使用真空带的线性分拣机的制作方法

背景技术：

技术实现思路

1、本公开内容的实施方式总体涉及一种用于分拣多个基板的设备。在一个实施方式中，所述设备包括：第一输送机道，所述第一输送机道在第一方向上且在第一平面中布置，所述第一输送机道经适配以从计量单元接收基板；和至少第二输送机道，所述至少第二输送机道部分地设置在所述第一输送机道之上，所述第二输送机道相对于所述第一方向取向在第二方向上，所述第二方向经选择以允许从所述第一输送机道传送到所述第二输送机道的基板侧向地移动离开所述第一输送机道，其中所述第二输送机道定位在不同于所述第一平面的第二平面中。

2、在另一个实施方式中，公开一种经适配以检查和分拣基板的设备。所述设备包括：计量单元；第一输送机道，所述第一输送机道在第一方向上且在第一平面中布置，所述第一输送机道被配置为从所述计量单元接收基板；和至少第二输送机道，所述至少第二输送机道部分地设置在所述第一输送机道之上，所述第二输送机道相对于所述第一方向取向在第二方向上，所述第二方向经选择以允许从所述第一输送机道传送到所述第二输送机道的基板侧向地移动离开所述第一输送机道，其中所述第二输送机道定位在不同于所述第一平面的第二平面中。

3、在又一个实施方式中，公开一种操作用于检查和分拣多个基板的设备的方法。所述方法包括：在主输送机道上运输所述多个基板，所述主输送机道在第一方向上离开计量单元；将所述多个基板中的第一基板从第一分拣道的所述主输送机道真空拾取，所述第一分拣道在多个箱之上延伸；将所述第一基板侧向地运输离开所述第一输送机；和基于所述第一基板的检查特性来将所述第一基板释放到所述箱中所选择的一个箱中。

技术特征：

1.一种用于分拣多个基板的设备，所述设备包括：

2.如权利要求1所述的设备，其中所述第二输送机道包括真空带。

3.如权利要求2所述的设备，其中所述真空带包括多个区段，在所述多个区段中，能选择性地中断一个区段中的负压而不中断其他区段中的负压。

4.如权利要求3所述的设备，其中所述第二输送机道包括多个箱。

5.如权利要求4所述的设备，其中所述真空带的所述区段中的每一者对应于所述多个箱中的一者的位置。

6.如权利要求1所述的设备，其中所述第二输送机道包括多个箱。

7.如权利要求6所述的设备，其中所述多个箱中的每一者相对于所述第二输送机道能移除。

8.如权利要求1所述的设备，进一步包括第三输送机道，所述第三输送机道被定位成在所述第一方向上从所述第二输送机道侧向地偏移。

9.如权利要求8所述的设备，其中所述第三输送机道定位在所述第一输送机道的相对侧上。

10.一种用于检查和分拣多个基板的设备，所述设备包括：

11.如权利要求10所述的设备，其中所述第一输送机道具有第一侧和与所述第一侧相对的第二侧，并且所述第二输送机道定位在所述第一侧上。

12.如权利要求11所述的设备，其中所述第二输送机道定位在所述第一侧上。

13.如权利要求10所述的设备，其中所述第二输送机道包括真空带。

14.如权利要求13所述的设备，其中所述真空带包括多个区段，在所述多个区段中，负压被单独地控制。

15.如权利要求14所述的设备，其中所述第二输送机道包括多个箱。

16.如权利要求15所述的设备，其中所述真空带的所述区段中的每一者对应于所述多个箱中的一者的位置。

17.一种用于分拣多个基板的方法，所述方法包括：

18.如权利要求17所述的方法，其中所述第一分拣道至少部分地覆盖在所述主输送机道上。

19.如权利要求17所述的方法，其中所述第一分拣道包括真空带，并且其中所述真空带包括多个区段，在所述多个区段中，负压被单独地控制。

20.如权利要求19所述的方法，其中能选择性地中断一个区段中的负压而不中断其他区段中的负压。

技术总结
本公开内容的实施方式总体涉及一种用于检查和分拣多个基板的设备。所述设备包括：分拣单元；第一输送机道，所述第一输送机道在第一方向上且在第一平面中设置在所述分拣单元内；和至少第二输送机道，所述第二输送机道设置在所述分拣单元内，所述第二输送机道在第二方向上相对于所述第一方向以大于约45度的角度定位，其中所述第二输送机道定位在不同于所述第一平面的第二平面中。

技术研发人员：阿萨夫•施勒岑杰,马库斯•J•施托佩尔
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15