本技术涉及半导体制备,具体涉及一种to芯片拔吸收脚机构。
背景技术:
1、芯片(半导体元件产品的统称)集成电路在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。
2、在生产to芯片过程中,需将经过老化测试后的to芯片从老化板中拔出,现有技术中,通常是人工通过镊子夹取芯片管帽位置拔出,这种方式不仅效率低,同时劳动强度大。另外,to芯片的结构中通常包括引脚,引脚张开的to芯片十分不便于包装和运输。
技术实现思路
1、为解决上述问题,本实用新型提供了一种to芯片拔吸收脚机构,用于将to芯片拔出后进行收脚,包括:
2、起拔组件,吸拔组件以及收脚组件;
3、其中,所述起拔组件,吸拔组件以及收脚组件相连以构成整体结构;
4、所述收脚组件包括:收脚气缸,与所述收脚气缸相连的连接件,以及与所述连接件相连的收脚管;
5、其中,所述收脚管为中空管状结构,其中空部分为收脚孔;
6、所述收脚孔为锥形。
7、可选地,所述起拔组件包括:
8、两组相对设置的拔起销,平行气缸,以及将平行气缸的夹爪与拔起销相连的连接板。
9、可选地,所述吸拔组件设于所述起拔组件的上方,包括:
10、电机,与所述电机的输出轴相连的齿轮相连的齿轮,与所述齿轮相适配的齿条,设于所述齿条底部的吸嘴;
11、其中,所述吸嘴位于所述拔起销的上方。
12、可选地,所述收脚气缸倾斜设置,所述连接件为l形且一端水平延伸的结构;
13、其中,所述连接件水平延伸的一端与所述收脚管相连。
14、可选地,所述平行气缸的夹爪与所述拔起销平行设置。
15、可选地,所述连接板为l形结构,所述连接板与拔起销垂直相连。
16、可选地,所述吸拔组件还包括:
17、滑轨,以及与所述滑轨滑动连接的滑块;
18、其中,所述滑轨与齿条相连,所述滑块固定后用于辅助滑轨进行位移。
19、通过采用上述技术方案,本实用新型主要具有以下技术效果:
20、通过设置起拔组件,吸拔组件以及收脚组件,通过设置在收脚管中设置锥形的收脚孔,解决了人工夹取芯片效率低以及芯片不便于包装和运输的技术问题,实现了自动化夹取芯片后进行收脚方便运输的技术效果。
1.一种to芯片拔吸收脚机构,用于将to芯片拔出后进行收脚,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种to芯片拔吸收脚机构,其特征在于,所述起拔组件包括:
3.根据权利要求2所述的一种to芯片拔吸收脚机构,其特征在于,所述吸拔组件设于所述起拔组件的上方,包括:
4.根据权利要求1所述的一种to芯片拔吸收脚机构,其特征在于,所述收脚气缸倾斜设置,所述连接件为l形且一端水平延伸的结构;
5.根据权利要求2所述的一种to芯片拔吸收脚机构,其特征在于,所述平行气缸的夹爪与所述拔起销平行设置。
6.根据权利要求5所述的一种to芯片拔吸收脚机构,其特征在于,所述连接板为l形结构,所述连接板与拔起销垂直相连。
7.根据权利要求3所述的一种to芯片拔吸收脚机构,其特征在于,所述吸拔组件还包括: