基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法与流程

本发明涉及一种对半导体基板、液晶显示用或有机el(电致发光，electroluminescence)显示装置等fpd(平板显示器，flat panel display)用基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板等基板进行规定的处理的基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法，尤其涉及一种检测部件的动作状态的技术。

背景技术：

1、一直以来，作为这种第一装置，具备存储部、拍摄部、异常检测部、显示部。例如，参照日本特开2013-214279号公报。

2、存储部预先存储表示装置的正常处理状态的正常时动态图像数据。拍摄部在装置实际动作时获取动态图像数据。异常检测部基于动态图像数据和正常时动态图像数据算出异常度。显示部显示关联有动态图像数据的异常度。根据第一装置，在实际处理基板的装置的运转时，能够容易地检测到异常。

3、另外，作为这种第二装置，具备生成部、提取部和动态图像生成部。例如，参照日本特开2013-51282号公报。

4、生成部根据与构成装置的构成要素相关的动作的历史信息，生成构成要素的检测动作数据。提取部从cad数据提取各构成要素的形状、设计动作数据。动态图像生成部基于设计动作数据和检测动作数据，生成模拟了设计时的动作即设计动作和实际运转时的动作即检测动作的动态图像。根据第二装置，将模拟了设计时的动作和实际运转时的动作的动态图像以可对比的形式显示。因此，在运转时产生故障后，能够在运转后容易确定故障的原因。

5、但是，在具有这种构成的现有例的情况下，具有如下问题。

6、即，如果正常时动态图像数据与运转时的动态图像数据的拍摄条件不同，则现有的第一装置不能够正常地算出异常度。因此，存在不能够高精度地检测异常的问题。

7、另外，第二装置在运转时产生异常后，对比动态图像并通过目视来确定异常的原因。因此，虽然对于异常发生后的事后查明原因是有效的，但不能够在装置运转时检测异常。因此，存在持续对基板实施不适当的处理的风险。

技术实现思路

1、本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的是提供一种通过与规程同步地利用基于设计信息的图像，能够在运转时高精度地检测异常的基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法。

2、本发明为达成这样的目的，采用下述构成。

3、即，本发明为对基板进行规定的处理的基板处理装置，具有：规程存储部，存储规定了构成该基板处理装置的部件的动作内容和执行顺序的规程，以进行所述规定的处理；拍摄部，被设置于规定的配置位置，在运转时拍摄所述部件作为实际图像；正常图像存储部，基于该基板处理装置的三维设计信息，预先模拟根据所述规程正常动作的状态，此时在从所述配置位置的视角下预先存储正常图像；动作控制部，根据所述规程控制各部件，并进行所述规定的处理；以及异常检测部，在所述动作控制部根据所述规程实际处理基板的运转时，基于与所述规程的动作同步的所述正常图像和所述实际图像的差异来检测异常。

4、根据本发明，异常检测部在动作控制部根据规程实际处理基板的运转时，基于与规程的动作同步的正常图像和实际图像的差异来检测异常。正常图像是基于三维设计信息，预先模拟根据规程正常动作的状态，此时在从拍摄部的配置位置的视角下预先存储的图像。因此，由于能够使全部装置中的拍摄条件相同，因此能够避免拍摄条件不同带来的不利影响。另外，由于与规程的动作同步，因此还能够抑制比较对象的图像偏移。因此，运转时能够高精度地检测异常。

5、另外，在本发明中，优选所述拍摄部以动态图像形式拍摄所述实际图像，所述正常图像存储部以动态图像形式存储所述正常图像。

6、由于实际图像和正常图像为动态图像，因此能够容易检测移动源与移动目的地之间的异常等。另外，能够增加异常检测的对象位置。

7、另外，在本发明中，优选所述异常检测部以构成所述规程的多个步骤中的任意步骤为基准进行同步。

8、能够在规程内的任意定时进行异常检测。因此，能够容易设定所需的异常的检测位置。

9、另外，在本发明中，优选进一步具备：旋转夹具，将基板支撑为水平姿势并使基板旋转；喷嘴，从顶端部向由所述旋转夹具支撑的基板喷出处理液；喷嘴移动机构，使所述喷嘴的顶端部在向所述基板的侧方离开的原点位置和处于所述基板的上方的喷出位置之间移动，所述异常检测部检测与所述喷嘴的移动相关的异常。

10、异常检测部能够检测与喷嘴移动机构移动喷嘴相关的异常。

11、另外，在本发明中，优选进一步具备：旋转夹具，将基板支撑为水平姿势并使基板旋转；以及固定喷嘴，配置被固定且从顶端部向由所述旋转夹具支撑的基板喷出处理液，所述正常图像存储部中，作为所述正常图像，包含由流体模拟器在所述配置位置的视角下模拟来自所述固定喷嘴的处理液的正常喷出状态而成的图像。

12、正常图像包含由流体模拟器模拟而成的图像。因此，能够检测从固定喷嘴喷出处理液的异常。

13、另外，在本发明中，优选基板处理系统具备多台上述记载的任一基板处理装置。

14、即使是具备多台基板处理装置的基板处理系统，也能够在运转时高精度地检测异常。

15、另外，在本发明中，优选各所述基板处理装置具备评分存储部，基于所述异常检测部的所述差异记录评分，并进一步具备：系统控制部，读取各所述评分存储部的评分；以及显示部，显示所述系统控制部读取的各评分。

16、系统控制部读取各基板处理装置中的各评分存储部的评分并显示于显示部。由此，能够容易地得知相同构成的基板处理装置间的动作差异。因此，通过将动作的差异可视化，能够有助于减少各基板处理装置的差异。

技术特征：

1.一种基板处理装置，对基板进行规定的处理，其中，

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，

3.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，

4.如权利要求2所述的基板处理装置，其中，

5.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，

6.如权利要求2所述的基板处理装置，其中，

7.如权利要求3所述的基板处理装置，其中，

8.如权利要求4所述的基板处理装置，其中，

9.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，

10.如权利要求2所述的基板处理装置，其中，

11.如权利要求3所述的基板处理装置，其中，

12.如权利要求4所述的基板处理装置，其中，

13.一种基板处理系统，其中，

14.如权利要求13所述的基板处理系统，其特征在于，

15.一种基板处理方法，对基板进行规定的处理，其中，

技术总结
本发明是对基板进行规定的处理的基板处理装置，通过与规程同步地利用基于设计信息的图像，能够在运转时高精度地检测异常，其中，所述装置包含以下要素：规程存储部，存储规程；拍摄部，被设置于规定的配置位置，在运转时拍摄所述部件的实际图像；正常图像存储部，基于该基板处理装置的三维设计信息，预先模拟根据所述规程正常动作的状态，此时在从所述配置位置的视角下预先存储正常图像；动作控制部，进行所述规定的处理；以及异常检测部，基于与所述规程的动作同步的所述正常图像和所述实际图像的差异来检测异常。

技术研发人员：清水进二
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14