一种高效硅片检测分选装置的制作方法

文档序号:34649810发布日期:2023-06-29 19:15阅读:57来源:国知局
一种高效硅片检测分选装置的制作方法

本发明涉及硅片分选,尤其涉及一种高效硅片检测分选装置。


背景技术:

1、硅片作为重要的工业原材料,被广泛用于太阳能电池、电路板等产品的生产制造中。为保证由硅片制造的产品的质量,需要对硅片进行检测和分选。硅片分选机能够实现对硅片进行厚度、ttv、线痕、电阻率、尺寸、脏污、崩边、隐裂等项目的测量和检测,并根据分选菜单,自动将硅片按照质量等级要求分选到不同的盒子内。

2、申请公布号为cn112676175a的中国发明专利申请公开了一种硅片智能分选机,其包括:上料装置、检测装置以及下料分选装置。通过上料装置能够实现硅片的连续高效上料;通过检测装置完成硅片多个项目的检测,充分满足硅片的实际检测需求;通过下料分选装置,实现了硅片的良品与不良品的分选,以及不同缺陷类型硅片的分选。然而,现有的硅片分选装置在上料时,检测流线均处于等待状态,降低了分选效率;并且单一的流线无法实现检测机构的充分利用,降低了分选效率,提高了使用成本。


技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种高效硅片检测分选装置,以解决背景技术中提到的技术问题,本发明的目的是通过以下技术方案实现的:

2、一种高效硅片检测分选装置,包括上料机、量测机和下料机,上料机包括顺次设置的上料机构、缓存机构和上料流线,缓存机构用于对上料机构传送的部分硅片进行缓存,两条上料流线平行且互相靠近地设置在缓存机构的下游;量测机包括第一量测流线、第二量测流线、搬运机构和若干检测机构,两条第一量测流线平行且互相靠近地设置在上料流线的下游,两条第二量测流线分别位于两条第一量测流线的外侧,且第二量测流线与第一量测流线至少部分地交会,搬运机构位于第一量测流线与第二量测流线的交会处,用于将第一量测流线上的硅片搬运至第二量测流线,若干检测机构沿第一量测流线、第二量测流线设置;下料机包括下料流线和若干分选机构,下料流线为两条,两条下料流线分别设置在两条第二量测流线的下游,若干分选机构分别沿两条下料流线设置。

3、进一步地,上料机构包括第一水平导轨、上料单元和抽料单元,上料单元至少为两组,两组上料单元均安装在第一水平导轨上,且上料单元能够在第一驱动件的驱动下沿第一水平导轨进行横向往复移动;每组上料单元均包括第一垂直导轨,第一垂直导轨上装有上料盒,上料盒能够在第二驱动件的驱动下沿第一垂直导轨上下移动;上料盒与第一垂直导轨之间安装有翻转驱动件,上料盒在翻转驱动件的驱动下可绕上料盒的底部翻转90°;上料盒内装有两个花篮,两个花篮并列设置;抽料单元与上料单元的数量一致,每组抽料单元均包括两个抽料传送带,抽料传送带设置在第一垂直导轨远离上料盒的一侧,两个抽料传送带分别与两个花篮的位置匹配,抽料传送带靠近花篮的一端安装有三个检测传感器,且三个检测传感器呈三角形设置。

4、进一步地,缓存机构包括缓存流线和缓存单元,缓存流线至少为两组,每组缓存流线均包括两条缓存输送带,两条缓存输送带平行且互相靠近,每条缓存输送带的上游均设置有第一导正机构;缓存单元包括第二水平导轨、第二垂直导轨和缓存料盒,第二垂直导轨安装在第二水平导轨上,且第二垂直导轨能够在第三驱动件的驱动下沿第二水平导轨水平往复运动;缓存料盒安装在第二垂直导轨上,且缓存料盒能够在第四驱动件的驱动下沿第二垂直导轨上下运动。

5、进一步地,缓存流线的末端设置有第一接料盒。

6、进一步地,缓存机构的下游设置有剔除机构,剔除机构包括剔除流线、外观检测单元、翻转剔除单元和第二接料盒,外观检测单元设置在剔除流线上,翻转剔除单元设置在剔除流线的下游,第二接料盒位于翻转剔除单元的下侧。

7、进一步地,剔除机构的后侧设置有第二导正机构,第二导正机构位于剔除单元与上料流线之间。

8、进一步地,检测机构包括测量机构、上部脏污检测机构、前后裂边检测机构、隐裂检测机构、下部脏污检测机构、左右裂边检测机构、四角裂边检测机构、电阻率检测机构和厚度检测机构的一种或几种的组合,测量机构、上部脏污检测机构、前后裂边检测机构、隐裂检测机构、下部脏污检测机构位于第一量测流线处,左右裂边检测机构、四角裂边检测机构、电阻率检测机构、厚度检测机构位于第二量测流线处。

9、进一步地,搬运机构为两组,每组搬运机构均包括搬运支架和固定在搬运支架下的搬运输送线,搬运输送线的一端位于第一量测流线上侧,搬运输送线的另一端位于第二量测流线上侧;搬运机构的上游设置有第三导正机构,搬运机构的下游设置有第四导正机构。

10、进一步地,分选机构包括分选搬运单元和分选接料单元,分选接料设置在下料流线的一侧,分选搬运单元安装在下料流线的一侧,用于将下料流线上的硅片搬运至分选接料单元,下料流线的末端设置有第三接料盒。

11、进一步地,分选接料单元包括接料架,固定接料盒和活动接料盒,固定接料盒固定安装在接料架远离下料流线一端的上侧;接料架的下侧水平安装有第三水平导轨,第三水平导轨上安装有第三垂直导轨,第三垂直导轨可在第五驱动件的驱动下沿第三水平导轨横向往复移动,活动接料盒安装在第三垂直导轨上,活动接料盒能够在第六驱动件的驱动下沿第三垂直导轨上下往复移动。

12、本申请实施例提供的技术方案,至少具有如下技术效果或优点:

13、1、通过在上料机上设置缓存机构,可对硅片进行缓存,避免上料机上料时分选流线的停机等待,实现了分选装置的连续运行,提高了分选效率;

14、2、通过设置两条靠近的第一量测流线,通过单组检测机构即可实现对两条第一量测流线上的硅片进行上下脏污、前后裂边及隐裂检测,提高了检测机构的使用效率,降低了制造成本。



技术特征:

1.一种高效硅片检测分选装置,包括上料机、量测机和下料机,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种高效硅片检测分选装置,其特征在于,所述上料机构包括第一水平导轨、上料单元和抽料单元,所述上料单元至少为两组,两组所述上料单元均安装在所述第一水平导轨上,且所述上料单元能够在第一驱动件的驱动下沿所述第一水平导轨进行横向往复移动;每组所述上料单元均包括第一垂直导轨,所述第一垂直导轨上装有上料盒,所述上料盒能够在第二驱动件的驱动下沿所述第一垂直导轨上下移动;所述上料盒与所述第一垂直导轨之间安装有翻转驱动件,所述上料盒在所述翻转驱动件的驱动下可绕所述上料盒的底部翻转90°;所述上料盒内装有两个花篮,两个所述花篮并列设置;所述抽料单元与所述上料单元的数量一致,每组所述抽料单元均包括两个抽料传送带,所述抽料传送带设置在所述第一垂直导轨远离所述上料盒的一侧,两个所述抽料传送带分别与两个所述花篮的位置匹配,所述抽料传送带靠近所述花篮的一端安装有三个检测传感器,且三个所述检测传感器呈三角形设置。

3.根据权利要求1所述的一种高效硅片检测分选装置,其特征在于,所述缓存机构包括缓存流线和缓存单元,所述缓存流线至少为两组,每组所述缓存流线均包括两条缓存输送带,两条所述缓存输送带平行且互相靠近,每条所述缓存输送带的上游均设置有第一导正机构;所述缓存单元包括第二水平导轨、第二垂直导轨和缓存料盒,所述第二垂直导轨安装在所述第二水平导轨上,且所述第二垂直导轨能够在第三驱动件的驱动下沿所述第二水平导轨水平往复运动;所述缓存料盒安装在所述第二垂直导轨上,且所述缓存料盒能够在第四驱动件的驱动下沿所述第二垂直导轨上下运动。

4.根据权利要求3所述的一种高效硅片检测分选装置,其特征在于,所述缓存流线的末端设置有第一接料盒。

5.根据权利要求1所述的一种高效硅片检测分选装置,其特征在于,所述缓存机构的下游设置有剔除机构,所述剔除机构包括剔除流线、外观检测单元、翻转剔除单元和第二接料盒,所述外观检测单元设置在所述剔除流线上,所述翻转剔除单元设置在所述剔除流线的下游,所述第二接料盒位于所述翻转剔除单元的下侧。

6.根据权利要求5所述的一种高效硅片检测分选装置,其特征在于,所述剔除机构的后侧设置有第二导正机构,所述第二导正机构位于所述剔除单元与所述上料流线之间。

7.根据权利要求1所述的一种高效硅片检测分选装置,其特征在于,所述检测机构包括测量机构、上部脏污检测机构、前后裂边检测机构、隐裂检测机构、下部脏污检测机构、左右裂边检测机构、四角裂边检测机构、电阻率检测机构和厚度检测机构的一种或几种的组合,所述测量机构、所述上部脏污检测机构、所述前后裂边检测机构、所述隐裂检测机构、所述下部脏污检测机构位于所述第一量测流线处,所述左右裂边检测机构、所述四角裂边检测机构、所述电阻率检测机构、所述厚度检测机构位于所述第二量测流线处。

8.根据权利要求1所述的一种高效硅片检测分选装置,其特征在于,所述搬运机构为两组,每组搬运机构均包括搬运支架和固定在所述搬运支架下的搬运输送线,所述搬运输送线的一端位于所述第一量测流线上侧,所述搬运输送线的另一端位于所述第二量测流线上侧;所述搬运机构的上游设置有第三导正机构,所述搬运机构的下游设置有第四导正机构。

9.根据权利要求1所述的一种高效硅片检测分选装置,其特征在于,所述分选机构包括分选搬运单元和分选接料单元,所述分选接料设置在所述下料流线的一侧,所述分选搬运单元安装在所述下料流线的一侧,用于将下料流线上的硅片搬运至分选接料单元,所述下料流线的末端设置有第三接料盒。

10.根据权利要求9所述的一种高效硅片检测分选装置,其特征在于,所述分选接料单元包括接料架,固定接料盒和活动接料盒,所述固定接料盒固定安装在所述接料架远离所述下料流线一端的上侧;所述接料架的下侧水平安装有第三水平导轨,所述第三水平导轨上安装有第三垂直导轨,所述第三垂直导轨可在第五驱动件的驱动下沿所述第三水平导轨横向往复移动,所述活动接料盒安装在所述第三垂直导轨上,所述活动接料盒能够在第六驱动件的驱动下沿所述第三垂直导轨上下往复移动。


技术总结
本发明公开了一种高效硅片检测分选装置,包括上料机、量测机和下料机,上料机包括顺次设置的上料机构、缓存机构和上料流线,两条上料流线平行且互相靠近地设置在缓存机构的下游;量测机包括第一量测流线、第二量测流线、搬运机构和若干检测机构,第二量测流线与第一量测流线至少部分地交会,搬运机构位于第一量测流线与第二量测流线的交会处,若干检测机构沿第一量测流线、第二量测流线设置;下料机包括下料流线和若干分选机构,若干分选机构分别沿两条下料流线设置。通过缓存机构可对硅片进行缓存,避免上料时的停机等待,实现了分选装置的连续运行,提高了分选效率;通过设置两条靠近的第一量测流线,提高了检测机构的使用效率,降低了制造成本。

技术研发人员:刘磊,刘涛荣,赵瑞刚,沈玉懿,李杰
受保护的技术使用者:诺德凯(苏州)智能装备有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/13
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