一种准分子气体激光器的制作方法

本发明涉及激光器，尤其涉及一种准分子气体激光器。

背景技术：

1、仅激发态存在的分子称为准分子。其英文名称excimer来源于excited dimer, 意为激发态的双原子分子。通常可分为稀有气体准分子(如 ar2*、kr2*、xe2*)、卤素气体准分子(如 f2*）、稀有气体卤化物准分子(如 arf*、krf*、xef*、xecl*、krcl*、arcl*)等。准分子光源的辐射波长常见于紫外线波段。。

2、准分子激光是准分子光源的常见应用形式。当前的准分子激光，一般采用气体泵浦循环冷却的方式，核心部件为国外少数供应商控制，制造复杂，成本高企。另外现有激光器采用冷阴极，即圆筒形结构，如图1所示，便于激光和气体从中透过，该种方式电在在运动过程中，形成椭圆形轨迹，无法实现直线型轨迹，造成电子运动路径长，放电效率低。

技术实现思路

1、本发明的目的是针对现有技术的不足之处，提供一种准分子气体激光器，通过网状结构的电极设置，缩短电子的运动路径，提高放电效率；另外由圆筒形电极结构改为片状圆环型，实现平面对平面放电，提高放电过程的均匀性，提高放电效率的同时，使激光输出更稳定。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种准分子气体激光器，包括储气管、设于储气管内部的放电管、水冷管、回气管、设于所述储气管两端的全返镜和输出反射镜以及设于所述放电管两端的电极；所述水冷管套设于所述放电管的外侧，其特征在于，所述电极形状为圆环片结构且其中心开设有用于激光光束穿过的通孔。

4、作为改进，所述电极由金属网制成，其表面形成若干用于通过工作介质的镂空结构。

5、作为改进，所述放电管两端的所述电极金属网线对称设置。

6、作为改进，所述电极的外圆周设有弹性环。

7、作为改进，所述电极卡设于所述放电管上。

8、作为改进，所述放电管内壁周向设有若干凸起，所述电极卡设于所述凸起处。

9、作为改进，所述放电管口部内壁处设有台阶，所述电极卡设于所述台阶处。

10、作为改进，所述金属网材料为哈氏合金。

11、作为改进，所述金属网横竖交替编织。

12、作为改进，所述金属网为环形向外扩散编织。

13、本发明的有益效果在于：

14、（1）本发明通过网状圆环片状电极的设置，由圆筒形电极放电改为平面放电，使电子运动路径改为直线运动，缩短电极运动路径，提高放电效率，此外，平面对平面放电，放电更均匀，提高输出激光的稳定性；

15、（2）本发明通过网状电极的设置，使工作气体更容易流动，并带走电极上的热量，缩小电极与工作气体的温度差，提高电极使用寿命；

16、（3）本发明通过电极周向增设弹性环的结构，使电极更容易卡合于放电管的内壁；

17、（4）本发明通过在放电管的内壁增设凸点/台阶，配合放电过程中电子的冲击力，使电极片更牢固的安装于放电管内，使放电管两端的电极始终保持对称设置，实现电子运动过程中点对点直线运动；

18、综上所述，本发明具有放电均匀、输出激光更稳定、电极寿命长等优点。

技术特征：

1.一种准分子气体激光器，包括储气管、设于储气管内部的放电管、水冷管、回气管、设于所述储气管两端的全返镜和输出反射镜以及设于所述放电管两端的电极；所述水冷管套设于所述放电管的外侧，其特征在于，所述电极形状为圆环片结构且其中心开设有用于激光光束穿过的通孔。

2.根据权利要求1所述的一种准分子气体激光器，其特征在于，所述电极由金属网制成，其表面形成若干用于通过工作介质的镂空结构。

3.根据权利要求2所述的一种准分子气体激光器，其特征在于，所述放电管两端的所述电极金属网线对称设置。

4.根据权利要求2所述的一种准分子气体激光器，其特征在于，所述电极的外圆周设有弹性环。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种准分子气体激光器，其特征在于，所述电极卡设于所述放电管上。

6.根据权利要求5所述的一种准分子气体激光器，其特征在于，所述放电管内壁周向设有若干凸起，所述电极卡设于所述凸起处。

7.根据权利要求5所述的一种准分子气体激光器，其特征在于，所述放电管口部内壁处设有台阶，所述电极卡设于所述台阶处。

8.根据权利要求2-3任一项所述的一种准分子气体激光器，其特征在于，所述金属网材料为耐腐蚀哈氏合金。

9.根据权利要求2-3任一项所述的一种准分子气体激光器，其特征在于，所述金属网横竖交替编织。

10.根据权利要求2-3任一项所述的一种准分子气体激光器，其特征在于，所述金属网为环形向外扩散编织。

技术总结
本发明提供了一种准分子气体激光器，包括储气管、设于储气管内部的放电管、水冷管、回气管、设于所述储气管两端的全返镜和输出反射镜以及设于所述放电管两端的电极；所述水冷管套设于所述放电管的外侧，其特征在于，所述电极形状为圆环片结构且其中心开设有用于激光光束穿过的通孔；通过网状结构的电极设置，缩短电子的运动路径，提高放电效率；另外由圆筒形电极结构改为片状圆环型，实现平面对平面放电，提高放电过程的均匀性，提高放电效率的同时，使激光输出更稳定。

技术研发人员：方东明,李和军,华磊,张文华
受保护的技术使用者：优威泰克光电科技（湖州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12