一种晶圆方向识别装置的制作方法

本技术涉及晶圆方向识别装置，具体为一种晶圆方向识别装置。

背景技术：

1、随着半导体制造领域的技术革新，晶圆键合在半导体异质集成制造领域的作用日渐突出。例如，铌酸锂、钽酸锂等铁电单晶作为一种性能优异的铁电单晶半导体，因其具有良好的光电、声光、压电、双折射、非线性等物理特性及耐高温、抗腐蚀、机械性能稳定等特性，被广泛应用于滤波器、光电调制器、光波导、倍频转换器、全息存储等方面。随着近年来，稀土掺杂工程、畴工程、近化学计量比生长和加工技术的完善，有关铌酸锂光电子器件如全光信号处理、光学数据存储、光学传感等领域更是迅猛发展。

2、现有技术存在以下问题：

3、1、现有的晶圆在生产运输过程中需要对晶圆的缺陷进行查找和定位，但现有的晶圆方向识别方法仍为人工进行识别，从而导致工作效率较低且错误率较高；

4、2、现有的晶圆在运输和晶圆方向识别的过程中会因机械臂导致晶圆与外壳发生接触，从而导致晶圆造成损伤使得次品率变高。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆方向识别装置，解决了现今存在的晶圆方向识别的效率低以及晶圆的次品率高的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆方向识别装置，包括底座，所述底座的上方固定安装有外壳，所述外壳的上部表面固定安装有声光报警器，所述外壳的内部固定安装有空腔，所述外壳的一侧内壁固定安装有内腔，所述内腔的内部固定安装有螺杆，所述螺杆的表面螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的一侧固定安装有第一固定板，所述第一固定板的一侧表面上方固定安装有第一滑轨，所述第一滑轨的一侧滑动连接有横杆，所述横杆的一侧滑动连接有第二滑轨，所述第二滑轨的一侧固定安装有第二固定板，所述第二固定板的一侧固定安装有滑套，所述滑套的内部滑动连接有滑杆，所述横杆的下方固定连接有机械臂，所述机械臂的下方设置有晶圆本体，所述空腔的内部下方固定安装有底板，所述底板的上部表面一侧固定安装有第一距离传感器，所述底板的上部表面中部固定安装有灯源，所述空腔的一侧开设有第一滑槽，所述第一滑轨的内部开设有第二滑槽，所述第一滑轨的下方固定安装有安装板，所述外壳的一侧下方固定安装有传动组件，所述传动组件的一侧固定安装有第一齿轮，所述第一齿轮的一侧齿合连接有第二齿轮，所述安装板的下方一侧固定安装有图像传感器，所述图像传感器的一侧设置有第二距离传感器。

3、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述外壳的两侧内壁固定安装有内腔，所述内腔的内部分别固定安装有螺杆和滑杆，所述螺杆的表面螺纹连接有螺纹套，所述滑杆的表面滑动连接有滑套。

4、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一固定板与螺纹套固定连接，所述滑套与第二固定板固定连接，所述第一固定板和第二固定板的一侧分别固定安装有第一滑轨和第二滑轨，所述第一滑轨和第二滑轨的内部均固定安装有第二滑槽，所述第一滑轨和第二滑轨之间滑动连接有横杆。

5、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一固定板和第二固定板的下方均固定安装有安装板，所述安装板的下方固定安装有图像传感器和第二距离传感器。

6、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底板与空腔固定安装，所述第一距离传感器固定安装在底板的上部表面两侧，所述灯源固定安装在底板的上部表面中部。

7、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述空腔的两侧均开设有第一滑槽，所述螺纹套和滑套均与第一滑槽滑动连接。

8、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述螺杆的下方表面固定安装有第二齿轮，所述传动组件的一侧固定安装有第一齿轮，所述第二齿轮和第一齿轮齿合连接。

9、与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆方向识别装置，具备以下

10、有益效果：

11、1、本实用新型提供了一种晶圆方向识别装置，通过在外壳的两侧内壁固定安装的内腔，内腔的内部固定安装有螺杆和滑杆，螺杆和滑杆的表面分别螺纹连接有螺纹套和滑动连接有滑套，螺纹套与第一固定板固定连接，滑套与第二固定板固定连接，第一滑轨和第二滑轨分别与第一固定板和第二固定板固定安装，横杆与第一滑轨和第二滑轨滑动连接，且机械臂与横杆固定安装，机械臂下方吸附有晶圆本体，通过启动传动组件，通过传动组件带动横杆下方固定安装的机械臂下方吸附的晶圆本体向下移动，通过启动灯源和图像传感器对晶圆本体进行拍照，通过后台系统对图像进行分析辨别晶圆本体的方向，因此本装置在使用时能够根据实际情况调整晶圆本体与灯源的距离，从而使得图像传感器的拍照更为清晰，进而使得晶圆本体的方向辨别的正确率更高，且本装置能够节省大量的人工成本。

12、2、本实用新型提供了一种晶圆方向识别装置，通过在底板的上部表面的两侧固定安装的距离传感器，以及第一固定板和第二固定板的一侧固定安装的安装板的下方固定安装的第一距离传感器，通过第一距离传感器和第二距离传感器的对应能够对晶圆本体的位置进行定位，进而使得在机械臂对晶圆本体进行运输的过程中有效的防止晶圆本体与外壳发生接触，当晶圆本体的位置出现偏移时，通过声光报警器提醒工作人员及时停止机器，从而有效的降低了晶圆本体工艺生产过程中的残次率。

技术特征：

1.一种晶圆方向识别装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的上方固定安装有外壳(2)，所述外壳(2)的上部表面固定安装有声光报警器(3)，所述外壳(2)的内部固定安装有空腔(4)，所述外壳(2)的一侧内壁固定安装有内腔(5)，所述内腔(5)的内部固定安装有螺杆(6)，所述螺杆(6)的表面螺纹连接有螺纹套(7)，所述螺纹套(7)的一侧固定安装有第一固定板(8)，所述第一固定板(8)的一侧表面上方固定安装有第一滑轨(9)，所述第一滑轨(9)的一侧滑动连接有横杆(10)，所述横杆(10)的一侧滑动连接有第二滑轨(11)，所述第二滑轨(11)的一侧固定安装有第二固定板(12)，所述第二固定板(12)的一侧固定安装有滑套(13)，所述滑套(13)的内部滑动连接有滑杆(14)，所述横杆(10)的下方固定连接有机械臂(15)，所述机械臂(15)的下方设置有晶圆本体(16)，所述空腔(4)的内部下方固定安装有底板(17)，所述底板(17)的上部表面一侧固定安装有第一距离传感器(18)，所述底板(17)的上部表面中部固定安装有灯源(19)，所述空腔(4)的一侧开设有第一滑槽(20)，所述第一滑轨(9)的内部开设有第二滑槽(21)，所述第一滑轨(9)的下方固定安装有安装板(22)，所述外壳(2)的一侧下方固定安装有传动组件(23)，所述传动组件(23)的一侧固定安装有第一齿轮(24)，所述第一齿轮(24)的一侧齿合连接有第二齿轮(25)，所述安装板(22)的下方一侧固定安装有图像传感器(26)，所述图像传感器(26)的一侧设置有第二距离传感器(27)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆方向识别装置，其特征在于：所述外壳(2)的两侧内壁固定安装有内腔(5)，所述内腔(5)的内部分别固定安装有螺杆(6)和滑杆(14)，所述螺杆(6)的表面螺纹连接有螺纹套(7)，所述滑杆(14)的表面滑动连接有滑套(13)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆方向识别装置，其特征在于：所述第一固定板(8)与螺纹套(7)固定连接，所述滑套(13)与第二固定板(12)固定连接，所述第一固定板(8)和第二固定板(12)的一侧分别固定安装有第一滑轨(9)和第二滑轨(11)，所述第一滑轨(9)和第二滑轨(11)的内部均固定安装有第二滑槽(21)，所述第一滑轨(9)和第二滑轨(11)之间滑动连接有横杆(10)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆方向识别装置，其特征在于：所述第一固定板(8)和第二固定板(12)的下方均固定安装有安装板(22)，所述安装板(22)的下方固定安装有图像传感器(26)和第二距离传感器(27)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆方向识别装置，其特征在于：所述底板(17)与空腔(4)固定安装，所述第一距离传感器(18)固定安装在底板(17)的上部表面两侧，所述灯源(19)固定安装在底板(17)的上部表面中部。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆方向识别装置，其特征在于：所述空腔(4)的两侧均开设有第一滑槽(20)，所述螺纹套(7)和滑套(13)均与第一滑槽(20)滑动连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆方向识别装置，其特征在于：所述螺杆(6)的下方表面固定安装有第二齿轮(25)，所述传动组件(23)的一侧固定安装有第一齿轮(24)，所述第二齿轮(25)和第一齿轮(24)齿合连接。

技术总结
本技术属于晶圆方向识别装置技术领域，尤其为一种晶圆方向识别装置，包括底座，底座的上方固定安装有外壳，外壳的上部表面固定安装有声光报警器，外壳的内部固定安装有空腔，外壳的一侧内壁固定安装有内腔，内腔的内部固定安装有螺杆，螺杆的表面螺纹连接有螺纹套，螺纹套的一侧固定安装有第一固定板，第一固定板的一侧表面上方固定安装有第一滑轨，第一滑轨的一侧滑动连接有横杆，横杆的一侧滑动连接有第二滑轨，第二滑轨的一侧固定安装有第二固定板。本技术通过在外壳的两侧内壁中固定安装的内腔中的螺杆和滑杆，通过螺杆以及传动组件可使得图像传感器对晶圆的拍照更为清晰，从而使得晶圆方向的辨别更为准确。

技术研发人员：杨亮亮,陈洪立,俞智勇,梁少敏
受保护的技术使用者：江苏希太芯科技有限公司
技术研发日：20221122
技术公布日：2024/1/11