一种氧化铝陶瓷部件的制作方法

本技术涉及刻蚀机组件，特别涉及一种氧化铝陶瓷部件。

背景技术：

1、刻蚀机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，主要功能是进行三五簇材料的台面及沟槽刻蚀，在刻蚀机的组件内部，静电吸盘、聚焦环、蚀刻环和绝缘环等核心组件一般采用陶瓷材料制作，以提供很好的耐物理和化学腐蚀性能以及很高的工作温度，其中静电吸盘一般采用氧化铝陶瓷制成，是蚀刻机的核心组件之一。

2、现有的蚀刻机氧化铝陶瓷部件在使用时存在以下弊端：现有的氧化铝陶瓷组件加工成静电吸盘时，一般采用一体成型的方式加工，加工后的静电吸盘在使用时，其表面介电层无法进行拆卸更换，不能根据不同使用需求进行调节更换，为此，我们提出一种氧化铝陶瓷部件。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种氧化铝陶瓷部件，通过介电板层、螺纹孔、螺纹柱和加热垫层构成的吸附机构，能实现介电板层的快速安装拆卸，使用灵活方便，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、一种氧化铝陶瓷部件，包括基座，还包括吸附机构，所述基座表面设置有吸附固定晶圆位置的吸附机构，所述吸附机构包括介电板层、螺纹孔、螺纹柱和加热垫层，基座表面可拆卸连接有固定晶圆位置的介电板层，基座表面顶部中心位置开设有螺纹孔，介电板层表面底部一体成型有与螺纹孔位置对应的螺纹柱。

4、进一步地，还包括散热机构，所述基座内部设置有进行冷却处理的散热机构，所述散热机构包括环形槽、通入管和排出管，基座内部开设有圆心处于同一位置的环形槽且环形槽为多个，基座一端设置有贯穿环形槽的通入管且基座另一端设置有贯穿环形槽的排出管；基座内部设置有多组不同规格的环形槽，环形槽在基座内部呈环形等间距设置，通入管和排出管分列两端且与环形槽内部相通，需要对基座进行和介电板层进行冷却时，通过通入管接入冷却介质，冷却介质充满环形槽内部后并从排出管排出，相较于传统的水平开孔的冷却机构，冷却效果更好，速度更快。

5、进一步地，所述介电板层与基座之间安装有加热垫层；通过加热垫层可以对介电板层进行加热处理。

6、进一步地，所述基座和介电板层材质均为氧化铝陶瓷；采用氧化铝陶瓷材质，具有很好的耐物理和化学腐蚀性能以及很高的工作温度。

7、进一步地，所述环形槽之间呈环形等间距设置；使得环形槽与基座内部存在充分的接触。

8、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：基座和介电板层均采用氧化铝陶瓷制成，具有很好的耐物理和化学腐蚀性能以及很高的工作温度，基座作为呈接主体设置在底部，其顶部开设有螺纹孔，介电板层在制作时底部加工出与螺纹孔相匹配的螺纹柱，组装时先垫上加热垫层，随后将螺纹柱对齐螺纹孔并拧入，即可将介电板层与基座之间安装固定在一起，完成静电吸盘的组装，需要时可以顺着螺纹孔拧动介电板层即可将其拆卸，安拆便利，方便更换，可以满足不同的使用情况和需求；基座内部设置有多组不同规格的环形槽，环形槽在基座内部呈环形等间距设置，通入管和排出管分列两端且与环形槽内部相通，需要对基座进行和介电板层进行冷却时，通过通入管接入冷却介质，冷却介质充满环形槽内部后并从排出管排出，相较于传统的水平开孔的冷却机构，冷却效果更好，速度更快。

技术特征：

1.一种氧化铝陶瓷部件，包括基座(1)，其特征在于，还包括吸附机构(2)，所述基座(1)表面设置有吸附固定晶圆位置的吸附机构(2)，所述吸附机构(2)包括介电板层(201)、螺纹孔(202)、螺纹柱(203)和加热垫层(204)，基座(1)表面可拆卸连接有固定晶圆位置的介电板层(201)，基座(1)表面顶部中心位置开设有螺纹孔(202)，介电板层(201)表面底部一体成型有与螺纹孔(202)位置对应的螺纹柱(203)。

2.根据权利要求1所述的一种氧化铝陶瓷部件，其特征在于：还包括散热机构(3)，所述基座(1)内部设置有进行冷却处理的散热机构(3)，所述散热机构(3)包括环形槽(301)、通入管(302)和排出管(303)，基座(1)内部开设有圆心处于同一位置的环形槽(301)且环形槽(301)为多个，基座(1)一端设置有贯穿环形槽(301)的通入管(302)且基座(1)另一端设置有贯穿环形槽(301)的排出管(303)。

3.根据权利要求1所述的一种氧化铝陶瓷部件，其特征在于：所述介电板层(201)与基座(1)之间安装有加热垫层(204)。

4.根据权利要求1所述的一种氧化铝陶瓷部件，其特征在于：所述基座(1)和介电板层(201)材质均为氧化铝陶瓷。

5.根据权利要求2所述的一种氧化铝陶瓷部件，其特征在于：所述环形槽(301)之间呈环形等间距设置。

技术总结
本技术公开了一种氧化铝陶瓷部件，包括基座，还包括吸附机构，所述基座表面设置有吸附固定晶圆位置的吸附机构，所述吸附机构包括介电板层、螺纹孔、螺纹柱和加热垫层，基座表面可拆卸连接有固定晶圆位置的介电板层，基座表面顶部中心位置开设有螺纹孔，介电板层表面底部一体成型有与螺纹孔位置对应的螺纹柱，组装时先垫上加热垫层，随后将螺纹柱对齐螺纹孔并拧入，即可将介电板层与基座之间安装固定在一起，完成静电吸盘的组装，需要时可以顺着螺纹孔拧动介电板层即可将其拆卸，安拆便利，方便更换，可以满足不同的使用情况和需求。

技术研发人员：李丹
受保护的技术使用者：浙江通瓷半导体材料有限公司
技术研发日：20220915
技术公布日：2024/1/13