一种硅片输送用导正装置的制作方法

本技术涉及一种硅片输送用导正装置，属于硅片输送设备。

背景技术：

1、硅片又称硅晶圆片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成集成电路和各种半导体器件，硅片是以硅为材料制造的片状物体，直径有6英寸、8英寸、12英寸、18英寸等规格，单晶硅是硅的单晶体，是一种比较活泼的非金属元素，具有基本完整的点阵结构。

2、硅片在生产过程中，工序之间需要使用到输送装置对其进行输送，但在传送过程中，硅片容易出现偏移，进而容易使硅片掉落至输送装置外，从而使硅片出现破损。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种硅片输送用导正装置，本实用新型可以方便对输送中的硅片进行导正处理，从而可以有效的避免出现硅片因掉落而产生损坏的现象发生，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种硅片输送用导正装置，包括u型架，所述u型架的一侧转动设有转轴一，所述u型架的另一侧转动设有转轴二，所述转轴一上对称固定套设有主动轮，所述转轴二上对称固定套设有从动轮，所述主动轮与相邻的所述从动轮之间均通过传送带传动连接，所述u型架的前侧和后侧均固定设有气缸，所述气缸的输出端均延伸至所述u型架内且固定连接有竖板，所述竖板对称分布在所述传送带的前侧和后侧，所述竖板之间相邻的一侧均滑动设有导向架，所述导向架之间相邻的一侧均转动设有多个导向轮。

4、进一步的，所述u型架靠近所述转轴一的后侧上部固定设有电机一，所述电机一的输出端与所述转轴一的后端固定连接。

5、进一步的，所述竖板之间相背的一侧均对称阵列固定设有多个滑杆，所述滑杆的另一端均延伸至所述u型架外且固定连接有限位块。

6、进一步的，所述竖板之间相邻的一侧均开设有滑槽，所述滑槽的底端内壁上均固定设有电机二，所述电机二的输出端均固定连接有螺杆，所述螺杆上均螺纹套设有滑块，所述滑块均与相邻的所述导向架固定连接。

7、进一步的，所述滑块均与所述滑槽滑动连接，所述滑块上均贯穿固定嵌设有与所述螺杆相匹配的螺纹座。

8、进一步的，所述导向轮上均环绕开设有凹槽，所述导向轮均为弹性材料制成。

9、本实用新型的有益效果是：

10、本实用新型通过设置了导向轮，在使用时，通过气缸可以推动竖板进行前后移动，然后通过电机二带动螺杆进行转动，从而使得螺杆带动滑块在滑槽内进行滑动，此时通过滑块可以带动导向架进行上下移动，从而通过导向架可以带动导向轮进行上下移动，从而可以调节导向轮至合适高度，当硅片在传送带上进行输送时，此时偏移的硅片将与对应的导向轮抵触，从而通过导向轮将硅片导正，本实用新型可以方便对输送中的硅片进行导正处理，从而可以有效的避免出现硅片因掉落而产生损坏的现象发生。

技术特征：

1.一种硅片输送用导正装置，包括u型架(1)，其特征在于：所述u型架(1)的一侧转动设有转轴一(2)，所述u型架(1)的另一侧转动设有转轴二(3)，所述转轴一(2)上对称固定套设有主动轮(4)，所述转轴二(3)上对称固定套设有从动轮(5)，所述主动轮(4)与相邻的所述从动轮(5)之间均通过传送带(6)传动连接，所述u型架(1)的前侧和后侧均固定设有气缸(7)，所述气缸(7)的输出端均延伸至所述u型架(1)内且固定连接有竖板(8)，所述竖板(8)对称分布在所述传送带(6)的前侧和后侧，所述竖板(8)之间相邻的一侧均滑动设有导向架(9)，所述导向架(9)之间相邻的一侧均转动设有多个导向轮(10)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片输送用导正装置，其特征在于：所述u型架(1)靠近所述转轴一(2)的后侧上部固定设有电机一(11)，所述电机一(11)的输出端与所述转轴一(2)的后端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片输送用导正装置，其特征在于：所述竖板(8)之间相背的一侧均对称阵列固定设有多个滑杆(12)，所述滑杆(12)的另一端均延伸至所述u型架(1)外且固定连接有限位块(13)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片输送用导正装置，其特征在于：所述竖板(8)之间相邻的一侧均开设有滑槽(14)，所述滑槽(14)的底端内壁上均固定设有电机二(15)，所述电机二(15)的输出端均固定连接有螺杆(16)，所述螺杆(16)上均螺纹套设有滑块(17)，所述滑块(17)均与相邻的所述导向架(9)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种硅片输送用导正装置，其特征在于：所述滑块(17)均与所述滑槽(14)滑动连接，所述滑块(17)上均贯穿固定嵌设有与所述螺杆(16)相匹配的螺纹座。

6.根据权利要求1所述的一种硅片输送用导正装置，其特征在于：所述导向轮(10)上均环绕开设有凹槽，所述导向轮(10)均为弹性材料制成。

技术总结
本技术涉及一种硅片输送用导正装置，包括U型架，所述U型架的一侧转动设有转轴一，所述U型架的另一侧转动设有转轴二，所述转轴一上对称固定套设有主动轮，所述转轴二上对称固定套设有从动轮，所述主动轮与相邻的所述从动轮之间均通过传送带传动连接，所述U型架的前侧和后侧均固定设有气缸，所述气缸的输出端均延伸至所述U型架内且固定连接有竖板，所述竖板对称分布在所述传送带的前侧和后侧，所述竖板之间相邻的一侧均滑动设有导向架，所述导向架之间相邻的一侧均转动设有多个导向轮，本技术可以方便对输送中的硅片进行导正处理，从而可以有效的避免出现硅片因掉落而产生损坏的现象发生。

技术研发人员：张明声
受保护的技术使用者：昆山冠昂智能科技有限公司
技术研发日：20221223
技术公布日：2024/1/13