固晶机的取晶方法与流程

本发明涉及芯片技术，特别涉及一种固晶机的取晶方法。

背景技术：

1、在不具备wafer mpaping取晶方法前，在检测机对wafer做完检测之后，需要人工手动对检测内容进行标记，即对不合格芯片进行墨点标记。在标记墨点的过程中，有可能会出现墨水量不够、人工误差等问题，导致不良晶元流入了市场。

2、而在具有自动识别wafer mapping的取晶方式后，如何保证mapping文件里的标记与实物晶元一一对应成了关键。现有技术中都是人工手动协助机械臂找到起始点，然后从起始点开始生产。但是由于晶元较小、晶元外观都是一致的，人工操作的方式有时候很难准确的找到起始点。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种固晶机的取晶方法，用于解决上述wafer mapping的取晶方式很难准确的找到起始点的问题。

2、本发明一种固晶机的取晶方法，其中，包括：s1、更换或放置新的晶元台；s2、读取mapping文件，并对应mapping文件设定参考点和起点；s3、执行晶元台机械轴寻找起点的流程，先根据预先设定的参考点和预设起点之差得到行偏移与列偏移；从参考点开始，取相机视野中心的晶元作为基点，并获得取相机视野中其他晶元与基点的位置关系，计算出需要的图像坐标，并根据图像坐标相应减少行偏移或列偏移；运动控制系统收到该需要的图像坐标后，移动晶元台机械轴的相机视野中心至该图像坐标，并获相机视野中心的晶元作为新的基点；直至行偏移和列偏移均为0，则找到起点，并执行步骤s4；s4、基于所找到的起点位置开始取晶。

3、根据本发明固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，步骤s1具体包括：卸载旧晶元台，把新的未使用的晶元台放入晶元台夹具中，用热风机软化，并锁紧蓝膜。

4、根据本发明固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，步骤s2具体包括：在读取mapping文件，导入放置的晶元台对应的mapping文件后，通过遍历的方式获取ok晶元，选择左上的ok晶元作为mapping起始点，再选择mapping文件中晶元图像较为靠中部的ok晶元作为参考点。

5、根据本发明固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，根据预先设定的参考点和起点之差得到行偏移与列偏移包括：分别获取mapping的起始点和参考点所在的行列位置，起始点的行号和列号，对应减去参考点的行号和列号，得到参考点至起始点的行偏移与列偏移。

6、根据本发明固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，得到行偏移与列偏移后，移动晶元台机械轴，使得相机视野中心对准参考点晶元所在的位置，进行图像采集。

7、根据本发明固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，步骤s3中确定行偏移与列偏移后，晶元台机械轴寻找起点的流程包括：s331、通过形状匹配的识别算法，找到相机视野中9个晶元的图像；s332、取相机视野中心的晶元作为基点，对位于基点正上、正下、正左以及正右四个方向的晶元坐标进行分类；s333、根据参考点至起始点的行偏移与列偏移及晶元与基点的位置关系，计算出需要的图像坐标，若行偏移δx大于0，则输出基点正上方的晶元的图像坐标给运动控制系统，行偏移的绝对值减1；若行偏移δx小于0，则输出基点正下方的晶元的图像坐标给运动控制系统，行偏移的绝对值减1；若行偏移δx等于0，则根据列偏移δy输出，其中，列偏移δy大于0，输出基点正右方的晶元的图像坐标给运动控制系统，列偏移的绝对值减1；列偏移δy小于0，输出正左方的晶元的图像坐标给运动控制系统，列偏移的绝对值减1；若列偏移δy等于0，则执行步骤s4；s334、运动控制系统用得到的图像坐标，作为下一个拍照位置，移动晶元台机械轴使得相机视野中心对准到该图像坐标，并以修改后的行偏移与列偏移，再次执行步骤s331。

8、根据本发明固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，如果相机视野中的晶元数量不等于9个则：(1)当晶元数量少于9个，且相机视野中心没有识别出晶元坐标时，使用图像中心坐标作为基点；(2)当晶元数量少于9个晶元，基点正上方或正下方的晶元未能识别出时，则当列偏移δy大于0，输出基点正右方的晶元的图像坐标；列偏移δy等于0，输出正左方的晶元的图像坐标；列偏移δy等于0时，根据行偏移δx输出：行偏移δx大于0，输出基点位置加上晶元行间距的位置；行偏移δx小于0，输出基点位置减去行间距的位置；当基点正左方或正右方未能识别出且行偏移δx等于0时，根据列偏移δy输出：列偏移δy大于0，输出基点位置加上晶元列间距的位置；列偏移δy小于0，输出基点位置减去晶元列间距的位置；(3)当晶元数量大于9个，则取围绕相机视野中心，则取每个方向离基点近的晶元。

9、根据本发明固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，如果相机视野中心寻找多次没有晶元的图像坐标，则流程终止。

10、根据本发明固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，步骤s4具体包括：s41、运动控制系统给视觉发送拍照识别信号；s42、视觉系统收到拍照识别信号后，进行拍照识别计算；s43、运动控制系统按照拍照识别计算的坐标，移动晶元台机械轴到该取晶元坐标后，控制焊头到相机视野中心进行取晶动作；其中，首次识别计算的坐标为该起点坐标；s44、对该晶元拾取完成后，焊头移动到固晶区进行固晶，晶元台移动到视觉给出的下个拍照位置等待；s45、固晶完成后，焊头回到预备位等待，并判断晶元台是否还有未取的晶元，如果存在，则执行步骤s41，否则，则认为当前晶元台取晶完成，结束取晶。

11、根据本发明固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，判断晶元台是否还有未取的晶元包括：视觉系统根据导入的mapping文件中ok晶元的个数及已取晶元判断，若ok晶元的个数大于已取晶元的个数，则为未取完；否则，则认为当前晶元台取晶完成。

12、本发明固晶机的取晶方法，有效的解决了wafer mapping的取晶方式很难准确的找到起始点的问题，提高了固晶机的生产效率。

技术特征：

1.一种固晶机的取晶方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤s1具体包括：卸载旧晶元台，把新的未使用的晶元台放入晶元台夹具中，用热风机软化，并锁紧蓝膜。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤s2具体包括：在读取mapping文件，导入放置的晶元台对应的mapping文件后，通过遍历的方式获取ok晶元，选择左上的ok晶元作为mapping起始点，再选择mapping文件中晶元图像较为靠中部的ok晶元作为参考点。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，根据预先设定的参考点和起点之差得到行偏移与列偏移包括：

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，得到行偏移与列偏移后，移动晶元台机械轴，使得相机视野中心对准参考点晶元所在的位置，进行图像采集。

6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，步骤s3中确定行偏移与列偏移后，晶元台机械轴寻找起点的流程包括：

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，如果相机视野中的晶元数量不等于9个则：

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，如果相机视野中心寻找多次没有晶元的图像坐标，则流程终止。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤s4具体包括：

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，判断晶元台是否还有未取的晶元包括：视觉系统根据导入的mapping文件中ok晶元的个数及已取晶元判断，若ok晶元的个数大于已取晶元的个数，则为未取完；否则，则认为当前晶元台取晶完成。

技术总结
本发明涉及一种固晶机的取晶方法，其中，包括：S1、更换或放置新的晶元台；S2、读取Mapping文件，并对应Mapping文件设定参考点和起点；S3、执行晶元台机械轴寻找起点的流程，先根据预先设定的参考点和预设起点之差得到行偏移与列偏移；从参考点开始，取相机视野中心的晶元作为基点，并获得取相机视野中其他晶元与基点的位置关系，计算出需要的图像坐标，并根据图像坐标相应减少行偏移或列偏移；运动控制系统收到该需要的图像坐标后，移动晶元台机械轴的相机视野中心至该图像坐标，并获相机视野中心的晶元作为新的基点；直至行偏移和列偏移均为0，则找到起点，并执行步骤S4；S4、基于所找到的起点位置开始取晶。

技术研发人员：李健扬,王文耀,刘少君,黄博才,黎振升
受保护的技术使用者：广州市锲致智能技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15