一种紫外光源的制作方法

本发明涉及紫外光源，尤其涉及一种具有较低驱动电压的紫外光源。

背景技术：

1、紫外光源具有荧光效应、生物效应、光化学效应和光电效应，适用于工业、农业、国防和医疗等领域。长波紫外和中波紫外光源广泛应用于重氮复印、静电复印、印刷制版，机械工业中的荧光探伤，化学工业中的光合成、光固化、光氧化，农业上的捕鱼诱虫，公安方面的检查、鉴别，以及某些皮肤病的治疗等方面。短波紫外主要用于杀灭包括细菌繁殖体、芽胞、分支杆菌、冠状病毒、真菌、立克次体和衣原体等流感病毒，凡被上述病毒污染的物体表面、水和空气，均可采用紫外线消毒台灯进行消毒。

2、现有的紫外光源主要包括紫外线荧光灯、紫外线汞灯、紫外线氙灯、紫外线金属卤化物灯、紫外线led发光二极管、准分子紫外光源。准分子紫外光源的放电形式有多种多样，其中包括高气压辉光放电、介质阻挡放电、高频电容放电、微波放电以及空心阴极放电等，它们都能有效地激发准分子发光。其中，介质阻挡放电由于其结构简单、经济实用，在研究和应用中被大量采用。由于驱动的准分子灯无内电极，避免了电极与等离子体接触后发生的腐蚀和溅射，是一种潜在的长寿命紫外光源，还可根据各种需求改变形状和尺寸。

3、然而，通常基于介质阻挡放电的传统准分子灯的放电电压较高，达到了几kv甚至几十kv的级别，而且辐射功耗大，对于大规模照射应用，辐射效率仍有待提升。

技术实现思路

1、鉴于上述的分析，本发明一实施方式旨在提供一种紫外光源用以解决现有的紫外光源的驱动电压高或辐射效率低的问题。

2、一方面，本发明一实施方式提供了一种紫外光源，包括层状结构，所述层状结构包括：

3、多层电极层；以及

4、至少一个第一空腔；

5、其中，所述多层电极层包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层与所述第二电极层之间的距离为1μm～1mm；所述至少一个第一空腔位于所述第一电极层和所述第二电极层之间。

6、根据本发明一实施方式，所述层状结构包括第一支撑层，所述第一支撑层设置于所述第一电极层和所述第二电极层之间，在所述第一支撑层上开设有至少一个第一孔，以在所述第一电极层和所述第二电极层之间形成所述至少一个第一空腔。

7、根据本发明一实施方式，所述第一支撑层的材质为绝缘材料。

8、根据本发明一实施方式，所述紫外光源包括至少一个第二空腔，所述至少一个第二空腔与所述至少一个第一空腔相连通。

9、根据本发明一实施方式，沿所述层状结构的厚度方向，所述至少一个第二空腔的高度为10μm～3mm；和/或，

10、沿所述层状结构的厚度方向，所述第一空腔与所述第二空腔之间的距离为10μm～1mm。

11、根据本发明一实施方式，所述多层电极层包括第三电极层，所述至少一个第二空腔位于所述第二电极层和所述第三电极层之间。

12、根据本发明一实施方式，在所述第二电极层和所述第三电极层之间设置有第一介质阻挡层；和/或，

13、所述层状结构包括第二支撑层，所述第二支撑层设置于所述第二电极层和所述第三电极层之间，在所述第二支撑层上开设有至少一个第三通孔，以在所述第二电极层和所述第三电极层之间形成所述至少一个第二空腔。

14、根据本发明一实施方式，在所述第二电极层上开设有至少一个第二通孔，在所述第一介质阻挡层上开设有至少一个第四通孔，所述第一空腔通过所述第二通孔、所述第四通孔与所述第二空腔相连通；和/或，

15、所述第一电极层、所述第二电极层、所述第三电极层的厚度均为10nm～10μm，进一步为10nm～1μm。

16、根据本发明一实施方式，所述层状结构包括基底，所述第一电极层设置于所述基底上。

17、根据本发明一实施方式，所述紫外光源为平板等离子体光源。

18、本发明一实施方式的紫外光源，相较于现有的紫外光源，具有更低的驱动电压。

19、本发明中，上述各技术方案之间还可以相互组合，以实现更多的优选组合方案。本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分优点可从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过说明书以及附图中所特别指出的内容中来实现和获得。

技术特征：

1.一种紫外光源，包括层状结构，所述层状结构包括：

2.根据权利要求1所述的紫外光源，其中，所述层状结构包括第一支撑层，所述第一支撑层设置于所述第一电极层和所述第二电极层之间，在所述第一支撑层上开设有至少一个第一孔，以在所述第一电极层和所述第二电极层之间形成所述至少一个第一空腔。

3.根据权利要求2所述的紫外光源，其中，所述第一支撑层的材质为绝缘材料。

4.根据权利要求1所述的紫外光源，包括至少一个第二空腔，所述至少一个第二空腔与所述至少一个第一空腔相连通。

5.根据权利要求4所述的紫外光源，其中，沿所述层状结构的厚度方向，所述至少一个第二空腔的高度为10μm～3mm；和/或，

6.根据权利要求4所述的紫外光源，其中，所述多层电极层包括第三电极层，所述至少一个第二空腔位于所述第二电极层和所述第三电极层之间。

7.根据权利要求6所述的紫外光源，其中，在所述第二电极层和所述第三电极层之间设置有第一介质阻挡层；和/或，

8.根据权利要求7所述的紫外光源，其中，在所述第二电极层上开设有至少一个第二通孔，在所述第一介质阻挡层上开设有至少一个第四通孔，所述第一空腔通过所述第二通孔、所述第四通孔与所述第二空腔相连通；和/或，

9.根据权利要求1所述的紫外光源，其中，所述层状结构包括基底，所述第一电极层设置于所述基底上；和/或，

10.根据权利要求1所述的紫外光源，其为平板等离子体光源；和/或，所述第一电极层与所述第二电极层之间的距离为1～50μm。

技术总结
本发明涉及一种紫外光源，该紫外光源包括层状结构，所述层状结构包括多层电极层和至少一个第一空腔，其中，所述多层电极层包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层与所述第二电极层之间的距离为1μm～1mm；所述至少一个第一空腔位于所述第一电极层和所述第二电极层之间。本发明的紫外光源，相较于现有的紫外光源，具有更低的驱动电压。

技术研发人员：戴军,张人升,曹志
受保护的技术使用者：北京兆宇投资管理有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/5