一种掰边机构的制作方法

本技术属于半导体制造，尤其涉及一种掰边机构。

背景技术：

1、随着新能源发电，电动汽车等应用的快速兴起，半导体设备的需求持续拉升。半导体设备，即在芯片制造和封测流程中用到的设备，在整个芯片制造和封测过程中，会经过上千道加工工序，其中dbc载板在生产过程中需要一种掰边工艺。

2、目前大多数工厂采用人工手动将dbc载板的工艺边沿切割线掰断，手工沿切割线掰断工艺边，由于手工在对工艺边进行掰边时，力量难以控制，容易造成dbc载板板侧面常出现毛刺、缺口，以及未完全掰断等不良现象。为此提出一种掰边机构。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种掰边机构，旨在解决上述背景技术中提出的问题。

2、本实用新型实施例是这样实现的，一种掰边机构，包括掰边平台，还包括：

3、旋转结构，所述旋转结构安装在掰边平台上，所述旋转结构用于带动产品进行180°旋转；

4、掰边结构，所述掰边结构安装在移动基座上，所述掰边结构用于对dbc载板的四条工艺边进行掰断处理；

5、移动基座，所述移动基座安装在掰边平台上，所述移动基座用于带动掰边结构移动到指定位置。

6、进一步的，所述旋转结构包括：

7、气缸，所述气缸的输出端与吸盘活动连接，所述气缸用于通过吸盘将产品升起；

8、吸盘，所述吸盘用于吸附产品；

9、伺服电机，所述伺服电机通过皮带轮传动结构与吸盘连接，所述伺服电机用于带动吸盘进行180°旋转。

10、进一步的，所述掰边结构设有两组。

11、进一步的，所述掰边结构包括：

12、压紧气缸，所述压紧气缸的输出端固定连接有压板，所述压紧气缸用于将产品压紧；

13、掰边气缸，所述掰边气缸与连杆结构连接，所述掰边气缸用于通过连杆结构将压紧后的产品工艺边掰断。

14、进一步的，所述移动基座包括：

15、移动板，所述掰边结构安装在移动板上；

16、伺服模组，所述伺服模组用于带动移动板移动到掰边位置。

17、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

18、该掰边机构，采用自动化设备，提高了dbc载板掰边的良品率，大大提高了生产效率。

技术特征：

1.一种掰边机构，包括掰边平台，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的掰边机构，其特征在于，所述旋转结构包括：

3.根据权利要求1所述的掰边机构，其特征在于，所述掰边结构设有两组。

4.根据权利要求3所述的掰边机构，其特征在于，所述掰边结构包括：

5.根据权利要求4所述的掰边机构，其特征在于，所述移动基座包括：

技术总结
本技术适用于半导体制造技术领域，提供了一种掰边机构，包括掰边平台，还包括：旋转结构，所述旋转结构安装在掰边平台上，所述旋转结构用于带动产品进行180°旋转；掰边结构，所述掰边结构安装在移动基座上，所述掰边结构用于对DBC载板的四条工艺边进行掰断处理；移动基座，所述移动基座安装在掰边平台上，所述移动基座用于带动掰边结构移动到指定位置。本技术采用自动化设备，提高了DBC载板掰边的良品率，大大提高了生产效率。

技术研发人员：孔维乐,石磊,葛伟涛,杨立强
受保护的技术使用者：智汇轩田智能系统（杭州）有限公司
技术研发日：20221212
技术公布日：2024/1/12