一种镀锅旋转机构的制作方法

本技术涉及半导体设备领域，具体涉及一种镀锅旋转机构。

背景技术：

1、半导体晶片在研磨下蜡及清洗后，则进行dbr镀膜作业，在镀膜作业前，将晶片安装至镀锅上，每安装一个晶片，镀锅需要转动一定角度以安装下一个晶片，这就导致需要一个按压保持的动作以防镀锅因离心力而相对治具产生移位。目前这个按压保持的动作是人员手动使用快速夹钳进行的，需要把整个设备停止后人员才能介入该动作。设备停机会影响生产效率，其次人员需要入侵作业，存在一定的安全性隐患，手动按压是否到位也难以保证。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种适用不同镀锅尺寸、自动化程度高的镀锅旋转机构。

2、为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

3、一种镀锅旋转机构，包括旋转部件和按压部件，旋转部件用于支撑并旋转镀锅，按压部件用于压住旋转部件上的镀锅；旋转部件包括支撑件和第一旋转机构，第一旋转机构驱动支撑件旋转，支撑件包括若干向上竖直设置的支撑柱；按压部件包括第二旋转机构、升降机构和下压机构，下压机构设置在升降机构上，升降机构设于第二旋转机构上，第二旋转机构驱动升降机构和下压机构旋转，升降机构驱动下压机构升降。

4、进一步的，所述下压机构包括竖向设置的第一气缸、支撑座、若干连杆组件，第一气缸的推杆固接支撑座，各连杆组件分布在第一气缸上端周围；

5、每个连杆组件包括第一连杆、第二连杆和支块，第一连杆的一端与支撑座铰接、另一端与第二连杆的一端铰接，第二连杆的中部与支块铰接，第一气缸带动各第二连杆绕相对应的支块转动；第一气缸的推杆上升使得各第二连杆的自由端下压镀锅，第一气缸的推杆回缩使得各第二连杆的自由端上移离开镀锅。

6、进一步的，每个第二连杆的自由端设有一螺纹孔，螺纹孔中螺接一螺栓，螺栓的头部用于压住镀锅，螺栓能根据镀锅的尺寸调整相对第二连杆的旋出长度。

7、进一步的，所述支撑座包括顶块、底块和若干立柱，顶块设于底块上方且两者通过若干立柱连接，顶块固接在第一气缸的推杆上方，底块设有上下贯穿的贯穿孔，第一气缸的缸体位于贯穿孔中，各第一连杆的一端与底块铰接连接。

8、进一步的，各支块分布在相对应的第一连杆与底块的铰接连接点外侧，每个第二连杆包括相连接的第一段和第二段，第一段和第二段的夹角为钝角且小于180°，第一段和第二段连接处形成的拐角与支块铰接，第一段与相对应的第一连杆的一端铰接，第一气缸的推杆回缩能使第二段绕支块旋转成竖直或接近竖直。

9、进一步的，所述升降机构包括竖向设置的两个滑轨、两滑轨之间竖向设置的第二气缸，第二气缸的推杆上端设有一安装块，第一气缸固定在安装块上方，两滑轨的滑块上各自固接一连接块，两连接块分别连接安装块的两端，第二气缸驱动第一气缸升降。

10、进一步的，第二旋转机构包括第二电机和中空旋转平台，第二气缸与中空旋转平台的旋转平台相固定，第二电机连接中空旋转平台的电机连接口，第二电机的转轴与中空旋转平台的轴线平行。

11、进一步的，第一旋转机构包括第一电机、第一齿轮、第二齿轮，第一电机的输出端连接第一齿轮，第一齿轮与第二齿轮啮合，支撑件与第二齿轮的端面固接。

12、进一步的，第二齿轮中部设有为第二旋转机构让位的贯穿孔，第二旋转机构位于第二齿轮中部的贯穿孔中。

13、进一步的，各支撑柱以第二齿轮的中心轴为中心沿周向均匀分布，每个支撑柱上端靠近端部处固接有朝外凸出的横向支撑块。

14、与现有技术相比，本实用新型提供的镀锅旋转机构具有以下优点：

15、1、通过电路控制，按压部件能对治具上旋转状态的镀锅自动进行按压保持，无需设备停机进行人工操作，避免安全隐患，提升生产效率；按压部件设有升降机构，使得能适用不同尺寸、中心高度不同的镀锅，通用性好。

16、2、按压部件的第二旋转机构、升降机构和下压机构三者竖向连接，第二电机的输出轴与中空旋转平台的轴线平行，整个按压部件周向尺寸小；下压机构的各连杆组件与第一气缸部分行程重合，节省高度，使按压部件结构紧凑。

17、3、旋转部件采用第一电机带动相啮合的两个齿轮来驱动支撑件旋转的结构，第二齿轮中间设有贯穿孔，按压部件的第二旋转机构位于第二齿轮中部的贯穿孔中，使按压部件整体位于旋转部件的转动中心线上，整个镀锅旋转机构结构紧凑，周向尺寸小于镀锅，节省设备安装空间。

技术特征：

1.镀锅旋转机构，其特征在于：包括旋转部件和按压部件，旋转部件用于支撑并旋转镀锅，按压部件用于压住旋转部件上的镀锅；

2.根据权利要求1所述的镀锅旋转机构，其特征在于：所述下压机构包括竖向设置的第一气缸、支撑座、若干连杆组件，第一气缸的推杆固接支撑座，各连杆组件分布在第一气缸上端周围；

3.根据权利要求2所述的镀锅旋转机构，其特征在于：每个第二连杆的自由端设有一螺纹孔，螺纹孔中螺接一螺栓，螺栓的头部用于压住镀锅，螺栓能根据镀锅的尺寸调整相对第二连杆的旋出长度。

4.根据权利要求2所述的镀锅旋转机构，其特征在于：所述支撑座包括顶块、底块和若干立柱，顶块设于底块上方且两者通过若干立柱连接，顶块固接在第一气缸的推杆上方，底块设有上下贯穿的贯穿孔，第一气缸的缸体位于贯穿孔中，各第一连杆的一端与底块铰接连接。

5.根据权利要求4所述的镀锅旋转机构，其特征在于：各支块分布在相对应的第一连杆与底块的铰接连接点外侧，每个第二连杆包括相连接的第一段和第二段，第一段和第二段的夹角为钝角且小于180°，第一段和第二段连接处形成的拐角与支块铰接，第一段与相对应的第一连杆的一端铰接，第一气缸的推杆回缩能使第二段绕支块旋转成竖直或接近竖直。

6.根据权利要求2所述的镀锅旋转机构，其特征在于：所述升降机构包括竖向设置的两个滑轨、两滑轨之间竖向设置的第二气缸，第二气缸的推杆上端设有一安装块，第一气缸固定在安装块上方，两滑轨的滑块上各自固接一连接块，两连接块分别连接安装块的两端，第二气缸驱动第一气缸升降。

7.根据权利要求6所述的镀锅旋转机构，其特征在于：所述第二旋转机构包括第二电机和中空旋转平台，第二气缸与中空旋转平台的旋转平台相固定，第二电机连接中空旋转平台的电机连接口，第二电机的转轴与中空旋转平台的轴线平行。

8.根据权利要求1所述的镀锅旋转机构，其特征在于：所述第一旋转机构包括第一电机、第一齿轮、第二齿轮，第一电机的输出端连接第一齿轮，第一齿轮与第二齿轮啮合，支撑件与第二齿轮的端面固接。

9.根据权利要求8所述的镀锅旋转机构，其特征在于：所述第二齿轮中部设有为第二旋转机构让位的贯穿孔，第二旋转机构位于第二齿轮中部的贯穿孔中。

10.根据权利要求8所述的镀锅旋转机构，其特征在于：各支撑柱以第二齿轮的中心轴为中心沿周向均匀分布，每个支撑柱上端靠近端部处固接有朝外凸出的横向支撑块。

技术总结
本技术公开一种镀锅旋转机构，包括旋转部件和按压部件，旋转部件用于支撑并旋转镀锅，按压部件用于压住旋转部件上的镀锅；旋转部件包括支撑件和第一旋转机构，第一旋转机构驱动支撑件旋转，支撑件包括若干向上竖直设置的支撑柱；按压部件包括第二旋转机构、升降机构和下压机构，下压机构设置在升降机构上，升降机构设于第二旋转机构上，第二旋转机构驱动升降机构和下压机构旋转，升降机构驱动下压机构升降。镀锅旋转机构通过电路控制，按压部件能对治具上旋转状态的镀锅自动进行按压保持，无需设备停机进行人工操作，避免安全隐患，提升生产效率；按压部件设有升降机构，使得能适用不同尺寸、中心高度不同的镀锅，通用性好。

技术研发人员：柳华军,肖乾,蔡群海
受保护的技术使用者：厦门捷希自动化科技有限公司
技术研发日：20221130
技术公布日：2024/1/13