一种用于晶圆的定位夹具的制作方法

本发明涉及夹具，更具体地说，它涉及一种用于晶圆的定位夹具。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的载体，由于其形状为圆形，故称为圆晶，半导体用晶圆通常根据原材料的不同，分为锗晶圆、砷化镓晶圆、硅晶圆、碳化硅晶圆等；根据不同的工艺步骤，又分为抛光晶圆、外延晶圆，本发明的晶圆不限于任何一种。

2、在对晶圆的刻蚀、取样检测、清洗、定位等过程中需要使用到夹具以对晶圆起到固定作用，现有的晶圆一般具有6寸、8寸、12寸等规格，晶圆一般较薄、脆，现有的晶圆夹具适用范围小，其需要精确控制定位件的运动距离，如果超过夹持范围导致夹持力过大，容易导致晶圆变形、破损，因此通常只能对一种规格大小的晶圆起到夹持作用，无法满足两种规格晶圆的夹持作用。

3、因此亟需一种新的技术方案来解决上述技术问题。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种用于晶圆的定位夹具。

2、本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于晶圆的定位夹具，包括置料板，所述置料板表面沿其直径方向开设有若干滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有定位件，所述置料板的表面转动连接有驱动盘，所述驱动盘的表面设置有若干驱动槽，所述定位件表面设置有穿设于驱动槽内的驱动杆，所述驱动杆处于驱动槽的不同位置时，所述定位件的夹距随之改变。

3、通过采用上述技术方案，在对晶圆进行定位加工时，将晶圆放置于定位件的表面，当对8寸晶圆进行定位加工时，通过驱动组件带动驱动盘逆时针转动，使得驱动杆进入到第一通槽内，在驱动盘转动的同时，使得驱动杆相对于第一通槽滑动，从而带动定位件沿滑动槽朝向置料板的圆心运动，当驱动杆抵接于第一通槽的端部时，以对8寸晶圆起到定位作用，加工完成后，驱动组件带动驱动盘反向转动并复位，同时带动定位件复位。当对6寸晶圆进行定位加工时，驱动组件带动驱动盘顺时针转动，使得驱动杆进入到第二通槽，从而带动定位件沿滑动槽朝向置料板的圆心运动，当驱动杆抵接于第二通槽的端部时，以对6寸晶圆起到定位作用。

4、本发明进一步设置为：所述驱动槽包括位于滑动槽一侧的第一通槽，与连接于第一通槽并位于滑动槽另一侧的第二通槽，所述第一通槽与第二通槽的长度分别对应于两种晶圆规格。

5、本发明进一步设置为：所述置料板的下方设置有底板，所述底板表面转动连接有转动台，所述置料板固定连接于转动台的表面，所述底板底部安装有第一电机，所述第一电机通过皮带轮与皮带驱动转动台。

6、本发明进一步设置为：所述驱动盘的底部固定连接有连接轴，所述置料板与转动台开设有供连接轴穿设并转动连接的通槽，所述连接轴的下端固定连接有齿轮，还包括用于驱动连接轴的驱动组件，所述驱动组件通过啮合于齿轮以驱动连接轴。

7、本发明进一步设置为：所述底板的下方设置有工作台，所述驱动组件包括安装于工作台的第二电机与离合器，所述第二电机的转轴套设在离合器内环，所述离合器外环与连接轴上的齿轮啮合连接，所述工作台底部安装升降气缸，用于控制置料板的升降。

8、本发明进一步设置为：所述定位件包括滑动连接于滑动槽内的滑动部，所述滑动部的表面设置有定位部，所述驱动杆设置于滑动部的表面。

9、本发明进一步设置为：所述驱动杆可拆卸连接于滑动部的表面。

10、本发明进一步设置为：所述滑动部的表面开设有螺纹槽，所述驱动杆的底部设置有螺纹连接于螺纹槽内的螺杆。

11、本发明进一步设置为：所述驱动槽的内壁设置有橡胶垫。

12、本发明具有以下有益效果：在对晶圆进行定位加工时，将晶圆放置于定位件的表面，当对8寸晶圆进行定位加工时，通过驱动组件带动驱动盘逆时针转动，使得驱动杆进入到第一通槽内，在驱动盘转动的同时，使得驱动杆相对于第一通槽滑动，从而带动定位件沿滑动槽朝向置料板的圆心运动，当驱动杆抵接于第一通槽的端部时，以对8寸晶圆起到定位作用，加工完成后，驱动组件带动驱动盘反向转动并复位，同时带动定位件复位。当对6寸晶圆进行定位加工时，驱动组件带动驱动盘顺时针转动，使得驱动杆进入到第二通槽，从而带动定位件沿滑动槽朝向置料板的圆心运动，当驱动杆抵接于第二通槽的端部时，以对6寸晶圆起到定位作用。

13、附图说明

14、图1为本实施例的立体结构示意图；

15、图2为本实施例的俯视结构示意图；

16、图3为图2中a部的局部放大示意图；

17、图4为本实施例定位件的爆炸结构示意图。

技术特征：

1.一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：包括置料板(1)，所述置料板(1)表面沿其直径方向开设有若干滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有定位件(2)，所述置料板(1)的表面转动连接有驱动盘(3)，所述驱动盘(3)的表面设置有若干驱动槽(5)，所述定位件(2)表面设置有穿设于驱动槽内的驱动杆(6)，所述驱动杆(6)处于驱动槽(5)的不同位置时，所述定位件(2)的夹距随之改变。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述驱动槽(5)包括位于滑动槽一侧的第一通槽(51)，与连接于第一通槽(51)并位于滑动槽另一侧的第二通槽(52)，所述第一通槽(51)与第二通槽(52)的长度分别对应于两种晶圆规格。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述置料板(1)的下方设置有底板(7)，所述底板(7)表面转动连接有转动台(8)，所述置料板(1)固定连接于转动台(8)的表面，所述底板(7)底部安装有第一电机(9)，所述第一电机(9)通过皮带轮(9)与皮带(11)驱动转动台(8)。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述驱动盘(3)的底部固定连接有连接轴，所述置料板(1)与转动台(8)开设有供连接轴穿设并转动连接的通槽，所述连接轴的下端固定连接有齿轮(4)，还包括用于驱动连接轴的驱动组件(17)，所述驱动组件(17)通过啮合于齿轮(4)以驱动连接轴。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述底板(7)的下方设置有工作台(16)，所述驱动组件(17)包括安装于工作台(16)的第二电机(172)与离合器(171)，所述第二电机(172)的转轴套设在离合器(171)内环，所述离合器(171)外环与连接轴上的齿轮(4)啮合连接，所述工作台(16)底部安装升降气缸(18)，用于控制置料板(1)的升降。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述定位件(2)包括滑动连接于滑动槽内的滑动部(12)，所述滑动部(12)的表面设置有定位部(13)，所述驱动杆(6)设置于滑动部(12)的表面。

7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述驱动杆(6)可拆卸连接于滑动部(12)的表面。

8.根据权利要求7所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述滑动部(12)的表面开设有螺纹槽(14)，所述驱动杆(6)的底部设置有螺纹连接于螺纹槽(14)内的螺杆(15)。

9.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述驱动槽(5)的内壁设置有橡胶垫。

技术总结
本发明公开了一种用于晶圆的定位夹具，涉及夹具技术领域，旨在解决适用范围小的技术问题。其技术方案要点是：包括置料板，所述置料板表面沿其直径方向开设有若干滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有定位件，所述置料板的表面转动连接有驱动盘，所述驱动盘的表面设置有若干驱动槽，所述定位件表面设置有穿设于驱动槽内的驱动杆，所述驱动杆处于驱动槽的不同位置时，所述定位件的夹距随之改变。本发明的目的在于提供一种用于晶圆的定位夹具。

技术研发人员：朱琪,肖滋兰,鉏晨涛,陆城燕
受保护的技术使用者：浙江埃纳检测技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13