一种晶圆侦测系统及方法与流程

本发明涉及晶圆侦测的领域，尤其是涉及一种晶圆侦测系统及方法。

背景技术：

1、湿法槽式清洗设备对单位时间内达成高效率的晶圆传输尤其重要,以槽式清洗设备为例，晶圆机械性移动装置是一种晶圆传递系统装置，其晶圆传输与导片模组所构成的装置在实际进行晶圆传输,必须有效性的达成高效率的晶圆传递。在晶圆或是晶圆盒传递的过程，通常需要透过特定的传输过程的衔接动作进行传递，在传递的过程需要面临以下两种实际状况：

2、入料晶圆盒将晶圆盒替换到清洗用的晶圆盒进行清洗；

3、入料晶圆盒将晶圆盒内晶圆批量取出进行清洗；

4、基于两种情形都是需要保持晶圆盒内的晶圆盒确保传递过程的动作协调,全程过程可控制,必须避免晶圆盒因为晃动产生各种外力破坏,所以需要对传递过程晶圆盒与晶圆片计量以及晶圆盒的位置侦测。

5、在传统常规的设计都是采取多个传感器安装在传送平台上,在传送的过程中难以对晶圆盒运动的具体位置、移动速度和晶圆片是否发生错位、破损或者缺片等现象进行检测。

技术实现思路

1、为了便于对传动过程中的晶圆盒具体的运动位置、速度以及晶圆片是否发生错位或者缺片进行检测，本发明提供一种晶圆侦测系统及方法。

2、第一方面，本发明提供的一种晶圆侦测系统采用如下的技术方案：

3、一种晶圆侦测系统，采用光学与波段频谱波的结合建立全方位的光学与毫米波噪声扫描成像；包括

4、光学侦测单元，设置在相对晶圆移动路径的第一位置，用于对晶圆进行光学成像；

5、波段侦测单元，设置在相对晶圆移动路径的第二位置，用于对晶圆进行波谱成像，

6、侦测分析单元，与所述光学侦测单元和所述波段侦测单元信号连接，用于对光学成像信息和波谱成像信息进行侦测和运算分析，以实现对晶圆的侦测，获得晶圆的实时状态。

7、可选的，晶圆侦测系统，还包括：

8、运动控制单元，用于根据设定程式控制晶圆的运动；

9、所述侦测分析单元电性连接所述运动控制单元，获取晶圆运动的设定程式，并与侦测的晶圆实时状态对比，进行晶圆异常监控。

10、可选的，对晶圆的侦测范围包括：对晶圆片、晶圆承载装置及晶圆夹持装置的实时运动的侦测，其中，所述实时运动包括：晶圆承载装置的单一动作的平面传输、多动作的平面传输、垂直移动传输，涉及晶圆片导片动作的传输及晶圆片的夹取动作传输。

11、可选的，对晶圆的侦测范围包括：第一侦测范围、第二侦测范围及第三侦测范围；其中，

12、所述第一侦测范围包括：晶圆片的实时运动定位，晶圆片的错位、偏移及缺位；

13、所述第二侦测范围包括：晶圆承载装置的实时运动定位，晶圆承载装置的错位、偏移及缺位，晶圆承载装置的高度及相对移动速度；

14、所述第三侦测范围包括：晶圆夹持装置的实时运动定位，晶圆夹持装置的夹持错位、偏移及缺位，晶圆夹持装置的高度及相对移动速度。

15、可选的，所述光学侦测单元包括：

16、接收集成组件，用于接收光并进行转向传导；

17、光源集成组件，用于集成传导的光线，以对晶圆进行光学扫描；

18、光学探测集成组件，用于探测晶圆光学扫描后的光信号，并反馈至侦测分析单元。

19、可选的，所述波段侦测单元包括：

20、波段发射端，用于向x轴、y轴及z轴发射毫米波，以形成全方位空间波段扫描；

21、波段探测集成组件，用于探测晶圆波段扫描后的毫米波，并反馈至侦测分析单元。

22、可选的，晶圆侦测系统，还包括：晶圆承载平台，所述晶圆承载平台上设置有中间镂空的承载位，用于支撑晶圆承载装置，所述接收集成组件和所述光源集成组件设置在所述晶圆承载平台的底部，且对称分布在镂空位置的两侧。

23、可选的，所述接收集成组件和所述光源集成组件均通过升降移动和旋转摆动以接收和传导光线。

24、可选的，所述晶圆承载平台上对应所述承载位设置定位块，所述定位块用于定位晶圆承载装置。

25、可选的，所述定位块上设置有侦测传感器，用于侦测晶圆承载装置是否放置在定位块的定位脚上。

26、可选的，所述第一位置和所述第二位置均位于晶圆传输路径中的同一侧。

27、可选的，所述第二位置位于x轴、y轴及z轴至少一个方向上，且向晶圆发射毫米波进行波谱扫描。

28、第二方面，本发明提供了一种晶圆侦测方法，包括：

29、s1、光学侦测单元在相对晶圆的第一位置对晶圆进行光学成像，波段侦测单元在相对晶圆的第二位置对晶圆进行波谱成像；

30、s2、侦测分析单元对所述光学成像和所述波谱成像进行侦测和运算分析，以实现对晶圆的侦测，获得晶圆的实时状态。

31、可选的，s1中：

32、光学发射端向x轴、y轴及z轴发射光源；

33、接收集成组件接收光并进行转向传导；

34、光源集成组件集成传导的光线；

35、光学探测集成组件探测晶圆光学扫描后的光信号。

36、可选的，s1中：

37、波段发射端向x轴、y轴及z轴发射毫米波；

38、接收集成组件接收毫米波并进行转向传导；

39、光源集成组件集成传导的毫米波；

40、波段探测集成组件探测晶圆光学扫描后的毫米波。

41、可选的，晶圆侦测方法还包括：

42、所述侦测分析单元获取晶圆运动的设定程式，并与侦测的晶圆实时状态对比，进行晶圆异常监控。

43、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

44、本发明一种晶圆侦测系统通过协同光学与波谱对晶圆盒及晶圆进行侦测，可有效对晶圆盒的位置、移动速度和移动过程进行实时侦测，同时可对晶圆盒与晶圆片三维位置或动作是否偏移、晶圆片是否发生破损进行实时侦测。

技术特征：

1.一种晶圆侦测系统，其特征在于：采用光学与波段频谱波的结合建立全方位的光学与毫米波噪声扫描成像；包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆侦测系统，其特征在于：还包括：

3.根据权利要求1所述的一种晶圆侦测系统，其特征在于：对晶圆(5)的侦测包括：对晶圆(5)、晶圆承载装置及晶圆夹持装置的实时运动的侦测，其中，所述实时运动包括：晶圆承载装置的单一动作的平面传输、多动作的平面传输、垂直移动传输，涉及晶圆(5)导片动作的传输及晶圆(5)的夹取动作传输。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆侦测系统，其特征在于：对晶圆(5)的侦测范围包括：第一侦测范围、第二侦测范围及第三侦测范围；其中，

5.根据权利要求3所述的一种晶圆侦测系统，其特征在于：所述光学侦测单元包括：

6.根据权利要求5所述的一种晶圆侦测系统，其特征在于：所述波段侦测单元包括：

7.根据权利要求5所述的晶圆侦测系统，其特征在于，还包括：晶圆承载平台(3)，所述晶圆承载平台(3)上设置有中间镂空的承载位，用于支撑晶圆承载装置，所述接收集成组件(1)和所述光源集成组件(2)设置在所述晶圆承载平台(3)的底部，且对称分布在镂空位置的两侧。

8.根据权利要求7所述的晶圆侦测系统，其特征在于，所述接收集成组件(1)和所述光源集成组件(2)均通过升降移动和旋转摆动以接收和传导光线。

9.根据权利要求7所述的晶圆侦测系统，其特征在于，所述晶圆承载平台(3)上对应所述承载位设置定位块(4)，用于定位晶圆承载装置。

10.根据权利要求9所述的晶圆侦测系统，其特征在于，所述定位块(4)上设置有侦测传感器，用于侦测晶圆承载装置是否放置在定位块(4)的定位脚上。

11.根据权利要求1所述的晶圆侦测系统，其特征在于，所述第一位置和所述第二位置均位于晶圆(5)传输路径中的同一侧。

12.根据权利要求1所述的晶圆侦测系统，其特征在于，所述第二位置位于x轴、y轴及z轴至少一个方向上，且向晶圆(5)发射毫米波进行波谱扫描。

13.一种晶圆侦测方法，其特征在于，包括：

14.根据权利要求13所述的晶圆侦测方法，其特征在于，s1中：

15.根据权利要求13所述的晶圆侦测方法，其特征在于，s1中：

16.根据权利要求13所述的晶圆侦测方法，其特征在于，还包括：

技术总结
本发明公开了一种晶圆侦测系统，采用光学与波段频谱波的结合建立全方位的光学与毫米波噪声扫描成像；包括：光学侦测单元，设置在相对晶圆移动路径的第一位置，用于对晶圆进行光学成像；波段侦测单元，设置在相对晶圆移动路径的第二位置，用于对晶圆进行波谱成像，侦测分析单元，与所述光学侦测单元和所述波段侦测单元信号连接，用于对光学成像信息和波谱成像信息进行侦测和运算分析，以实现对晶圆的侦测，获得晶圆的实时状态，本发明还提供了一种晶圆侦测方法，本发明提供的一种晶圆侦测系统可有效对晶圆盒的位置、移动速度和移动过程进行实时侦测侦测，同时可对晶圆盒与晶圆片三维位置或动作是否偏移、晶圆片是否发生破损进行实时侦测。

技术研发人员：廖世保,邓信甫,李盼盼,卢证凯,吕芳毅,陈新来
受保护的技术使用者：上海至纯洁净系统科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13