一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质与流程

本申请涉及电子显微镜，尤其涉及一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质。

背景技术：

1、目前市场上高端的场发射扫描电子显微镜大多数都具备大面积区域自动化拍摄功能，一款好的扫描电子显微镜在拍摄大面积样品时，需要能自动进行聚焦、象散等调图操作，期望能在拍摄的大面积区域都能获得清晰的图像。

2、但是，目前大面积区域自动化拍摄只能选择单一的调聚焦和象散的方式。单一的调聚焦和象散的方式是根据不同类型的样品确定的，对于大面积区域样品，该方式无法照顾到的样品的全部，往往有部分区域无法调试清晰，图片模糊不清，只能后续进行人为的重拍工作。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例期望提供一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质，使得在大面积区域扫描成像时可获得整个区域清晰的图像，减少重拍工作。

2、本申请实施例的技术方案是这样实现的：

3、本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，所述方法包括：

4、基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；

5、为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；

6、基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。

7、本申请实施例中，所述待测样品表面的特征信息包括但不限于以下一种或多种：

8、高度；

9、相邻区域之间的高度差；

10、表面的粗糙程度；

11、所包含的样品特征的数量；

12、可承受的电子束辐照的程度。

13、本申请实施例中，所述基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域，包括：

14、分析所述已选定的感兴趣区域表面的特征信息；

15、将所述感兴趣区域内特征信息均满足相同阈值的部分区域划分在同一个子区域内；其中，

16、所述子区域为：感兴趣区域内连续的一部分区域。

17、本申请实施例中，所述为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式，包括：

18、确定每个子区域的特征信息；

19、基于所述特征信息分别为每个子区域配置对应的聚焦方式和调节象散的方式。

20、本申请实施例中，所述聚焦方式包括但不限于以下一种或多种：

21、桩点插值法手动聚焦i focus；

22、自动聚焦af；

23、所述调节象散的方式包括但不限于以下一种或多种：

24、桩点插值法手动调象散i stigxy；

25、自动调象散asc。

26、本申请实施例中，在所述感兴趣区域划分为第一子区域和第二子区域两个子区域的情况下，所述基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，包括：

27、对于所述感兴趣区域从预设的第一行开始逐行进行拍摄，确定拍摄的区域为第一子区域的情况下，调用所述第一子区域对应的聚焦方式和调节象散的方式进行拍摄；确定拍摄的区域为第二子区域的情况下，调用所述第二子区域对应的聚焦方式和调节象散的方式进行拍摄。

28、本申请实施例还提供了一种聚焦控制装置，所述装置应用于扫描电子显微镜，包括：

29、区域划分单元，用于基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；

30、配置单元，用于为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；

31、图像获取单元，用于基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。

32、本申请实施例还提供了一种扫描电子显微镜，包括：

33、第一处理器，用于基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；

34、图像处理器，用于基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。

35、本申请实施例还提供了一种扫描电子显微镜，包括：第一处理器和用于存储能够在处理器上运行的计算机程序的第一存储器，

36、其中，所述第一处理器用于运行所述计算机程序时，执行上述方法的步骤。

37、本申请实施例还提供了一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述方法的步骤。

38、本申请实施例提供的聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质，基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。本申请实施例基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为多个子区域，并为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式，使得在大面积区域扫描成像时能满足不同特征区域的拍摄需求，从而使整个区域都能获得聚焦清晰的图像，从而减少后期重新拍摄的工作。

技术特征：

1.一种聚焦控制方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待测样品表面的特征信息包括但不限于以下一种或多种：

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域，包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述聚焦方式包括但不限于以下一种或多种：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述感兴趣区域划分为第一子区域和第二子区域两个子区域的情况下，所述基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，包括：

7.一种聚焦控制装置，其特征在于，所述装置应用于扫描电子显微镜，包括：

8.一种扫描电子显微镜，其特征在于，包括：

9.一种扫描电子显微镜，其特征在于，包括：第一处理器和用于存储能够在处理器上运行的计算机程序的第一存储器，

10.一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至6任一项所述方法的步骤。

技术总结
本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，包括：基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。本申请实施例还提供了实现所述方法的装置、扫描电子显微镜和存储介质。

技术研发人员：张琛,谭宇琦,张韩,李杨,费雅茜
受保护的技术使用者：聚束科技（北京）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13