引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线的制作方法

本发明涉及引线框架蚀刻，尤其涉及引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线。

背景技术：

1、集成电路是各类电子产品的核心，主要由半导体芯片和引线框架等封装而成，其中引线框架主要起芯片和外面的连接作用，是集成电路制造的关键构件。随着电子信息产品向小型化、薄型化、轻量化、多功能化及智能化方向的发展，集成电路向大规模集成电路和超大规模集成电路方向发展，其铜基引线框架随之向高精密化、引线间距微细化、多脚化的方向发展,引线框架的生产工艺有冲压法和蚀刻法两种。

2、其中蚀刻法是一种无应力的加工手段，首先通过一种感光抗蚀剂将工件部分保护起来，再用一种强氧化剂将其他部分蚀刻掉，最后得到需要的元件。蚀刻型引线框架与传统的冲压引线框架不同，是利用光刻腐蚀的方法来制作引线框架的。

3、现有的引线框架蚀刻设备的蚀刻装置一般包括蚀刻槽以及设置在蚀刻槽上方的喷淋机构，所述蚀刻槽内设有工作台面，所述喷淋机构包括喷淋架、设置在喷淋架上的用于输送蚀刻液的喷管、以及与喷管相连通的多个喷嘴。通过喷嘴向放置在工作台面上的工件表面喷射蚀刻液，而达到溶解腐蚀的作用。

4、现有的蚀刻装置一般包括蚀刻槽以及设置在蚀刻槽上方的喷淋机构，所述蚀刻槽内设有工作台面，所述喷淋机构包括喷淋架、设置在喷淋架上的用于输送蚀刻液的喷管、以及与喷管相连通的多个喷嘴。通过喷嘴向放置在工作台面上的工件表面喷射蚀刻液，而达到溶解腐蚀的作用。

5、但是现有的蚀刻装置存在以下技术问题：引线框架经输送机构前进输送，喷淋机构在喷淋时，都是对引线框架的顶面和底面同时喷出液体，一些液体的喷出时的压力较大时，会使得引线框架局部出现弹起、形变的现象，导致该引线框架出现损坏的情况。

技术实现思路

1、本发明的目的在于针对现有技术的不足提供引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块。

2、为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

3、引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块；

4、所述放料模块包括放卷区域和传送区域，传送区域包括一个以上对放卷后的料带进行前进导向传送的传送辊，传送辊的高度可调节，所述放卷区域包括放料基座以及滑动安装在放料基座的放料机架，放料机架设置有用于嵌套放卷料盘的放卷工位以及将放卷后的料带放卷输送的导向工位；

5、所述放卷工位包括可转动的放卷轴，放卷轴滑动安装有调节滑动座，调节滑动座活动连接有连杆件，放卷轴外围布置有两个以上的扩张板，连杆件另一端与扩张板活动连接，调节滑动座沿着放卷轴往复滑动以调节扩张板与放卷轴的距离；

6、所述蚀刻模块包括烘干机构、清洗机构以及蚀刻机构，蚀刻机构包括蚀刻箱，蚀刻箱设置有供引线框架进出的通过口以及对引线框架前进输送的蚀刻通道，蚀刻通道沿途布置有对经过引线框架喷射液体的蚀刻组件，蚀刻组件包括支撑件以及带动支撑件往复移动的移动驱动件，支撑件安装有多个可朝向于引线框架喷射液体的喷射头；

7、所述蚀刻通道包括沿蚀刻箱长度方向布置的蚀刻输送板，蚀刻输送板沿其长度方向间隔地设置有安装结构，安装结构可拆卸地布置有蚀刻输送辊，至少一个以上的安装结构安装有两个对引线框架进行辊压输送的蚀刻输送辊。

8、本发明的有益效果：放卷料盘嵌套在装有扩张板的放卷轴放卷时，放卷料盘不易偏移，料带能够准确地进入到导向工位和传送区域，可提高放卷料盘的安装稳定性，且能够适用于大部分不同内圈直径的放卷料盘，无需采用螺栓进行固定，操作方便；

9、需要对放卷料盘的放料调节位置时，放料机架沿着放料基座移动，使得放卷料盘的料带同时与导向工位以及传送区域的传送辊对齐，使得料带能够保持与导向工位以及传送辊接触传送，可避免料带无法接触的现象，防止料带变形弯折，保证后续的电镀质量；

10、需要蚀刻的引线框架经通过口进入到蚀刻箱，蚀刻通道对引线框架前进输送，蚀刻组件工作，安装有多个喷射头的支撑件对经过引线框架喷射药水进行蚀刻，且通过该移动驱动件带动支撑件往复移动，使得喷射头喷出的药水能够较为均匀地与引线框架发生反应，无需移动引线框架，保证蚀刻工艺的稳定性；在蚀刻通道前进移动时，会经过多组辊压布置的蚀刻输送辊，通过两个蚀刻输送辊的滚动压合，可防止引线框架在蚀刻的过程中拱起，提高蚀刻的稳定性。

技术特征：

1.引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块，其特征在于：所述烘干机构包括烘干室，烘干室设置有对引线框架递进输送的烘干通道以及供引线框架通过的进出口，烘干通道沿途设置有对引线框架进行干燥的烘干组件，烘干组件包括多个沿烘干通道长度方向间隔布置的烘干箱，烘干箱成型有朝向于引线框架的出风口，烘干通道沿其长度方向布置有安装件，烘干箱安装有与安装件转动连接的转动调节件。

3.根据权利要求2所述的引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块，其特征在于：所述烘干通道包括沿烘干室长度方向布置的烘干输送板，烘干输送板安装有多个间隔布置地对引线框架支撑输送的烘干输送辊；烘干组件分别布置于烘干通道的上方和下方；安装件包括可调节高度的侧支撑条、纵向安装在烘干通道的第一调节杆，侧支撑条穿设有第二调节杆，第一调节杆和第二调节杆分别连接有调节柱；调节柱一端与另一个烘干组件的侧支撑条连接，调节柱顶部成型有调节座以及与第一调节杆配合的第一调节孔，调节座成型有与第二调节杆配合的第二调节孔。

4.根据权利要求3所述的引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块，其特征在于：所述转动调节件包括成型在烘干箱侧部的连接块，连接块嵌套有转动轴，转动轴一端安装在侧支撑条，侧支撑条设置有对转动轴松紧安装的紧固件；紧固件包括顶部压合块，顶部压合块以及侧支撑条的贴合面分别成型有供转动轴插入的半圆槽，其中顶部压合块穿设有与侧支撑条连接的松紧螺杆；连接块的截面为椭圆或多边形，转动轴一端成型有与连接块的截面形状相适配的嵌合槽。

5.根据权利要求1所述的引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块，其特征在于：所述清洗机构连接有退膜缸机构，退膜缸机构包括可转动的退膜缸组件，退膜缸组件包括滚筒以及驱动滚筒转动的转动驱动件，滚筒的筒壁为网状结构，滚筒的一端成型有进液口，另一端同轴成型有出料口，进液口和出料口之间形成供脱膜液通过的离心通道，离心通道的直径由进液口到出料口的不断增加。

6.根据权利要求5所述的引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块，其特征在于：所述退膜缸组件还包括用于安装滚筒的支撑支架，支撑支架底部安装有与滚筒滚动配合的支撑导轮，滚筒安装有与支撑导轮配合的外环套；外环套分别嵌套在滚筒两端，滚筒还嵌套有多个位于两个外环套之间的固定套，外环套以及固定套的内环壁分别与滚筒的外环壁一体成型连接。

7.根据权利要求6所述的引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块，其特征在于：所述外环套与固定套的外径均相同，两个外环套之间安装有分别穿过固定套的连接柱；支撑支架底部安装有相互横向对齐的导轮支撑座，导轮支撑座安装有供支撑导轮转动的转动轴；其中位于靠近于出料口的支撑导轮两端面分别同轴安装有限位盘，限位盘的外径大于支撑导轮外径，靠近于出料口的外环套与安装有限位盘的支撑导轮滚动配合。

8.根据权利要求7所述的引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块，其特征在于：所述转动驱动件包括固定地嵌套在滚筒的齿轮环，齿轮环同轴安装在靠近于进液口的外环套上，支撑支架安装有驱动电机，驱动电机的驱动端安装有与齿轮环啮合传动的驱动齿轮；支撑支架安装有过滤罩，过滤罩底部安装有过滤箱，过滤罩底部成型有与过滤箱连通的过滤通道；支撑支架沿滚筒轴向布置有喷洗组件，喷洗组件包括喷洗管道，喷洗管道沿长度方向布置有多个冲洗喷头；退膜缸机构还包括布置于退膜缸组件旁侧的收废缸，滚筒的固体经出料口排入至收废缸。

9.根据权利要求1所述的引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块，其特征在于：所述收料模块包括收料箱，收料箱设置有供引线框架进出的收料口，收料箱内设置有纸带放卷机构、料带传送机构以及对相互贴合的纸带和料带同时收卷的导向收卷机构；所述纸带放卷机构包括多个用于嵌套纸带盘的第一纸带轴以及对纸带进行导向传送的第二纸带辊；所述料带传送机构包括对纸带进行导向的底部导向辊以及对料带导向的顶部导向辊。

10.根据权利要求9所述的引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块，其特征在于：所述导向收卷机构包括收卷平台，收卷平台安装有多个用于托住料盘的滚动托盘件，滚动托盘件包括两个以上与料盘滚动配合的滚动托轮，滚动托盘件上方设置有纵向对齐的滚动压合件，滚动压合件包括可弹性地与料盘滚动配合的滚动压轮，滚动压轮弹性地紧压于料盘顶部；

技术总结
本发明涉及线框架蚀刻技术领域，尤其涉及引线框架蚀刻设备的放料、蚀刻、收料一体式生产线，包括放料模块、蚀刻模块和收料模块，放卷料盘嵌套在放卷轴上，放卷时，料带能够准确地进入到导向工位和传送区域，可提高放卷料盘的安装稳定性；蚀刻模块中烘干机构的烘干室、清洗机构的清洗箱、蚀刻机构的蚀刻箱相互对齐且接驳，使得引线框架能够无缝地从烘干室进入到清洗箱再从清洗箱无缝地进入到蚀刻箱内，减少了引线框架外露的情况；经加工完成的料带通过收料箱的收料口进入到收料箱内，随后纸带放卷机构的纸带盘对纸带进行放卷，纸带和料带经料带传送机构传送后，导向收卷机构对相互贴合的纸带和料带同时收卷。

技术研发人员：苏骞,孟敏,林郁贤
受保护的技术使用者：东莞奥美特科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15