一种蓝宝石复合衬底的制作方法

文档序号:33660030发布日期:2023-03-29 10:38阅读:40来源:国知局
一种蓝宝石复合衬底的制作方法

1.本实用新型涉及蓝宝石衬底技术领域,具体是一种蓝宝石复合衬底。


背景技术:

2.蓝宝石的组成为氧化铝(al2o3),是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成,其晶体结构为六方晶格结构,它常被应用的切面有a-plane,c-plane及r-plane,由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性,因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上,它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高(2045℃)等特点,它是一种相当难加工的材料,因此常被用来作为光电元件的材料。
3.但是,蓝宝石的导热性能不是很好(在100℃约为25w/(m
·
k))。因此在使用led器件时,会传导出大量的热量;特别是对面积较大的大功率器件。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种蓝宝石复合衬底,旨在解决现有技术中的蓝宝石衬底散热性能不好的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:所述蓝宝石复合衬底,包括两层蓝宝石衬底,两层蓝宝石衬底之间设置有导热网,所述蓝宝石衬底的边缘处设置有导热包边,所述导热包边的内侧与导热网的边缘处连接。
6.本实用新型的进一步的技术方案为,上层的所述蓝宝石衬底顶部设置有二氧化硅晶体片。
7.本实用新型的进一步的技术方案为,所述二氧化硅晶体片的顶部设置有氮化镓结晶生长层。
8.本实用新型的进一步的技术方案为,下层的所述蓝宝石衬底底部设置有粘贴层。
9.本实用新型的进一步的技术方案为,所述粘贴层的厚度为~nm。
10.本实用新型的进一步的技术方案为,所述导热包边的外侧为设置有波浪形条纹。
11.本实用新型的进一步的技术方案为,所述导热包边的外侧为设置有方格条纹。
12.本实用新型的进一步的技术方案为,所述导热包边的外侧为设置有锯齿形条纹。
13.本实用新型的有益效果是:
14.本实用新型使用时,蓝宝石衬底的热量通过导热网传递到导热包边上,然后使导热包边与空气热交换完成散热,从而提高蓝宝石衬底的散热性能。
附图说明
15.图1是本实用新型的具体实施例的剖视图。
16.图2是本实用新型的具体实施例中导热网的结构示意图。
17.图3是本实用新型的具体实施例的结构示意图。
18.图中:1、蓝宝石衬底;2、导热网;3、导热包边;4、二氧化硅晶体片;5、氮化镓结晶生长层;6、粘贴层。
具体实施方式
19.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。
20.如图1和2所示,一种蓝宝石复合衬底,包括两层蓝宝石衬底1,两层蓝宝石衬底1之间设置有导热网2,蓝宝石衬底1的边缘处设置有导热包边3,导热包边3由导热材料制成,导热包边3也能增强衬底的强度,防止崩角,导热包边3的内侧与导热网2的边缘处连接,蓝宝石衬底1的热量通过导热网2传递到导热包边3上,然后使导热包边3与空气热交换完成散热,从而提高蓝宝石衬底的散热性能。
21.进一步的,上层的蓝宝石衬底1顶部设置有二氧化硅晶体片4。
22.进一步的,二氧化硅晶体片4的顶部设置有氮化镓结晶生长层5。
23.进一步的,下层的蓝宝石衬底1底部设置有粘贴层6。
24.优选的,粘贴层6的厚度为400~800nm。
25.如图2和3所示,进一步的,导热包边3的外侧为设置有波浪形条纹或方格条纹或锯齿形条纹,设置条纹增大导热包边3的表面积,从而增强散热。
26.在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
28.此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。


技术特征:
1.一种蓝宝石复合衬底,其特征在于,包括两层蓝宝石衬底(1),两层蓝宝石衬底(1)之间设置有导热网(2),所述蓝宝石衬底(1)的边缘处设置有导热包边(3),所述导热包边(3)的内侧与导热网(2)的边缘处连接。2.根据权利要求1所述的蓝宝石复合衬底,其特征在于,上层的所述蓝宝石衬底(1)顶部设置有二氧化硅晶体片(4)。3.根据权利要求2所述的蓝宝石复合衬底,其特征在于,所述二氧化硅晶体片(4)的顶部设置有氮化镓结晶生长层(5)。4.根据权利要求3所述的蓝宝石复合衬底,其特征在于,下层的所述蓝宝石衬底(1)底部设置有粘贴层(6)。5.根据权利要求4所述的蓝宝石复合衬底,其特征在于,所述粘贴层(6)的厚度为400~800nm。6.根据权利要求1-5任一项所述的蓝宝石复合衬底,其特征在于,所述导热包边(3)的外侧为设置有波浪形条纹。7.根据权利要求1-5任一项所述的蓝宝石复合衬底,其特征在于,所述导热包边(3)的外侧为设置有方格条纹。8.根据权利要求1-5任一项所述的蓝宝石复合衬底,其特征在于,所述导热包边(3)的外侧为设置有锯齿形条纹。

技术总结
本实用新型提供一种蓝宝石复合衬底,涉及蓝宝石衬底技术领域,该蓝宝石复合衬底包括两层蓝宝石衬底,两层蓝宝石衬底之间设置有导热网,所述蓝宝石衬底的边缘处设置有导热包边,所述导热包边的内侧与导热网的边缘处连接;蓝宝石衬底的热量通过导热网传递到导热包边上,然后使导热包边与空气热交换完成散热,从而提高蓝宝石衬底的散热性能。高蓝宝石衬底的散热性能。高蓝宝石衬底的散热性能。


技术研发人员:王慧芳 林传宝
受保护的技术使用者:焦作华瀚光电有限公司
技术研发日:2022.09.30
技术公布日:2023/3/28
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