一种静电吸盘的制作方法

本技术涉及静电吸盘的，具体来说涉及一种静电吸盘。

背景技术：

1、静电吸盘是一种适用于大气或真空环境下使用的新型夹持装置，在半导体集成电路及平板显示制造过程中用于夹持晶圆等被处理对象而使用的部件，它不受大气压强的限制，能以较低的能耗驱动，且能通过通电及断电精确控制，在与被处理接触时，吸附力均匀，不出现局部受力等情况。

2、为提高生产效率及降低成本，平板显示产业向高世代线迅速发展，10.5代线和11代线相继投产，tft和cf玻璃基板尺寸超过3000mm，厚度低至0.3mm。lcd面板朝着薄且精密方向发展，因此对静电吸盘的性能要求变得更高。

3、静电吸盘的典型案例为陶瓷静电吸盘。陶瓷静电吸盘一般以氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷等材料为第一绝缘基板，在第一绝缘基板上通过印刷、溅射、镶嵌等方式实现线路化电极层后，印刷有线路化电极组第一绝缘基板上叠加无线路化第二绝缘基板，进行共烧而得。陶瓷基板和金属电极组热膨胀系数不同，在中、高温共烧过程中容易出现空隙和形变等问题。现有的陶瓷静电吸盘共烧设备尺寸较小，其他大型非陶瓷静电吸盘专用共烧设备腔室过大，无法实现精确温度曲线管理，因此，就现有生产工艺及条件无法满足大面积陶瓷静电吸盘共烧结。

4、聚酰亚胺静电吸盘，第一绝缘层使用聚酰亚胺薄膜，电极组一般采用铜箔材料为，电极组介于第一绝缘层和第二层绝缘层之间，使用固态热熔式胶粘剂后通过层压而成。聚酰亚胺薄膜表面张力较低，在与胶黏剂无法有效结合，另胶黏剂在受热融后会出现释气现象，第一绝缘层与第二绝缘层存在肉眼不可见气泡，在高真空气氛中，气泡受压强影响出现膨胀，导致电极组绝缘效果减弱，无法承受高频高压。现有聚酰亚胺静电吸盘可满足高世代平板显示器成盒制程odf液晶滴入，但在使用过程中容易被cf和tft玻璃损伤，寿命短且价格高昂。

技术实现思路

1、针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种静电吸盘，解决现有的问题。

2、为了实现上述技术目的，本实用新型的技术方案是这样的：

3、一种静电吸盘，包括吸附层，所述吸附层包括电介质层和绝缘层，所述电介质层和所述绝缘层通过粘合剂粘接，所述电介质层和所述绝缘层之间设有若干电极组，所述绝缘层的下端设有缓冲层，所述缓冲层的下端设有增强基板。

4、进一步的，所述电介质层和所述绝缘层为聚酰亚胺薄膜；所述缓冲层为具有较强的动能缓冲吸收和形变恢复能力的结构层；所述增强基板为具有较强硬度和绝缘性能的结构层。

5、进一步的，所述电极组包括若干层电极层，相邻两个所述电极层通过所述粘合剂粘接，所述电极层的上下表面为两个对称的波纹面。

6、进一步的，相邻两个所述电极层的相近的两个波纹面的波纹面波峰和波纹面波谷相对。

7、一种静电吸盘制备方法，包括以下步骤：s1、通过一定配比的高锰酸钾溶液对所述电介质层、所述电极组和所述绝缘层三者之间相互接触的接触面进行表面改性；

8、s2、通过高温高压方法得到含有乙烯和醋酸乙烯一种或多种成分的原材料粘合剂溶液，向原材料粘合剂溶液中添加适量的能提供粘附性、绝缘强度的有机或无机助粘和改性溶剂得到所述粘合剂；

9、s3、采用涂布法或喷涂法方法将所述电介质层（2）和所述电极组（3）进行预复合，随后通过真空热压方式将所述电介质层（2）和所述电极组（3）在真空热压腔室进行贴合，然后将所述绝缘层（4）与所述粘合剂（5）进行贴合，最后将所述电介质层（2）和所述电极组（3）组成的贴合体、所述绝缘层（4）与所述粘合剂（5）组成的贴合体进行贴合；

10、s4、在所述绝缘层下端依次贴合所述缓冲层和所述增强基板。

11、进一步的，所述真空热压腔室的真空气氛压力范围为-0.08 mpa ～-0.8 mpa，腔内温度为200℃～280℃，压制压力的范围为3吨～8吨。

12、进一步的，所述电极层的厚度小于或等于0.02mm，相邻两个所述电极层的间距小于或等于0.02mm。

13、本实用新型的有益效果：本实用新型的静电吸盘的设计适应性强，可满足lcd高世代超薄面板的成盒工艺；降低静电吸盘的损伤，提高使用寿命；降低静电吸盘的使用成本。

技术特征：

1.一种静电吸盘，其特征在于，包括吸附层，所述吸附层包括电介质层（2）和绝缘层（4），所述电介质层（2）和所述绝缘层（4）通过粘合剂（5）粘接，所述电介质层（2）和所述绝缘层（4）之间设有若干电极组（3），所述绝缘层（4）的下端设有缓冲层（6），所述缓冲层（6）的下端设有增强基板（7）。

2.根据权利要求1所述的一种静电吸盘，其特征在于，所述电介质层（2）和所述绝缘层（4）为聚酰亚胺薄膜；所述缓冲层（6）为聚氨酯材质制成且经过发泡处理；所述增强基板（7）为铝合金材质制成且表面氧化处理。

3.根据权利要求1所述的一种静电吸盘，其特征在于，所述电极组（3）包括若干层电极层（3-1），相邻两个所述电极层（3-1）通过所述粘合剂（5）粘接，所述电极层（3-1）的上下表面为两个对称的波纹面。

4.根据权利要求3所述的一种静电吸盘，其特征在于，相邻两个所述电极层（3-1）的相近的两个波纹面的波纹面波峰（3-1-1）和波纹面波谷（3-1-2）相对。

技术总结
本技术公开了一种静电吸盘，包括吸附层，所述吸附层包括电介质层和绝缘层，所述电介质层和所述绝缘层通过粘合剂粘接，所述电介质层和所述绝缘层之间设有若干电极组，所述绝缘层的下端设有缓冲层，所述缓冲层的下端设有增强基板。本技术的静电吸盘的设计适应性强，可满足LCD高世代超薄面板的成盒工艺；降低静电吸盘的损伤，提高使用寿命；降低静电吸盘的使用成本。

技术研发人员：刘斌
受保护的技术使用者：广东海拓创新技术有限公司
技术研发日：20220726
技术公布日：2024/1/12