用于光谱仪的光纤电缆组合件及接口的制作方法

本申请案大体上涉及光谱仪，且更具体来说涉及与所述光谱仪介接的光纤电缆组合件。

背景技术：

1、光谱仪及相关联光纤电缆组合件通常与半导体处理设备搭配使用，用于过程及故障监控以及例如光学发射光谱学(“oes”)及干涉测量端点(“iep”)等其它形式的计量及过程控制。在oes应用中，从工艺(通常从等离子体)发射的光被收集及分析，以识别并跟踪原子及分子种类的改变，所述改变指示被监控的工艺的状态或进程。在iep应用中，光通常由例如闪光灯的外部源供应并被引导到工件上。在从工件反射之后，源光即刻以工件的反射率的形式载运指示工件的状态的信息。来自oes或iep应用的光通常经由光纤电缆组合件提供给光谱仪，用于处理及理解半导体工艺。

技术实现思路

1、在一个方面中，本公开提供一种光纤电缆组合件。在一个实例中，所述光纤电缆组合件包含：(1)终端；(2)护套；及(3)在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器。

2、在另一方面中，本公开还提供另一光纤电缆组合件。在一个实例中，此光纤电缆组合件包含：(1)终端；(2)护套；及(3)用于所述终端及所述护套中的至少一者的电隔离/绝缘(eii)保护物。

3、在又一方面中，本公开提供一种光纤耦合系统。在一个实例中，所述光纤耦合系统包括：(1)光谱仪及(2)耦合到所述光谱仪的光纤电缆组合件，其中所述光纤电缆组合件包含(2a)终端、(2b)护套及(2c)用于所述光谱仪的电隔离/绝缘(eii)保护物，其中所述eii保护物与所述终端及所述护套中的至少一者搭配使用。

技术特征：

1.一种光纤电缆组合件，其包括：

2.根据权利要求1所述的光纤电缆组合件，其进一步包括至少部分地覆盖所述终端及所述护套的非导电护套。

3.根据权利要求1所述的光纤电缆组合件，其中所述终端及护套由导电材料构成。

4.根据权利要求1所述的光纤电缆组合件，其中所述电介质断路器被配置成隔离1000伏特或更高的dc放电。

5.根据权利要求1所述的光纤电缆组合件，其中所述终端及电介质断路器是所述光纤电缆组合件的共同部分。

6.根据权利要求1所述的光纤电缆组合件，其中所述电介质断路器包括peek、氧化铝、delrin及uhmw聚乙烯中的一者。

7.根据权利要求1所述的光纤电缆组合件，其中所述电介质断路器包括peek。

8.根据权利要求2所述的光纤电缆组合件，其中所述非导电护套包括聚乙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、氟化乙烯丙烯、聚丙烯、橡胶、氯丁橡胶、聚氨酯、硅酮及聚烯烃中的一者。

9.根据权利要求1所述的光纤电缆组合件，其中所述终端是定制终端。

10.根据权利要求1所述的光纤电缆组合件，其中所述终端是标准终端。

11.根据权利要求1所述的光纤电缆组合件，其进一步包括绝缘罩。

12.根据权利要求1所述的光纤电缆组合件，其进一步包括接地系绳。

13.根据权利要求1所述的光纤电缆组合件，其进一步包括顺从性构件。

14.根据权利要求13所述的光纤电缆组合件，其中所述顺从性构件粘附地紧固到所述终端。

15.根据权利要求13所述的光纤电缆组合件，其中所述电介质断路器集成在所述终端内。

16.根据权利要求1所述的光纤电缆组合件，其进一步包括与所述电介质断路器协作以在所述终端与所述护套之间提供所述电隔离的电介质屏蔽物。

17.一种光纤电缆组合件，其包括：

18.根据权利要求17所述的光纤电缆组合件，其中所述eii保护物包含在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器。

19.根据权利要求17所述的光纤电缆组合件，其中所述eii保护物包含至少部分地覆盖所述终端及所述护套的非导电护套。

20.根据权利要求17所述的光纤电缆组合件，其中所述eii保护物包含隔离罩。

21.根据权利要求17所述的光纤电缆组合件，其中所述eii保护物包含接地系绳。

22.根据权利要求17所述的光纤电缆组合件，其中所述eii保护物包含至少部分地覆盖所述终端及所述护套的非导电护套、在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器、隔离罩以及接地系绳中的至少两者的组合。

23.一种光纤耦合系统，其包括：

24.根据权利要求23所述的光纤耦合系统，其中所述eii保护物包含在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器。

25.根据权利要求23所述的光纤耦合系统，其中所述eii保护物包含至少部分地覆盖所述终端及所述护套的非导电护套。

26.根据权利要求23所述的光纤耦合系统，其中所述eii保护物包含隔离罩。

27.根据权利要求23所述的光纤耦合系统，其中所述eii保护物包含接地系绳。

28.根据权利要求23所述的光纤耦合系统，其中所述eii保护物包含至少部分地覆盖所述终端及所述护套的非导电护套、在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器、隔离罩及接地系绳中的至少两者的组合。

29.根据权利要求23所述的光纤耦合系统，其中所述eii保护物包含电介质屏蔽物以及在所述终端与所述护套之间提供电隔离的集成电介质断路器。

30.根据权利要求29所述的光纤耦合系统，其中所述eii保护物进一步包含顺从性构件。

31.根据权利要求23所述的光纤耦合系统，其中所述光谱仪包含用于紧固所述终端的保持器，并且所述光纤耦合系统进一步包含用于所述保持器的盖以及附接到所述盖的非导电系绳。

32.根据权利要求23所述的光纤耦合系统，其进一步包括光学地耦合到所述光纤电缆组合件的光源，其中所述光纤电缆组合件将来自所述光源的光提供给所述光谱仪。

33.根据权利要求32所述的光纤耦合系统，其中所述光源是闪光灯。

技术总结
本公开涉及用于光谱仪的光纤电缆组合件及接口并提供一种经改进光纤电缆组合件，其可保护光谱仪免受外部噪声及放电源中的一或多者的影响。所述经改进光纤电缆组合件为所述光纤电缆组合件端接于其中的例如光谱仪的光学仪器提供了电隔离及/或绝缘EII保护物。所述EII保护物可包含至少部分地覆盖终端及护套的非导电护套、在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器、隔离罩以及接地系绳中的一或多者。在一个实例中，光纤电缆组合件包含：(1)终端；(2)护套；及(3)在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器。本发明还公开了一种具有经改进光纤电缆组合件的光纤耦合系统。

技术研发人员：L·布洛克,M·惠兰,M·梅洛尼,W·埃利奥特,D·弗里德斯多夫
受保护的技术使用者：真实仪器公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15