一种硅片侧边检测装置及硅片分选机的制作方法

本申请属于硅片分选领域，具体地说，涉及一种硅片侧边检测装置及硅片分选机。

背景技术：

1、在将硅片制成电池片之前，需要对硅片进行一系列缺陷检测，其中有一项检测，需要对硅片的侧边进行检测。

2、现有的检测方式，多采用方棱镜对光源进行反射或透射，经方棱镜透射后的光线，会有部分被方棱镜底部再次反射上去，导致拍摄背景过亮，影响成像效果，进而给侧边检测带来干扰。

技术实现思路

1、针对当前侧边检测采用方棱镜影响成像效果的问题，本申请提出了一种硅片侧边检测装置及硅片分选机。

2、第一方面，本申请提出了一种硅片侧边检测装置，包括第一检测单元和第二检测单元，第一检测单元和第二检测单元结构相同，分别用于检测硅片的相互平行的两个侧边；

3、第一检测单元和第二检测单元均包括侧边检测组件，侧边检测组件包括第一点光源、第一光路限定元件和相机，第一光路限定元件包括反光面和狭缝，反光面用于反射由第一点光源发出的光，并将光反射到待检测硅片的侧边，光被待检测硅片的侧边反射并穿过狭缝进入相机。

4、通过采用第一光路限定元件的反光面反射第一电光源发出的光，并将光反射到待检测硅片的侧边，采用第一光路限定元件的狭缝接收由待检测硅片的侧边反射回来的光，使被待检测硅片的侧边反射的光穿过狭缝进入相机，实现对硅片侧边的拍照检测，不仅克服了现有方棱镜影响成像效果的问题，提高了成像效果；而且第一光路限定元件的安装要求也较方棱镜的安装更加方便，更适用于工业上大批量使用。

5、可选的，相机与第一光路限定元件共线设置，且相机的光轴与狭缝对应；第一点光源设置在反光面的正上方。

6、将相机与第一光路限定元件共线设置，且使相机的光轴与狭缝对应，便于被待检测硅片的侧边反射的光能够沿直线穿过狭缝进入相机，能够进一步提高相机的成像效果，且使的检测的光路调试更加简单；将第一点光源设置在反光面的正上方，使得第一点光源所发出的光能够直接打在反光面上，无需进行多次反射，光路更加简单，且易于安装及调试。

7、可选的，第一光路限定元件还包括第一安装座，第一安装座呈直角三棱柱状，反光面固定在第一安装座的斜面上。

8、将第一安装座设计呈直角三棱柱状，一方面便于加工，一方面便于将反光面以一定角度固定在第一安装座的斜面上。

9、可选的，反光面包括第一反光面和第二反光面，第一反光面和第二反光面对称固定在狭缝的两侧。

10、采用第一反光面和第二反光面对第一电光源的光进行反射，可以有效增加被反射到待检测硅片的侧边上的光，进而使得侧边能反射回来更多的光通过狭缝进入到相机中，实现较佳的成像效果，进而提高侧边检测效果；此外，将第一反光面和第二反光面对称固定在狭缝的两侧，可以有效提高光源的利用率。

11、可选的，第一光路限定元件的内腔为经过黑化处理的内腔，内腔包括狭缝的内壁和/或反光面的背面。

12、通过对第一光路限定元件的内腔做黑化处理，能够对部分进入内腔的光进行吸收处理，避免光在内腔内发生不需要的反射折射，影响成像效果。

13、可选的，第一检测单元和第二检测单元还均包括第一倒角检测组件和第二倒角检测组件，第一倒角检测组件和第二倒角检测组件结构相同，且相对侧边检测组件对称设置；

14、第一倒角检测组件和第二倒角检测组件均包括第二光路限定元件，第二光路限定元件包括第二安装座、第三反光面、第四反光面和通道，通道设置在第二安装座上，用于为待检测硅片提供输送通道，第三反光面和第四反光面分别固定设置在通道两侧。

15、通过设置倒角检测组件，使得本实用新型的硅片侧边检测装置除检测硅片的侧边外，还能够同时检测与侧边相连的倒角；采用具有第三反光面、第四反光面和通道的第二光路限定元件对待检测硅片的倒角进行检测。

16、可选的，第一倒角检测组件和第二倒角检测组件还均包括第二点光源，第三反光面和第四反光面用于反射由第二点光源发出的光，并将光反射至待检测硅片的倒角，光被待检测硅片的倒角反射并穿过狭缝进入相机。

17、设置第二点光源，为第三反光面和第四反光面提供光照，完成待检测硅片的倒角成像，能够获得更好的成像效果。

18、可选的，第二安装座呈直角三棱柱状，第三反光面和第四反光面固定设置在第二安装座的斜面上。

19、将第二安装座设计呈直角三棱柱状，一方面便于加工，一方面便于将第三反光面和第四反光面以一定角度固定在第二安装座的斜面上。

20、可选的，通道为自第二安装座的斜面水平向第二安装座内部延伸的盲槽或通槽。

21、自第二安装座的斜面水平向第二安装座内部延伸的盲槽或通槽，提供在硅片检测过程中，允许硅片侧边及倒角通过的通道，为硅片边运动边检测提供必要条件。

22、可选的，第一检测单元和第二检测单元均可以朝向或远离待检测硅片调节。

23、将第一检测单元和第二检测单元设计成均可以朝向或远离待检测硅片调节，一方面便于安装调试，一方面便于兼容不同尺寸的硅片。

24、可选的，第一检测单元和第二检测单元分别对应待检测硅片的相互平行的两个侧边设置，且沿侧边的延伸方向交错分布。

25、交错设置第一检测单元和第二检测单元，可以避免两个检测单元的相互干扰，提高检测精度。

26、第二方面，本申请提出了一种硅片分选机，包括如前述任意一项的硅片侧边检测装置和规整装置，规整装置位于硅片侧边检测装置的前道，用于对进入硅片侧边检测装置的待检测硅片进行预规整。

27、在对硅片的侧边进行检测之前，采用规整装置对硅片进行预规整，使得硅片到达硅片侧边检测装置的时候，保持一个较佳的位置状态，能够进一步提高侧边检测的效果及效率，进而提高硅片分选机的整体效率。

技术特征：

1.一种硅片侧边检测装置，其特征在于，所述硅片侧边检测装置包括第一检测单元和第二检测单元，所述第一检测单元和所述第二检测单元结构相同，分别用于检测硅片的相互平行的两个侧边；

2.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述相机与所述第一光路限定元件共线设置，且所述相机的光轴与所述狭缝对应；所述第一点光源设置在所述反光面的正上方。

3.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一光路限定元件还包括第一安装座，所述第一安装座呈直角三棱柱状，所述反光面固定在所述第一安装座的斜面上。

4.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述反光面包括第一反光面和第二反光面，所述第一反光面和所述第二反光面对称固定在所述狭缝的两侧。

5.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一光路限定元件的内腔为经过黑化处理的内腔，所述内腔包括所述狭缝的内壁和/或反光面的背面。

6.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一检测单元和所述第二检测单元还均包括第一倒角检测组件和第二倒角检测组件，所述第一倒角检测组件和第二倒角检测组件结构相同，且相对所述侧边检测组件对称设置；

7.根据权利要求6所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一倒角检测组件和所述第二倒角检测组件还均包括第二点光源，所述第三反光面和所述第四反光面用于反射由所述第二点光源发出的光，并将所述光反射至所述待检测硅片的倒角，所述光被所述待检测硅片的倒角反射并穿过所述狭缝进入所述相机。

8.根据权利要求6所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第二安装座呈直角三棱柱状，所述第三反光面和所述第四反光面固定设置在所述第二安装座的斜面上。

9.根据权利要求6所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述通道为自所述第二安装座的斜面水平向所述第二安装座内部延伸的盲槽或通槽。

10.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一检测单元和所述第二检测单元均可以朝向或远离所述待检测硅片调节。

11.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一检测单元和所述第二检测单元分别对应所述待检测硅片的相互平行的两个侧边设置，且沿所述侧边的延伸方向交错分布。

12.一种硅片分选机，其特征在于，所述硅片分选机包括如权利要求1-11任意一项所述的硅片侧边检测装置和规整装置，所述规整装置位于所述硅片侧边检测装置的前道，用于对进入所述硅片侧边检测装置的待检测硅片进行预规整。

技术总结
本申请公开了一种硅片侧边检测装置及硅片分选机，包括第一检测单元和第二检测单元，第一检测单元和第二检测单元结构相同，分别用于检测硅片的相互平行的两个侧边；第一检测单元和第二检测单元均包括侧边检测组件，侧边检测组件包括第一点光源、第一光路限定元件和相机，第一光路限定元件包括反光面和狭缝，反光面用于反射由第一点光源发出的光，并将光反射到待检测硅片的侧边，光被待检测硅片的侧边反射并穿过狭缝进入相机。本申请不仅克服了现有方棱镜影响成像效果的问题，提高了成像效果；第一光路限定元件的安装要求也较方棱镜的安装更加方便，更适用于工业上大批量使用。

技术研发人员：闫东,李昶,洪瑞,王美,徐飞,卞海峰,肖文龙,李泽通,薛冬冬,顾晓奕,韩杰
受保护的技术使用者：无锡奥特维科技股份有限公司
技术研发日：20221113
技术公布日：2024/1/13