固装有导向板(9)，所述传片对中手臂(6)的上表面设置有弹簧支座(11)。

2.根据权利要求1所述的传片对中机构，其特征在于：所述导向板(9)的形状为弧形。

3.根据权利要求1所述的传片对中机构，其特征在于：所述弹簧支座(11)和导向板(9)之间装有复位弹簧(10)。

4.根据权利要求1所述的传片对中机构，其特征在于：所述对中轮(8)与导向板(9)相贴合。

5.根据权利要求1所述的传片对中机构，其特征在于：所述旋转手臂(2)的数量为六组，六组所述旋转手臂(2)圆周分布在传片主轴(1)的外表面。

6.根据权利要求1所述的传片对中机构，其特征在于：所述传片对中手臂(6)与夹具支座(13)采用栓接连接。

7.根据权利要求1所述的传片对中机构，其特征在于：所述对中夹具(12)可兼容两种尺寸规格的晶圆。

技术总结
本发明提供一种传片对中机构，涉及晶圆对中技术领域，包括固定支座，所述固定支座的下端固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有联轴器，所述联轴器的上端装有传片主轴，所述传片主轴的外表面固装有旋转手臂，所述旋转手臂的侧面装有传片对中手臂，所述固定支座的下端设置有下密封腔体，传片主轴可以带动旋转手臂运动，使得传片对中手臂随旋转手臂的运动绕传片主轴作旋转动作，在传片对中手臂旋转的同时，利用对中轮对导向板的挤压，使对中夹具可以推动晶圆移动，以此在传片对中手臂进行晶圆传片的同时实现对晶圆的对中，从而解决了甲酸回流工艺过程中晶圆产生偏移的风险，避免了晶圆碎片的问题，复位弹簧则可以复位移动后的对中夹具。

技术研发人员：胡斌
受保护的技术使用者：江苏雷博微电子设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11