基板加工装置的制作方法

本申请涉及基板加工，尤其涉及一种基板加工装置。

背景技术：

1、在基板上成膜，以制备得到显示面板的过程中，需要用到多种不同的基板加工装置，由于在基板上成膜过程中，会产生多种化学物质，多种化学物质会对基板加工装置造成腐蚀。

2、因此，有必要提出一种技术方案对基板加工装置进行保护。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种基板加工装置，以改善化学物质对基板加工装置的腐蚀。

2、为实现上述目的，技术方案如下：

3、一种基板加工装置，所述基板加工装置包括：

4、基板载置台；

5、至少一个基座，与所述基板载置台相对设置；

6、至少一个升降杆，至少一个所述升降杆的相对两端分别与所述基板载置台以及所述基座连接；

7、至少一个波纹管，至少一个所述波纹管围绕至少一个所述升降杆设置，且至少一个所述波纹管的相对两端分别与所述基板载置台以及所述基座连接；以及

8、至少一个柔性伸缩机构，至少一个所述柔性伸缩机构围绕至少一个所述波纹管设置，且至少一个所述柔性伸缩机构的相对两端分别与所述基板载置台以及所述基座连接。

9、在一些实施例的基板加工装置中，所述柔性伸缩机构包括：

10、至少一个可卷绕柔性管，至少一个所述可卷绕柔性管围绕至少一个所述波纹管设置，至少一个所述可卷绕柔性管的相对两端分别与所述基板载置台以及所述基座连接；以及

11、至少一个环形卷轴，与至少一个所述可卷绕柔性管连接，且围绕至少一个所述波纹管设置；

12、其中，在所述可卷绕柔性管处于完全卷绕状态的情况下，所述可卷绕柔性管的至少部分卷绕于所述环形卷轴上。

13、在一些实施例的基板加工装置中，所述可卷绕柔性管包括：

14、第一可卷绕管状部，所述第一可卷绕管状部的相对两端分别固定于所述基板载置台和所述环形卷轴上，且所述第一可卷绕管状部靠近所述基板载置台设置；以及

15、第二可卷绕管状部，所述第二可卷绕管状部的相对两端分别固定于所述基座和所述环形卷轴上，且所述第二可卷绕管状部靠近所述基座设置；

16、其中，在所述可卷绕柔性管处于完全卷绕状态的情况下，所述第一可卷绕管状部和所述第二可卷绕管状部的至少部分均卷绕于所述环形卷轴上。

17、在一些实施例的基板加工装置中，所述环形卷轴包括相互间隔设置的第一环形卡槽和第二环形卡槽；

18、所述第一可卷绕管状部的一端卡接于所述第一环形卡槽中，所述第一可卷绕管状部的另一端与所述基板载置台连接；

19、所述第二可卷绕管状部的一端卡接于所述第二环形卡槽中，所述第二可卷绕管状部的另一端与所述基座连接。

20、在一些实施例的基板加工装置中，所述第一环形卡槽相对于所述第二环形卡槽旋转的角度大于或等于60度且小于或等于180度。

21、在一些实施例的基板加工装置中，在第一可卷绕管状部和第二可卷绕管状部处于完全卷绕状态时，第一可卷绕管状部和第二可卷绕管状部处于不受外力的状态。

22、在一些实施例的基板加工装置中，所述波纹管的厚度大于或等于所述可卷绕柔性管的厚度。

23、在一些实施例的基板加工装置中，所述可卷绕柔性管的厚度大于或等于0.3毫米且小于或等于0.6毫米，所述波纹管的厚度大于或等于1毫米且小于或等于3毫米。

24、在一些实施例的基板加工装置中，至少一个所述柔性伸缩机构的相对两端分别与所述基板载置台以及所述基座密封连接。

25、在一些实施例的基板加工装置中，所述基板加工装置还包括：

26、控温板，位于所述基板载置台远离所述基座的一侧，且与所述基板载置台相对设置。

27、有益效果：由于至少一个柔性伸缩机构围绕至少一个波纹管设置，至少一个柔性伸缩机构的相对两端分别与基板载置台以及基座连接，至少一个柔性伸缩机构对波纹管起到保护作用，改善基板加工装置对基板加工过程中产生的化学物质、灰尘以及异物等对至少一个波纹管造成损伤的问题，进而延长基板加工装置的使用寿命。

技术特征：

1.一种基板加工装置，其特征在于，所述基板加工装置包括：

2.根据权利要求1所述的基板加工装置，其特征在于，所述柔性伸缩机构包括：

3.根据权利要求2所述的基板加工装置，其特征在于，所述可卷绕柔性管包括：

4.根据权利要求3所述的基板加工装置，其特征在于，所述环形卷轴包括相互间隔设置的第一环形卡槽和第二环形卡槽；

5.根据权利要求4所述的基板加工装置，其特征在于，所述第一环形卡槽相对于所述第二环形卡槽旋转的角度大于或等于60度且小于或等于180度。

6.根据权利要求3所述的基板加工装置，其特征在于，在第一可卷绕管状部和第二可卷绕管状部处于完全卷绕状态时，第一可卷绕管状部和第二可卷绕管状部处于不受外力的状态。

7.根据权利要求2所述的基板加工装置，其特征在于，所述波纹管的厚度大于或等于所述可卷绕柔性管的厚度。

8.根据权利要求7所述的基板加工装置，其特征在于，所述可卷绕柔性管的厚度大于或等于0.3毫米且小于或等于0.6毫米，所述波纹管的厚度大于或等于1毫米且小于或等于3毫米。

9.根据权利要求1所述的基板加工装置，其特征在于，至少一个所述柔性伸缩机构的相对两端分别与所述基板载置台以及所述基座密封连接。

10.根据权利要求1所述的基板加工装置，其特征在于，所述基板加工装置还包括：

技术总结
本申请提供一种基板加工装置，基板加工装置包括：基板载置台；至少一个基座，与基板载置台相对设置；至少一个升降杆，至少一个升降杆的相对两端分别与基板载置台以及所述基座连接；至少一个波纹管，至少一个波纹管围绕至少一个升降杆设置，且至少一个波纹管的相对两端分别与基板载置台以及基座连接；以及至少一个柔性伸缩机构，至少一个柔性伸缩机构围绕至少一个波纹管设置，且至少一个柔性伸缩机构的相对两端分别与基板载置台以及基座连接。

技术研发人员：谭军
受保护的技术使用者：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日：20221220
技术公布日：2024/1/12