一种半自动晶舟的制作方法

本技术涉及半导体处理设备领域，具体涉及一种半自动晶舟。

背景技术：

1、led芯片制备工艺主要是以蓝宝石为衬底，晶圆衬底依次经过薄膜沉积、光刻图形、蚀刻(薄膜去除)、清洗四个工艺并重复多次以将晶圆衬底制成满足要求的芯片。

2、晶圆的光刻图形工艺主要作用是做出工序需求图形从而进行下一步工序，主要通过涂布光刻胶、曝光、显影的方式将不需要保留的光刻胶去除从而制作出需要的图形，光刻胶去除区域通常容易存在底膜，目前主要通过氧气、氩气等等离子进行表面灰化工艺来去除底膜，灰化过程中，晶圆一般通过晶圆传递盘传递至晶舟内，然后将载有晶圆的晶舟放入机台中进行作业。

3、晶舟上承载晶圆的承托杆上设有若干个放置槽，用于放置晶圆，在灰化处理时，一般会在承托杆两端的放置槽内放置两片挡片，以使得挡片之间的晶圆灰化均匀，目前在晶舟上完成一次灰化在放置下一次待处理的晶圆前，要手动的将挡片从晶舟上取下，晶圆放置好后，再手动将挡片放置在承托杆两端的繁放置槽内，以此往复；目前，每完成一次灰化过程都要通过作业人员手动放置和拿取挡片，耗费的时间较长，效率较低，影响作业效率。

技术实现思路

1、基于此，本实用新型的目的是提供一种半自动晶舟，以解决现有技术中每完成一次灰化过程都要通过作业人员手动放置和拿取挡片，耗费的时间较长，效率较低，影响作业效率的问题。

2、本实用新型提供一种半自动晶舟，用于晶圆的灰化，包括固定架，所述固定架上设有若干晶圆承托杆，所述晶圆承托杆上均匀设有若干晶圆放置槽，所述固定架的两端均设有支架，所述支架包括若干伸缩杆，每一所述支架上均设有灰化挡片，若干所述晶圆承托杆位于所述灰化挡片之间，所述固定架的两端均延伸有若干推杆，若干所述推杆内均设有伸缩槽，若干所述伸缩杆与若干所述伸缩槽相适配，所述伸缩杆在所述伸缩槽内滑动，以调整所述灰化挡片之间的距离。

3、本实用新型的有益效果是：本实用新型提供一种半自动晶舟，包括固定架，所述固定架上设有若干晶圆承托杆，所述晶圆承托杆上均匀设有若干晶圆放置槽，晶圆放置槽用于放置待处理的晶圆，所述固定架的两端均设有支架，所述支架包括若干伸缩杆，每一所述支架上均设有灰化挡片，若干所述晶圆承托杆位于所述灰化挡片之间，所述固定架的两端均延伸有若干推杆，若干所述推杆内均设有伸缩槽，若干所述伸缩杆与若干所述伸缩槽相适配，所述伸缩杆在所述伸缩槽内滑动，以调整所述灰化挡片之间的距离。在放置晶圆时，沿固定架两端分别向外拉伸缩杆，固定架两端的灰化挡片远离；晶圆放置好后，分别向内推伸缩杆，固定架两端的灰化挡片靠近；通过伸缩杆在伸缩槽内滑动，可以自由改变灰化挡片的距离，减少挡片放置的时间，提高作业效率。

4、优选的，所述固定架包括分别对称布置的上横杆与下横杆，所述上横杆与所述下横杆平行布置，若干所述推杆垂设于所述上横杆和所述下横杆之间，若干所述晶圆承托杆的端部垂设于所述上横杆与所述下横杆上。

5、优选的，所述固定架的两端均延伸有两根所述推杆，所述支架包括平行的两根所述伸缩杆，平行的所述伸缩杆一端通过一连接杆固定连接，另一端穿过所述伸缩槽，所述灰化挡片设于平行的所述伸缩杆上。

6、优选的，平行的所述伸缩杆上设有相对布置的安装槽，相对布置的所述安装槽内均设有夹持片，所述夹持片用于夹持所述灰化挡片。

7、优选的，所述夹持片沿轴向延伸的夹角为α，其中45°≤α≤60°。

8、优选的，所述上横杆与所述下横杆上均设有固定槽，所述固定槽的尺寸与所述晶圆承托杆端部的外侧面尺寸相适配，若干所述晶圆承托杆的端部设于所述固定槽内。

9、优选的，所述上横杆之间的距离与所述下横杆之间的距离不同。

10、优选的，平行的所述伸缩杆的另一端设有卡块，所述卡块的尺寸大于所述伸缩槽的尺寸。

11、优选的，所述固定架一端的卡块上设有凸起，所述固定架另一端的卡块上设有凹槽，所述凸起与所述凹槽相适配。

12、优选的，位于所述上横杆上的所述晶圆承托杆上设有定位柱和定位孔，所述定位柱和所述定位孔用于与晶圆传递盘定位，所述晶圆传递盘用于传递晶圆并将所述晶圆置于所述晶圆放置槽内。

13、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种半自动晶舟，用于晶圆的灰化，其特征在于，包括固定架，所述固定架上设有若干晶圆承托杆，所述晶圆承托杆上均匀设有若干晶圆放置槽，所述固定架的两端均设有支架，所述支架包括若干伸缩杆，每一所述支架上均设有灰化挡片，若干所述晶圆承托杆位于所述灰化挡片之间，所述固定架的两端均延伸有若干推杆，若干所述推杆内均设有伸缩槽，若干所述伸缩杆与若干所述伸缩槽相适配，所述伸缩杆在所述伸缩槽内滑动，以调整所述灰化挡片之间的距离。

2.根据权利要求1所述的半自动晶舟，其特征在于，所述固定架包括分别对称布置的上横杆与下横杆，所述上横杆与所述下横杆平行布置，若干所述推杆垂设于所述上横杆和所述下横杆之间，若干所述晶圆承托杆的端部垂设于所述上横杆与所述下横杆上。

3.根据权利要求1所述的半自动晶舟，其特征在于，所述固定架的两端均延伸有两根所述推杆，所述支架包括平行的两根所述伸缩杆，平行的所述伸缩杆一端通过一连接杆固定连接，另一端穿过所述伸缩槽，所述灰化挡片设于平行的所述伸缩杆上。

4.根据权利要求3所述的半自动晶舟，其特征在于，平行的所述伸缩杆上设有相对布置的安装槽，相对布置的所述安装槽内均设有夹持片，所述夹持片用于夹持所述灰化挡片。

5.根据权利要求4所述的半自动晶舟，其特征在于，所述夹持片沿轴向延伸的夹角为α，其中45°≤α≤60°。

6.根据权利要求2所述的半自动晶舟，其特征在于，所述上横杆与所述下横杆上均设有固定槽，所述固定槽的尺寸与所述晶圆承托杆端部的外侧面尺寸相适配，若干所述晶圆承托杆的端部设于所述固定槽内。

7.根据权利要求2所述的半自动晶舟，其特征在于，所述上横杆之间的距离与所述下横杆之间的距离不同。

8.根据权利要求3所述的半自动晶舟，其特征在于，平行的所述伸缩杆的另一端设有卡块，所述卡块的尺寸大于所述伸缩槽的尺寸。

9.根据权利要求8所述的半自动晶舟，其特征在于，所述固定架一端的卡块上设有凸起，所述固定架另一端的卡块上设有凹槽，所述凸起与所述凹槽相适配。

10.根据权利要求2所述的半自动晶舟，其特征在于，位于所述上横杆上的所述晶圆承托杆上设有定位柱和定位孔，所述定位柱和所述定位孔用于与晶圆传递盘定位，所述晶圆传递盘用于传递晶圆并将所述晶圆置于所述晶圆放置槽内。

技术总结
本技术提供了一种半自动晶舟，用于晶圆的灰化，包括固定架，所述固定架上设有若干晶圆承托杆，所述晶圆承托杆上均匀设有若干晶圆放置槽，所述固定架的两端均设有支架，所述支架包括若干伸缩杆，每一所述支架上均设有灰化挡片，若干所述晶圆承托杆位于所述灰化挡片之间，所述固定架的两端均延伸有若干推杆，若干所述推杆内均设有伸缩槽，若干所述伸缩杆与若干所述伸缩槽相适配，所述伸缩杆在所述伸缩槽内滑动，以调整所述灰化挡片之间的距离。通过伸缩杆在伸缩槽内滑动，可以自由改变灰化挡片的距离，减少晶圆放置的时间，提高作业效率。

技术研发人员：许明明,曹丹丹,陈龙,文国昇,金从龙
受保护的技术使用者：江西兆驰半导体有限公司
技术研发日：20221227
技术公布日：2024/1/13