一种探针台用的定位机构的制作方法

本技术涉及探针台，具体为一种探针台用的定位机构。

背景技术：

1、针台是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，主要完成晶圆测试中探针卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、探针台与测试机的信号连接等功能。探针卡是一种用于实现测试机与晶圆的电器连接的部件。

2、但是现有的探针卡在放进放置盘上时，由于没有固定装置，所以容易导致探针卡摆放时的不稳定，当探针与晶圆进行接触探测时，若没有让探针卡定位的装置，则容易出现探针卡和晶圆的接触点无法准确接触的问题。

3、因此，基于上述技术问题，本领域的技术人员有必要研发一种探针台用的定位机构。

技术实现思路

1、本实用新型目的是提供一种探针台用的定位机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括台架和放置盘，所述放置盘通过气缸固接于台架的顶部，所述台架的顶部开设有滑动槽，所述滑动槽的内部滑动设置有两个螺纹块，两个所述螺纹块的顶部分别固接有第一移动盒和第二移动盒，所述第一移动盒和第二移动盒的内部均滑动设置有两个滑动块，四个所述滑动块的顶部均固接有滑动柱，摇杆一侧两个所述滑动块的内部共同螺纹插接有一个螺杆，所述螺杆的一端固接有摇杆，第二移动盒一侧两个所述滑动块之间固接有弹簧，摇杆一侧两个所述滑动块的一侧均固接有两个推板，四个所述推板滑动设置于第一移动盒和第二移动盒的内部。

3、优选的，两个所述台架的外表面固接有电机，所述电机的输出轴固接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的两端分别螺纹插接于两个螺纹块的内部，从而方便调节第一移动盒和第二移动盒之间的间距。

4、优选的，所述第一移动盒在第二移动盒的一侧和所述摇杆的外表面两侧均设有滑口，四个所述推板滑动设置于滑口的内部，可利用四个推板将第二移动盒一侧的两个滑动块之间的间距同步调整。

5、优选的，四个所述滑动柱的顶部均固接有橡胶垫，使得橡胶垫与探针卡接触时，避免探针卡受硬物接触而损坏。

6、优选的，所述第一移动盒和第二移动盒的顶部均开设有穿口，四个所述滑动块的一端分别滑动设置于两个穿口的内部，便于通过穿口的设置，使得四个滑动块之间的间距可调。

7、优选的，所述弹簧的数量为两个，两个所述弹簧固接于第二移动盒内部的两个滑动块之间，利用弹簧的弹性，提高两个滑动块在第二移动盒内部的稳定性。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、(1)通过本实用新型的第一移动盒和第二移动盒的结构设计，当探针卡放置于放置盘上时，通过气缸调节探针卡高度，而通过两个螺纹块的滑动，可分别调节第一移动盒和第二移动盒之间的间距，而通过转动摇杆，利用螺杆与两个滑动块之间的螺纹配合，使得两个滑动块能分别带动第一移动盒一侧的两个滑动柱调节之间的距离，同时，四个推板会分别带动第二移动盒一侧的两个滑动块同步调节间距，此时第二移动盒一侧的两个滑动块之间的弹簧会收缩并产生弹力，提高第二移动盒一侧的两个滑动块的稳定性，通过上述，可同步调节四个滑动柱之间的间距，从而利用四个滑动柱将探针卡夹持定位，避免探针卡移位，导致晶圆与探针卡的接触点移位，从而影响晶圆检测的问题。

10、(2)通过本实用新型的电机和双向螺纹杆的结构设计，便于利用双向螺纹杆的转动带动两个螺纹块相向或相离运动，从而方便调节第一移动盒和第二移动盒之间的间距。

11、(3)通过本实用新型的弹簧的结构设计，便于当第二移动盒一侧的两个滑动块间距调整时，利用弹簧的弹性，提高两个滑动块在第二移动盒内部的稳定性。

技术特征：

1.一种探针台用的定位机构，包括台架(1)和放置盘，其特征在于，所述放置盘通过气缸固接于台架(1)的顶部，所述台架(1)的顶部开设有滑动槽(10)，所述滑动槽(10)的内部滑动设置有两个螺纹块(11)，两个所述螺纹块(11)的顶部分别固接有第一移动盒(7)和第二移动盒(8)，所述第一移动盒(7)和第二移动盒(8)的内部均滑动设置有两个滑动块(3)，四个所述滑动块(3)的顶部均固接有滑动柱(4)，摇杆(2)一侧两个所述滑动块(3)的内部共同螺纹插接有一个螺杆(14)，所述螺杆(14)的一端固接有摇杆(2)，第二移动盒(8)一侧两个所述滑动块(3)之间固接有弹簧(12)，摇杆(2)一侧两个所述滑动块(3)的一侧均固接有两个推板(6)，四个所述推板(6)分别滑动设置于第一移动盒(7)和第二移动盒(8)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种探针台用的定位机构，其特征在于：两个所述台架(1)的外表面固接有电机(9)，所述电机(9)的输出轴固接有双向螺纹杆(16)，所述双向螺纹杆(16)的两端分别螺纹插接于两个螺纹块(11)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种探针台用的定位机构，其特征在于：所述第一移动盒(7)在第二移动盒(8)的一侧和所述摇杆(2)的外表面两侧均设有滑口，四个所述推板(6)滑动设置于滑口的内部。

4.根据权利要求1所述的一种探针台用的定位机构，其特征在于：四个所述滑动柱(4)的顶部均固接有橡胶垫(5)。

5.根据权利要求1所述的一种探针台用的定位机构，其特征在于：所述第一移动盒(7)和第二移动盒(8)的顶部均开设有穿口，四个所述滑动块(3)的一端分别滑动设置于两个穿口的内部。

6.根据权利要求1所述的一种探针台用的定位机构，其特征在于：所述弹簧(12)的数量为两个，两个所述弹簧(12)固接于第二移动盒(8)内部的两个滑动块(3)之间。

技术总结
本技术涉及探针台技术领域，公开了一种探针台用的定位机构，包括台架和放置盘，所述放置盘通过气缸固接于台架的顶部，所述台架的顶部开设有滑动槽，当探针卡放置于放置盘上时，通过气缸调节探针卡高度，而通过两个螺纹块的滑动，可分别调节第一移动盒和第二移动盒之间的间距，而通过转动摇杆，四个推板会分别带动第二移动盒一侧的两个滑动块同步调节间距，此时第二移动盒一侧的两个滑动块之间的弹簧会收缩并产生弹力，提高第二移动盒一侧的两个滑动块的稳定性，通过上述，可同步调节四个滑动柱之间的间距，从而利用四个滑动柱将探针卡夹持定位，避免探针卡移位，导致晶圆与探针卡的接触点移位，从而影响晶圆检测的问题。

技术研发人员：陈福云
受保护的技术使用者：武汉欣诺梦达科技有限公司
技术研发日：20220923
技术公布日：2024/1/12