用于防止悬浮台堵塞的装置、基板处理装置及其方法与流程

本公开涉及一种用于防止在用于从悬浮台传送基板的设施中的悬浮台堵塞的装置、基板处理装置和基板处理方法。

背景技术：

1、在制造平板显示器的工艺中，伴随着将化学溶液(诸如红、绿或黑(rgb)油墨或抗蚀剂溶液)涂布到由玻璃等形成的目标基板的表面的涂覆工艺。

2、在相关技术中，当显示器的尺寸较小时，通过旋转基板同时将化学液涂布到作为显示器材料的基板的中心部分，使用旋涂方法将化学溶液涂布到基板的表面。

3、然而，随着显示器尺寸的增大，极少使用旋涂方法，而使用这样一种涂覆方法，其中，当基板在悬浮台上移动以穿过具有与基板宽度对应的长度的狭缝形喷嘴的下侧时，从喷嘴喷射的液态化学品被涂布到基板的表面。

技术实现思路

1、本公开的一个方面是提供一种用于防止悬浮台堵塞的装置、基板处理装置和基板处理方法，其中可以防止悬浮台的进气孔阻塞。

2、根据本公开的一个方面，一种用于防止悬浮台堵塞的装置包括：移动构件，朝向用于提升基板的悬浮台移动；以及盖，安装在移动构件上，并且通过移动构件朝向悬浮台移动以覆盖悬浮台。

3、移动构件可以是夹持和传送基板的夹持器。

4、盖可以安装在夹持器的盖安装部分上，该盖安装部分与夹持器的其上装载基板的基板装载部分相对。

5、悬浮台可以在基板的传送方向上被划分为入口悬浮部分、涂覆悬浮部分和出口悬浮部分，且盖可具有板形状并且其尺寸可大于涂覆悬浮部分的上表面的尺寸以覆盖设置在悬浮台中的位于喷嘴下方的部分的上表面。

6、盖可以具有设置在其上表面的边缘上的防掉落凸块。

7、盖在其上表面中可具有多个凹槽。

8、用于防止悬浮台堵塞的装置还可以包括基板检测传感器，该基板检测传感器安装在其中安装有喷嘴的喷嘴支承件上，并且检测喷嘴下方的基板。

9、移动构件可以是安装在设置于悬浮台的两侧上的轨道上的可移动主体，并且可移动主体可以通过控制器电连接到基板检测传感器，并且当基板检测传感器检测到喷嘴下方不存在基板时，可移动主体可以在悬浮台和喷嘴之间移动。

10、移动构件可以是安装在喷嘴支承件上的旋转主体，并且旋转主体可以通过控制器电连接到基板检测传感器，并且当基板检测传感器检测到喷嘴下方不存在基板时，移动构件可以在悬浮台和喷嘴之间旋转。

11、根据本发明的一个方面，一种基板处理装置包括：轨道，沿提升基板的悬浮台的纵向方向设置在悬浮台的两侧上；移动构件，设置在轨道上，沿着轨道移动，并保持和传送基板；盖，安装在移动构件上，通过移动构件朝向悬浮台移动并覆盖悬浮台；以及喷嘴，设置在悬浮台上方，并通过将液态化学品涂布到朝向悬浮台移动的基板来处理基板。

12、基板处理装置还可以包括清洁单元，该清洁单元设置在悬浮台上方并对盖进行清洁。清洁单元可以包括抽吸盖的上表面上的异物颗粒或油墨的抽吸构件。清洁单元可以包括将清洁液喷射到盖的上表面上的清洁构件。清洁单元还可以包括与清洁构件平行设置并且使清洁液超声振动的超声波发生构件。清洁单元还可以包括与清洁构件平行设置并且对被清洁液润湿的盖进行干燥的干燥构件。

13、清洁单元可包括：抽吸构件，抽吸盖的上表面上的异物颗粒或油墨；清洁构件，将清洁液喷射到盖的上表面上；超声波发生构件，使清洁液发生超声振动；以及干燥构件，对被清洁液润湿的盖进行干燥。抽吸构件、清洁构件、超声波发生构件和干燥构件在移动构件的移动方向上顺序设置。

14、根据本公开的一方面，一种基板处理方法包括：基板装载操作，通过将夹持器移动到基板的装载位置而将基板装载到夹持器上；覆盖操作，通过朝向使基板悬浮的悬浮台移动盖来覆盖悬浮台；以及基板处理操作，通过将装载有基板的夹持器朝向悬浮台移动来处理悬浮台上的基板。

15、盖可以安装在夹持器的盖安装部分中，该盖安装部分与夹持器的其上装载基板的基板装载部分相对，并且覆盖操作可以在基板装载操作期间进行。

1.一种用于防止悬浮台堵塞的装置，包括：

2.根据权利要求1所述的用于防止悬浮台堵塞的装置，其中，所述移动构件是保持并传送所述基板的夹持器。

3.根据权利要求2所述的用于防止悬浮台堵塞的装置，其中，所述盖安装在所述夹持器的盖安装部分上，所述盖安装部分与所述夹持器的其上装载所述基板的基板装载部分相对。

4.根据权利要求1所述的用于防止悬浮台堵塞的装置，其中，在所述基板的传送方向上，所述悬浮台被划分为入口悬浮部分、涂覆悬浮部分和出口悬浮部分，以及

5.根据权利要求1所述的用于防止悬浮台堵塞的装置，其中，所述盖具有设置在其上表面的边缘上的防掉落凸块。

6.根据权利要求1所述的用于防止悬浮台堵塞的装置，其中，所述盖在其上表面中具有多个凹槽。

7.根据权利要求1所述的用于防止悬浮台堵塞的装置，还包括：

8.根据权利要求1所述的用于防止悬浮台堵塞的装置，还包括：

9.一种基板处理装置，包括：

10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，在所述基板的传送方向上，所述悬浮台被划分为入口悬浮部分、涂覆悬浮部分和出口悬浮部分，以及

11.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，所述盖具有设置在其上表面的两侧上的防掉落凸块。

12.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，所述盖在其上表面中具有多个凹槽。

13.根据权利要求9所述的基板处理装置，还包括：

14.根据权利要求13所述的基板处理装置，其中，所述清洁单元包括抽吸构件，所述抽吸构件抽吸所述盖的上表面上的颗粒。

15.根据权利要求13所述的基板处理装置，其中，所述清洁单元包括清洁构件，所述清洁构件将清洁液喷射到所述盖的上表面上。

16.根据权利要求15所述的基板处理装置，其中，所述清洁单元还包括超声波发生构件，所述超声波发生构件与所述清洁构件平行设置并且使所述清洁液发生超声振动。

17.根据权利要求15所述的基板处理装置，其中，所述清洁单元还包括干燥构件，所述干燥构件与所述清洁构件平行设置，并且对被所述清洁液润湿的所述盖进行干燥。

18.根据权利要求13所述的基板处理装置，其中，所述清洁单元包括：

19.一种基板处理方法，包括：

20.根据权利要求19所述的基板处理方法，其中，