透明导电性薄膜的制造方法与流程

本发明涉及透明导电性薄膜的制造方法。

背景技术：

1、以往，已知通过卷对卷方式，在基材薄膜上层叠透明导电层来制造导电性薄膜的方法。

2、作为这样的方法，例如提出了以下方法：通过卷对卷方式，边输送长条的透明薄膜基材，边在真空气氛下并且在氩气的存在下，通过溅射形成非晶质的透明导电层，将透明薄膜基材卷取，其后，通过另一工序在真空气氛下对形成有非晶质的透明导电层的透明薄膜基材进行加热，从而使透明导电层结晶化，制造透明导电性薄膜(例如，参照专利文献1。)。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2016-056423号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、但是，对透明导电性薄膜的制造方法要求进一步更高的生产率。

3、本发明提供生产率优异的能够形成透明导电层的透明导电性薄膜的制造方法。

4、用于解决问题的方案

5、本发明[1]为一种透明导电性薄膜的制造方法，其具备：第1工序，准备长条的基材；第2工序，在真空气氛下在前述基材的厚度方向一个面形成透明导电层；和第3工序，在真空气氛下对前述透明导电层进行加热，在前述第2工序中不卷取前述基材，而连续实施前述第3工序。

6、本发明[2]包含上述[1]所述的透明导电性薄膜的制造方法，其中，前述第1工序、前述第2工序及前述第3工序通过卷对卷方式来实施。

7、本发明[3]包含上述[1]所述的透明导电性薄膜的制造方法，其中，前述第2工序在包含氪气的稀有气体的存在下实施。

8、发明的效果

9、本发明的透明导电性薄膜的制造方法中，在第2工序中，在真空气氛下性形成透明导电层，并且在第3工序中，在真空气氛下对透明导电层进行加热，使透明导电层结晶化。另外，在第2工序中不卷取长条的基材而连续实施第3工序。由此，能够以进一步更高的生产率形成透明导电层。另外，通过在第2工序中不卷取长条的基材而连续实施第3工序，从而能够抑制第3工序中的透明导电层的裂纹。

技术特征：

1.一种透明导电性薄膜的制造方法，其具备：

2.根据权利要求1所述的透明导电性薄膜的制造方法，其中，所述第1工序、所述第2工序及所述第3工序通过卷对卷方式来实施。

3.根据权利要求1所述的透明导电性薄膜的制造方法，其中，所述第2工序在包含氪气的稀有气体的存在下实施。

技术总结
透明导电性薄膜(3)的制造方法具备：第1工序，准备长条的基材(1)；第2工序，在真空气氛下在基材(1)的厚度方向一个面形成透明导电层(3)；和第3工序，在真空气氛下对透明导电层(2)进行加热。在第2工序中不卷取前述基材，而连续实施第3工序。

技术研发人员：鸦田泰介,藤野望,鹰尾宽行
受保护的技术使用者：日东电工株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15