一种半导体封装结构的制作方法

本发明属于半导体，具体地说，是涉及一种半导体封装结构。

背景技术：

1、在半导体封装技术中，常常将具有不同功能的芯片封装在一个封装结构中，以形成特定作用，以得到多芯片组件multi-chip module(mcm)，多芯片组件具有高性能和多功能化等优势。

2、现有的多芯片半导体封装中，陶瓷半导体封装通常制造有由陶瓷基板的侧壁限定的空腔。半导体管芯容纳在空腔内并电连接到陶瓷半导体封装的互连结构。现有的封装结构中，随芯片堆叠的高度增加，其倾斜度就越大，芯片底层结构就越不稳定，从而可能导致堆叠芯片结构塌陷/倒塌，造成产品损坏，这使得现有多层芯片堆叠的半导体封装结构并不稳定，封装可靠性低、效率低。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种半导体封装结构，主要解决现有陶瓷半导体封装可靠性低、封装效率低的问题。

2、为实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：

3、一种半导体封装结构，包括封装基板，设置于所述封装基板中部的凹槽区域，所述凹槽区域由芯片安装区域和围绕芯片安装区域的填充区域构成，所述填充区域所在的凹槽区域的左右侧壁上交错设置有多个接线焊盘用于实现多芯片的堆叠封装，在封装基板底面通过内嵌在所述封装基板内并延伸出所述封装基板底面的传输线形成连接触点，所述芯片安装区域堆叠安装多个半导体管芯并通过引线键合到所述接线焊盘上，多个所述半导体管芯之间通过同轴传输结构进行信号连通，所述凹槽区域内填充有绝缘密封材料，所述封装基板通过密封盖板进行封装。

4、进一步地，在本发明中，所述填充区域内设置环绕所述芯片安装区域的填充围挡，所述接线焊盘穿过所述填充围挡延伸至所述芯片安装区域内，所述凹槽区域的侧壁与所述填充围挡之间形成隔热间隙区。

5、进一步地，在本发明中，所述接线焊盘包括固定在所述凹槽区域的侧壁的固定台阶上的焊盘底座以及设置于所述焊盘底座上的多个点焊引脚；每个所述焊点引脚具有顶面及相对的底面、左侧面及与左侧面相对的右侧面；每个所述点焊引脚的顶面周围具有内凹的弧形槽，所述左侧面、右侧面与所述弧形槽的一侧连接所述顶面与所述底面。

6、进一步地，在本发明中，所述接线焊盘包括固定在所述凹槽区域的侧壁的固定台阶上的固定底座，与固定底座相连穿过所述填充围挡延伸至所述芯片安装区域内的绝缘连接片，设置于绝缘连接片上的焊脚传输线，连接在绝缘连接片的末端的焊盘底座，以及设置于所述焊盘底座上的多个点焊引脚；每个所述焊点引脚具有顶面及相对的底面、左侧面及与左侧面相对的右侧面；每个所述点焊引脚的顶面周围具有内凹的弧形槽，所述左侧面、右侧面与所述弧形槽的一侧连接所述顶面与所述底面。

7、进一步地，在本发明中，所述同轴传输结构包括两层硅基板，两层所述硅基板分别括粘接在两个半导体管芯相接的一面上，所述硅基板内嵌合有tsv中心传输轴，两层所述硅基板通过cu/sn键合实现硅基板之间的信号传输；所述硅基板与所述半导体管芯相接的一端通过tsv中心传输轴的引出端与半导体管芯上的输入/输出接口连通。

8、进一步地，在本发明中，所述封装基板与所述填充围挡由材料相同的陶瓷材料制成。

9、进一步地，在本发明中，所述半导体管芯与封装基板之间，所述硅基板与所述半导体管芯之间，两层所述硅基板之间均通过粘合剂进行粘接。

10、进一步地，在本发明中，所述粘合剂为聚合物材料，包括但不限于环氧树脂膏、聚酰亚胺胶带。

11、进一步地，本发明还提供一种半导体封装结构的封装方法，包括以下步骤：

12、s1，提供封装半成品，包括封装基板、半导体管芯及同轴传输结构；

13、s2，对半导体管芯的表面进行表面处理，包括去污清洁，化学粗化和氧化；

14、s3，半导体管芯的表面处理完成后，采用帘式涂敷或静电喷涂的方式在半导体管芯的表面均与涂敷感光绝缘树脂；

15、s4，将涂敷覆感光绝缘树脂的半导体管芯放进60°的恒温烘干箱进行时长30~50min的预固化；

16、s5，对预固化在半导体管芯表面上的感光材料进行曝光与显影，使未曝光部分保留在半导体管芯表面；

17、s6，采用uv光照的方式将未曝光的感光材料固化在在半导体管芯表面；

18、s7，对半导体管芯表面进行打磨平整处理，使其与封装基板、硅基板表面在粘合剂的作用下实现紧密粘接和可靠的电连接；

19、s8，通过引线键合的方式将半导体管芯的输入/输出接口电连接到所述接线焊盘的点焊引脚上；

20、s9，完成所有的半导体管芯的点焊后，在封装基板中部的凹槽区域内填充绝缘密封材料，绝缘密封材料的填充高度与凹槽区域的凹陷深度一致；

21、s10，用密封盖板密封所述封装基板，以形成所述半导体封装结构。

22、与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

23、（1）本发明在进行多半导体管芯封装时，在半导体管芯之间设置同轴传输结构，一方面同轴传输结构的硅基板可以给半导体管芯提供一定的支撑，另一方面该同轴传输结构在硅基板上的垂直互连结构采用 tsv 中心传输轴结构。采用两层高阻硅基板，中间通过cu/sn 键合的方式将两块硅基板结合成一块整体。由于键合的位置是两层高阻硅基板的tsv中心传输轴的位置，从而可以实现半导体管芯之间良好的传输性能，提高整个半导体封装的可靠性。

24、（2）本发明在半导体封装的过程中，通过对半导体管芯的表面进行去的污清洁，化学粗化和氧化处理可以提高涂敷的绝缘树脂材料与管芯表面的导体间的粘接强度，使得要保留的的涂敷的绝缘介质层与化学镀铜层问有很好的结合力和平整度，提高二者粘结的强度外，还有利于提高半导体管芯之间的电气互联的可靠性。

技术特征：

1.一种半导体封装结构，其特征在于，包括封装基板（1），设置于所述封装基板（1）中部的凹槽区域（2），所述凹槽区域（2）由芯片安装区域（201）和围绕芯片安装区域（201）的填充区域（202）构成，所述填充区域（202）所在的凹槽区域（2）的左右侧壁上交错设置有多个接线焊盘（3）用于实现多芯片的堆叠封装，在封装基板（1）底面通过内嵌在所述封装基板（1）内并延伸出所述封装基板（1）底面的传输线（4）形成连接触点，所述芯片安装区域（201）堆叠安装多个半导体管芯（5）并通过引线键合到所述接线焊盘（3）上，多个所述半导体管芯（5）之间通过同轴传输结构（6）进行信号连通，所述凹槽区域（2）内填充有绝缘密封材料，所述封装基板（1）通过密封盖板（7）进行封装。

2.根据权利要求1所述的一种半导体封装结构，其特征在于，所述填充区域（202）内设置环绕所述芯片安装区域（201）的填充围挡（8），所述接线焊盘（3）穿过所述填充围挡（8）延伸至所述芯片安装区域（201）内，所述凹槽区域（2）的侧壁与所述填充围挡（8）之间形成隔热间隙区（9）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体封装结构，其特征在于，所述接线焊盘（3）包括固定在所述凹槽区域（2）的侧壁的固定台阶上的焊盘底座（301）以及设置于所述焊盘底座（301）上的多个点焊引脚（302）；每个所述焊点引脚具有顶面（3021）及相对的底面（3022）、左侧面（3023）及与左侧面（3023）相对的右侧面（3024）；每个所述点焊引脚（302）的顶面（3021）周围具有内凹的弧形槽（3025），所述左侧面（3023）、右侧面（3024）与所述弧形槽（3025）的一侧连接所述顶面（3021）与所述底面（3022）。

4.根据权利要求2所述的一种半导体封装结构，其特征在于，所述接线焊盘（3）包括固定在所述凹槽区域（2）的侧壁的固定台阶上的固定底座（303），与固定底座（303）相连穿过所述填充围挡（8）延伸至所述芯片安装区域（201）内的绝缘连接片（304），设置于绝缘连接片（304）上的焊脚传输线，连接在绝缘连接片（304）的末端的焊盘底座（301），以及设置于所述焊盘底座（301）上的多个点焊引脚（302）；每个所述焊点引脚具有顶面（3021）及相对的底面（3022）、左侧面（3023）及与左侧面（3023）相对的右侧面（3024）；每个所述点焊引脚（302）的顶面（3021）周围具有内凹的弧形槽（3025），所述左侧面（3023）、右侧面（3024）与所述弧形槽（3025）的一侧连接所述顶面（3021）与所述底面（3022）。

5.根据权利要求3或4所述任一项所述的一种半导体封装结构，其特征在于，所述同轴传输结构（6）包括两层硅基板（601），两层所述硅基板（601）分别括粘接在两个半导体管芯（5）相接的一面上，所述硅基板（601）内嵌合有tsv中心传输轴（602），两层所述硅基板（601）通过cu/sn键合（603）实现硅基板（601）之间的信号传输；所述硅基板（601）与所述半导体管芯（5）相接的一端通过tsv中心传输轴（602）的引出端与半导体管芯（5）上的输入/输出接口连通。

6.根据权利要求5所述的一种半导体封装结构，其特征在于，所述封装基板（1）与所述填充围挡（8）由材料相同的陶瓷材料制成。

7.根据权利要求6所述的一种半导体封装结构，其特征在于，所述半导体管芯（5）与封装基板（1）之间，所述硅基板与所述半导体管芯（5）之间，两层所述硅基板（601）之间均通过粘合剂（10）进行粘接。

8.根据权利要求7所述的一种半导体封装结构，其特征在于，所述粘合剂（10）为聚合物材料，包括但不限于环氧树脂膏、聚酰亚胺胶带。

9.根据权利要求8所述的一种半导体封装结构，其特征在于，所述半导体封装结构的封装方法包括以下步骤：

技术总结
本发明公开了一种半导体封装结构，包括封装基板，设置于所述封装基板中部的凹槽区域，所述凹槽区域由芯片安装区域和围绕芯片安装区域的填充区域构成，所述填充区域所在的凹槽区域的左右侧壁上交错设置有多个接线焊盘用于实现多芯片的堆叠封装，在封装基板底面通过内嵌的传输线形成连接触点，所述芯片安装区域堆叠安装多个半导体管芯并通过引线键合到所述接线焊盘上，多个所述半导体管芯之间通过同轴传输结构进行信号连通，所述凹槽区域内填充有绝缘密封材料，所述封装基板通过密封盖板进行封装。本发明的半导体封装结构在进行多半导体管芯封装时，实现了半导体管芯之间良好的传输性能，提高整个半导体封装的可靠性。

技术研发人员：黄峰荣,何亮,何秋生
受保护的技术使用者：遂宁合芯半导体有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13