一种莱宝机晶圆镀膜夹具的制作方法

1.本实用新型涉及莱宝机镀膜设备改良技术领域，尤其涉及一种莱宝机晶圆镀膜夹具。


背景技术：

2.由于目前受手机的影响，镜头模组部分的厚度越来越薄，导致其中滤光片的厚度也相应的变薄，常规的基板厚度在0.21-0.3mm之间，这么薄的产品镀膜之后，会产生一定的弯曲变形，目前为了解决弯曲的问题采用静电吸附的方式将产品吸附在一个1mm厚度的玻璃上，镀膜后需要镀膜第二面，由于背面吸附在底板上，为了清洗和翻面镀膜只能将吸附上的产品通过边缘的部分进行吹气将产品与底板分离，虽然解决翘曲的问题，但是存在这吹气过程中，产品由于释放应力导致产品破碎，或清洗的过程中由于片薄浮力大导致片破损无法镀膜。
3.基于以上的问题，故我们需要设计一套集镀膜清洗为一体的莱宝机晶圆镀膜夹具来解决碎片的问题。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，本实用新型设计了一种莱宝机晶圆镀膜夹具。
5.本实用新型采用如下技术方案：
6.一种莱宝机晶圆镀膜夹具，包括夹具基座，夹具基座为中心开孔的环状结构，夹具基座表面中心内凹设置有夹具安置槽，夹具安置槽内安装有多个磁石，夹具安置槽内通过磁石吸附安装有夹具体，夹具体包括可通过磁石吸附的夹具底板和夹具盖板，夹具底板和夹具盖板为环形结构，夹具底板内沿内凹设置有晶圆安置槽，夹具底板外沿上开设有多条排水槽，夹具盖板配合覆盖夹具底板。
7.作为优选，所述夹具底板和夹具盖板上对应开设有定位孔，夹具基座的夹具安置槽内设置有与定位孔配合的定位凸起。配合夹具体与夹具基座的定位，将夹具体更好的锁附在夹具基座上。
8.作为优选，所述夹具底板和夹具盖板上分别对应设置有多个定位螺丝孔，夹具底板和夹具盖板安装晶圆后通过定位螺丝固定。
9.作为优选，所述夹具基座上位于夹具安置槽外侧开设有多个取出口。方便夹具体的取出。
10.作为优选，所述夹具基座外沿对应开设有多个装夹口。
11.作为优选，所述夹具底板外沿上开设有18条排水槽，18条排水槽呈左右对称分布。
12.本实用新型的有益效果是：（1）、本实用新型通过夹具底板、夹具盖板和排水槽的设计，减少清洗过程中水在夹具与产品之间堆积从而导致烘不干出现水印红斑等不良，可以在单面镀膜后直接将夹具和产品一起清洗，从而大大减少了在镀膜后制程下夹具以及清洗时候造成了大量惊碎，大大提升了产品良率；（2）、本实用新型通过夹具底板和夹具盖板
的设计，留有产品的变形余量，在保护产品的同时，使产品可以在镀膜后保持一定的弧度，有效减小了产品的形变量。
附图说明
13.图1是本实用新型中夹具底板的一种结构示意图；
14.图2是本实用新型中夹具盖板的一种结构示意图；
15.图3是本实用新型中夹具基座的一种结构示意图；
16.图4是本实用新型中夹具底板、夹具盖板和夹具基座安装后的一种结构示意图；
17.图中：1、夹具底板，2、晶圆安置槽，3、排水槽，4、螺丝孔，5、定位孔，6、夹具盖板，7、夹具基座，8、夹具安置槽，9、磁石，10、取出口，11、装夹口，12、定位凸起，13、夹具体。
具体实施方式
18.下面通过具体实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的具体描述：
19.实施例：如图1-图4所示，一种莱宝机晶圆镀膜夹具，包括夹具基座7，夹具基座为中心开孔的环状结构，夹具基座表面中心内凹设置有夹具安置槽8，夹具安置槽内安装有4个磁石9，夹具安置槽内通过磁石吸附安装有夹具体13，夹具体包括可通过磁石吸附的夹具底板1和夹具盖板6，夹具底板和夹具盖板为环形结构，夹具底板内沿内凹设置有晶圆安置槽2，夹具底板外沿上开设有18条排水槽3，18条排水槽呈左右对称分布，夹具盖板配合覆盖夹具底板。
20.夹具底板和夹具盖板上对应开设有定位孔5，夹具基座的夹具安置槽内设置有与定位孔配合的定位凸起12。
21.夹具底板和夹具盖板上分别对应设置有7个定位螺丝孔4，夹具底板和夹具盖板安装晶圆后通过定位螺丝固定。夹具基座上位于夹具安置槽外侧开设有3个取出口10。方便夹具体的取出。夹具基座外沿对应开设有2个装夹口11。
22.该莱宝机晶圆镀膜夹具使用时，首先将底板夹具置于水平平台上，将洁净的0.21mm厚度的未镀膜产品放置在图1中的晶圆安置槽内；通过夹具底板和夹具盖板外侧的定位孔对位其两个夹具，通过7枚m1.2mm的平头螺丝将夹具底板和夹具盖板进行固定；固定好后在进行外观检查后，通过夹具基座下方的定位凸起以及4个φ4mm的磁石，将带有产品的夹具体牢牢的锁附在夹具基座上；通过机台中的卡塞以及机械手将产品传入到机台内部进行镀膜。
23.本实用新型通过夹具底板、夹具盖板和排水槽的设计，减少清洗过程中水在夹具与产品之间堆积从而导致烘不干出现水印红斑等不良，可以在单面镀膜后直接将夹具和产品一起清洗，从而大大减少了在镀膜后制程下夹具以及清洗时候造成了大量惊碎，大大提升了产品良率；本实用新型通过夹具底板和夹具盖板的设计，留有产品的变形余量，在保护产品的同时，使产品可以在镀膜后保持一定的弧度，有效减小了产品的形变量。
24.以上所述的实施例只是本实用新型的一种较佳的方案，并非对本实用新型作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。


技术特征：
1.一种莱宝机晶圆镀膜夹具，包括夹具基座，其特征是，所述夹具基座为中心开孔的环状结构，夹具基座表面中心内凹设置有夹具安置槽，夹具安置槽内安装有多个磁石，夹具安置槽内通过磁石吸附安装有夹具体，夹具体包括可通过磁石吸附的夹具底板和夹具盖板，夹具底板和夹具盖板为环形结构，夹具底板内沿内凹设置有晶圆安置槽，夹具底板外沿上开设有多条排水槽，夹具盖板配合覆盖夹具底板。2.根据权利要求1所述的一种莱宝机晶圆镀膜夹具，其特征是，所述夹具底板和夹具盖板上对应开设有定位孔，夹具基座的夹具安置槽内设置有与定位孔配合的定位凸起。3.根据权利要求1所述的一种莱宝机晶圆镀膜夹具，其特征是，所述夹具底板和夹具盖板上分别对应设置有多个定位螺丝孔，夹具底板和夹具盖板安装晶圆后通过定位螺丝固定。4.根据权利要求1所述的一种莱宝机晶圆镀膜夹具，其特征是，所述夹具基座上位于夹具安置槽外侧开设有多个取出口。5.根据权利要求1所述的一种莱宝机晶圆镀膜夹具，其特征是，所述夹具基座外沿对应开设有多个装夹口。6.根据权利要求1所述的一种莱宝机晶圆镀膜夹具，其特征是，所述夹具底板外沿上开设有18条排水槽，18条排水槽呈左右对称分布。

技术总结
本实用新型公开了一种莱宝机晶圆镀膜夹具，包括夹具基座，夹具基座为中心开孔的环状结构，夹具基座表面中心内凹设置有夹具安置槽，夹具安置槽内安装有多个磁石，夹具安置槽内通过磁石吸附安装有夹具体，夹具体包括可通过磁石吸附的夹具底板和夹具盖板，夹具底板和夹具盖板为环形结构，夹具底板内沿内凹设置有晶圆安置槽，夹具底板外沿上开设有多条排水槽，夹具盖板配合覆盖夹具底板。本实用新型通过夹具底板、夹具盖板和排水槽的设计，减少清洗过程中水在夹具与产品之间堆积从而导致烘不干出现水印红斑等不良，可以在单面镀膜后直接将夹具和产品一起清洗，从而大大减少了在镀膜后制程下夹具以及清洗时候造成了大量惊碎，大大提升了产品良率。大大提升了产品良率。大大提升了产品良率。


技术研发人员：万维岩 龚博渊
受保护的技术使用者：杭州美迪凯光电科技股份有限公司
技术研发日：2022.10.25
技术公布日：2023/1/24