腔体连接结构的制作方法

本发明涉及集成电路制造设备领域，特别是涉及一种腔体连接结构。

背景技术：

1、为了提升产品整体良率，28nm及以上工艺引入边缘刻蚀工艺bevel-et，使用机台为lam2300coronus/coronus hp机型，该种机型的现有的腔体与传送平台连接结构如图1所示，其包括密封连接板、密封门框及密封圈(图中圆黑点所在位置表示密封圈所在位置)，其中，除了设于密封连接板靠近传送平台侧的密封圈不会接触到等离子体外，其他三处的密封圈均会接触到等离子体，也即是会受到等离子体腐蚀，在这种情况下，会导致机台漏率异常，因此，需要对密封圈进行更换以解决漏率异常问题。在对密封圈进行更换时，设置于腔体门板上的密封圈与设置于密封门框上的密封圈的更换周期为6个月，而对设置于密封连接板靠近腔体侧的密封圈进行更换时，需断开腔体和传送平台连接。然而，若要断开腔体和传送平台的连接，需拆卸特气管路、真空管路、冷却水管路、冷却液管路，此种做法使得单次工事耗时长(整机耗时100小时)，严重影响产能，单次move loss8400片，不符合量产要求。而且，coronus/coronus hp机台的各腔(5个腔或6个腔)均有可能发生上述问题。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种腔体连接结构，用于解决对现有的腔体连接结构进行密封圈更换时因耗时较长使得产能受到影响的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种腔体连接结构，所述结构包括：密封连接板、密封门框及密封圈，

3、所述密封连接板固定于腔体与传送平台之间，包括连接板开口、第一密封槽及第二密封槽，其中，所述连接板开口贯穿所述密封连接板的两端面，且与所述腔体的开口及所述传送平台的传送开口相对应，所述第一密封槽与所述第二密封槽分别设于所述密封连接板的两端面；

4、所述密封门框包括堆叠设置的第一门框部分、第二门框部分、第三门框部分、贯穿三者所形成的门框开口及第三密封槽，其中，所述第一门框部分、所述第二门框部分及所述第三门框部分形成台阶结构，所述第一门框部分固定于所述传送平台上，此时，所述第二门框部分置于所述传送开口内，所述第三门框部分置于所述连接板开口内，所述第三密封槽设于所述第三门框部分的端面；

5、所述密封圈置于所述第一密封槽、所述第二密封槽及所述第三密封槽内。

6、可选地，所述第一密封槽及所述第二密封槽均呈环形，且所述第一密封槽设于所述密封连接板靠近所述腔体一侧的端面，所述第二密封槽设于所述密封连接板靠近所述传送平台一侧的端面。

7、可选地，所述第一密封槽与所述第二密封槽错位设置，且所述第一密封槽的位置处于所述连接板开口与所述第二密封槽之间。

8、可选地，所述密封连接板还包括第一固定孔、第二固定孔、第一固定凹槽及第二固定凹槽，其中，所述第一固定孔设于所述密封连接板两侧的边缘；所述第二固定孔设于所述第一固定孔与所述第一密封槽之间；所述第一固定凹槽设于所述密封连接板靠近所述腔体一侧的端面，并设于所述第二固定孔与所述第一密封槽之间；所述第二固定凹槽设于所述密封连接板靠近所述传送平台一侧的端面，并设于所述第二固定孔与所述第二密封槽之间。

9、可选地，所述第二固定孔为台阶孔。

10、可选地，所述密封连接板的材质包括不锈钢。

11、可选地，所述第一门框部分的宽度大于所述传送开口的宽度。

12、可选地，所述第一门框部分设有第三固定孔，且所述密封门框通过所述第三固定孔固定于所述传送平台上。

13、可选地，所述第一门框部分的底部端面设有第四密封槽。

14、可选地，所述第二门框部分的高度与所述传送开口的深度相同。

15、可选地，所述第二门框部分的宽度小于所述传送开口的宽度。

16、可选地，所述第三门框部分的高度小于等于所述连接板开口的深度。

17、可选地，所述第三门框部分的宽度小于所述连接板开口的宽度。

18、可选地，所述密封门框的材质包括金属铝。

19、如上所述，本发明的腔体连接结构，在进行密封圈更换时，无需断开腔体和传送平台，从而能够降低工事耗时，降低对产能的影响，使得单次工事由整机耗时100小时降低至8小时，且单次工事晶圆损失片数由8400pcs降低至224pcs。

技术特征：

1.一种腔体连接结构，其特征在于，所述结构包括：密封连接板、密封门框及密封圈，所述密封连接板固定于腔体与传送平台之间，包括连接板开口、第一密封槽及第二密封槽，其中，所述连接板开口贯穿所述密封连接板的两端面，且与所述腔体的开口及所述传送平台的传送开口相对应，所述第一密封槽与所述第二密封槽分别设于所述密封连接板的两端面；

2.根据权利要求1所述的腔体连接结构，其特征在于，所述第一密封槽及所述第二密封槽均呈环形，且所述第一密封槽设于所述密封连接板靠近所述腔体一侧的端面，所述第二密封槽设于所述密封连接板靠近所述传送平台一侧的端面。

3.根据权利要求2所述的腔体连接结构，其特征在于，所述第一密封槽与所述第二密封槽错位设置，且所述第一密封槽的位置处于所述连接板开口与所述第二密封槽之间。

4.根据权利要求1所述的腔体连接结构，其特征在于，所述密封连接板还包括第一固定孔、第二固定孔、第一固定凹槽及第二固定凹槽，其中，所述第一固定孔设于所述密封连接板两侧的边缘；所述第二固定孔设于所述第一固定孔与所述第一密封槽之间；所述第一固定凹槽设于所述密封连接板靠近所述腔体一侧的端面，并设于所述第二固定孔与所述第一密封槽之间；所述第二固定凹槽设于所述密封连接板靠近所述传送平台一侧的端面，并设于所述第二固定孔与所述第二密封槽之间。

5.根据权利要求4所述的腔体连接结构，其特征在于，所述第二固定孔为台阶孔。

6.根据权利要求1～5任一项所述的腔体连接结构，其特征在于，所述密封连接板的材质包括不锈钢。

7.根据权利要求1所述的腔体连接结构，其特征在于，所述第一门框部分的宽度大于所述传送开口的宽度。

8.根据权利要求7所述的腔体连接结构，其特征在于，所述第一门框部分设有第三固定孔，且所述密封门框通过所述第三固定孔固定于所述传送平台上。

9.根据权利要求8所述的腔体连接结构，其特征在于，所述第一门框部分的底部端面设有第四密封槽。

10.根据权利要求1所述的腔体连接结构，其特征在于，所述第二门框部分的高度与所述传送开口的深度相同。

11.根据权利要求10所述的腔体连接结构，其特征在于，所述第二门框部分的宽度小于所述传送开口的宽度。

12.根据权利要求1所述的腔体连接结构，其特征在于，所述第三门框部分的高度小于等于所述连接板开口的深度。

13.根据权利要求12所述的腔体连接结构，其特征在于，所述第三门框部分的宽度小于所述连接板开口的宽度。

14.根据权利要求1或8～13任一项所述的腔体连接结构，其特征在于，所述密封门框的材质包括金属铝。

技术总结
本发明提供一种腔体连接结构，包括：密封连接板、密封门框及密封圈，密封连接板包括连接板开口、第一密封槽及第二密封槽，第一密封槽与第二密封槽分别设于密封连接板的两端面；密封门框包括堆叠设置的第一门框部分、第二门框部分、第三门框部分、贯穿三者所形成的门框开口及第三密封槽，第一门框部分、第二门框部分及第三门框部分形成台阶结构，第一门框部分固定于传送平台上，此时，第二门框部分置于传送开口内，第三门框部分置于连接板开口内，第三密封槽设于第三门框部分的端面；密封圈置于第一密封槽、第二密封槽及第三密封槽内。通过本发明解决了对现有的腔体连接结构进行密封圈更换时因耗时较长使得产能受到影响的问题。

技术研发人员：罗伟,冯翔,潘无忌
受保护的技术使用者：上海华力集成电路制造有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14