在接触表面的界面处具有不相似材料的光罩盒的内盒的制作方法

本公开涉及在界面接触表面处具有不相似材料的光罩盒。

背景技术：

1、光罩盒可用于存储及传送光罩，例如，经受光刻(例如极紫外光(euv)光刻)的光罩。光罩盒可包含外盒及内盒。内盒可包含金属，通常为硬金属材料。内盒通常包含基板及盖，当内盒关闭时，例如，当内含光罩时，基板及盖彼此接触。

技术实现思路

1、本公开涉及在界面接触表面处具有不相似材料的光罩盒。

2、光罩盒内盒的盖及基板的接触表面可在相应接触表面处使用不同材料。不同材料的硬度可不同，以在接触表面中的一者处提供相对柔软及/或延展材料，且在另一处提供相对更硬的材料。可选择不同材料之间的硬度差异，以减少由于磨损及/或接触表面处磨损的发生而产生的粒子。根据实施例，通过使用不相似材料提供的粒子产生的减少可改进产量，且减少在使用内盒的存储、运输及光刻工艺中对光罩的损坏或损失。

3、在实施例中，一种光罩盒包含基板及盖。所述基板及所述盖经配置以容纳光罩。所述基板包含在所述基板的一侧上的一或多个第一接触表面，所述第一接触表面经配置以面向所述盖。所述盖包含一或多个第二接触表面，所述一或多个第二接触表面中的每一者经配置以接触所述一或多个第一接触表面中的至少一者。所述一或多个第一接触表面由第一材料形成。所述一或多个第二接触表面由第二材料形成。所述第二材料不同于所述第一材料。

4、在实施例中，当所述一或多个第一接触表面接触所述一或多个第二接触表面时，在所述一或多个第一接触表面与所述一或多个第二接触表面的界面处形成密封。

5、在实施例中，所述第一材料及所述第二材料的硬度相差至少50布氏硬度。在实施例中，所述第一材料及所述第二材料中的一者为金，且所述第一材料及所述第二材料中的另一者选自由镍及铬组成的群组。在实施例中，所述第一材料及所述第二材料中的至少一者为金属。在实施例中，所述第一材料及所述第二材料中的一者作为在所述基板或所述盖中的相应者上的涂层来提供。在实施例中，所述第一材料或所述第二材料中的至少一者具有0.62或更大的延展性值d。在实施例中，所述第一材料或所述第二材料中的至少一者是非氧化的。

6、在实施例中，一种制造光罩盒的方法包含形成第一材料的基板，其中所述基板包含一或多个第一接触区。所述方法进一步包含形成所述第一材料的盖，所述盖包含一或多个第二接触区，其中，所述一或多个第二接触区经配置以当所述基板及所述盖接合时与所述一或多个第一接触区相对。所述方法还包含至少在所述一或多个第一接触区或所述一或多个第二接触区处，将不同于所述第一材料的第二材料施加到所述盖或所述基板中的一者，以形成接触表面。

7、在实施例中，所述第一材料及所述第二材料的硬度相差至少50布氏硬度。在实施例中，所述第一材料选自由镍及铬组成的群组，且所述第二材料为金。在实施例中，所述第一材料及所述第二材料中的每一者为金属。在实施例中，施加所述第二材料包括用所述第二材料涂覆所述一或多个第一接触区或所述一或多个第二接触区。在实施例中，所述第二材料具有0.62或更大的延展性值d。在实施例中，所述第二材料是非氧化的。

8、在实施例中，所述方法进一步包含至少在所述一或多个第一接触区或所述一或多个第二接触区处将不同于所述第二材料的第三材料施加到所述盖或所述基板中的另一者，以形成第二接触表面。在实施例中，所述第三材料及所述第二材料的硬度相差至少50布氏硬度。在实施例中，所述第三材料选自由镍及铬组成的群组，且所述第二材料为金。在实施例中，所述第三材料及所述第二材料为金属。在实施例中，所述第三材料是非氧化的。

9、在实施例中，一种存储光罩的方法包含将所述光罩放置在包含盖及基板的光罩盒中。所述方法进一步包含使设置在所述盖上的一或多个第一接触表面与设置在所述基板上的一或多个第二接触表面接触。所述一或多个第一接触表面由第一材料形成，且所述一或多个第二接触表面由第二材料形成。所述第二材料不同于所述第一材料。在实施例中，所述第一材料及所述第二材料的硬度相差至少50布氏硬度。在实施例中，所述第一材料及所述第二材料中的至少一者具有0.62或更大的延展性值d。在实施例中，所述第一材料及所述第二材料中的至少一者是非氧化的。

技术特征：

1.一种光罩盒，其包括：

2.根据权利要求1所述的光罩盒，其中当所述一或多个第一接触表面接触所述一或多个第二接触表面时，在所述一或多个第一接触表面与所述一或多个第二接触表面的界面处形成密封。

3.根据权利要求1所述的光罩盒，其中所述第一材料及所述第二材料的硬度相差至少50布氏硬度。

4.根据权利要求1所述的光罩盒，其中所述第一材料及所述第二材料中的一者为金，且所述第一材料及所述第二材料中的另一者选自由镍及铬组成的群组。

5.根据权利要求1所述的光罩盒，其中所述第一材料及所述第二材料中的每一者为金属。

6.根据权利要求1所述的光罩盒，其中所述第一材料及所述第二材料中的一者作为在所述基板或所述盖中的相应者上的涂层来提供。

7.根据权利要求1所述的光罩盒，其中所述第一材料或所述第二材料中的至少一者具有0.62或更大的延展性值d。

8.根据权利要求1所述的光罩盒，其中所述第一材料或所述第二材料中的至少一者是非氧化的。

9.一种制造光罩盒的方法，其包括：

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一材料及所述第二材料的硬度相差至少50布氏硬度。

11.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一材料选自由镍及铬组成的群组，且所述第二材料为金。

12.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一材料及所述第二材料中的每一者为金属。

13.根据权利要求9所述的方法，其中施加所述第二材料包括用所述第二材料涂覆所述一或多个第一接触区或所述一或多个第二接触区。

14.根据权利要求9所述的方法，其中所述第二材料具有0.62或更大的延展性值d。

15.根据权利要求9所述的方法，其中所述第二材料是非氧化的。

16.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括至少在所述一或多个第一接触区或所述一或多个第二接触区处，将不同于所述第二材料的第三材料施加到所述盖或所述基板中的另一者，以形成第二接触表面。

17.一种存储光罩的方法，其包括：

18.根据权利要求17所述的方法，其中所述第一材料及所述第二材料的硬度相差至少50布氏硬度。

19.根据权利要求17所述的方法，其中所述第一材料及所述第二材料中的至少一者具有0.62或更大的延展性值d。

20.根据权利要求17所述的方法，其中所述第一材料及所述第二材料中的至少一者是非氧化的。

技术总结
光罩盒的内盒包含盖及基板，所述盖及所述基板在接触表面处彼此接触。所述盖及所述基板的所述接触表面各自包含不同材料。所述不同材料可各自为金属。所述不同材料的硬度可不同。硬度差可为50布氏硬度或更大。所述不同材料中的一者可为延展材料，具有25％或更大的断裂伸长率。方法可包含提供各自包含第一材料的所述盖及所述基板，且在所述盖或所述基板中的一者的所述接触表面处提供不同的第二材料。

技术研发人员：R·V·拉施克
受保护的技术使用者：恩特格里斯公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/2