巨量转移装置和巨量转移方法与流程

本申请涉及发光二极管转移，具体涉及一种巨量转移装置和巨量转移方法。

背景技术：

1、相较于技术成熟且已实现大规模量产的lcd（liquid crystal display，液晶显示器）和oled（organic light emitting display，有机发光二极管显示器）技术来说，microled（micro light-emitting diode，微型发光二极管）凭借其在对比度、响应时间、大视角、功耗、器件寿命、色域等技术维度的突出性能，逐渐成为超高清显示的首选，未来或将占据显示技术领域的霸主地位。但是目前micro led依然面临着制程技术要求高、生产不良比例大、制造成本降低难等挑战，这都制约着其实现大量生产，大规模商业化的目标。

2、由于micro led的尺寸微小(＜50um)，micro led芯片制造完成后需要将微米级的晶粒从生长衬底转移到驱动电路基底上，数量巨大且对转移工艺的精确性和速率要求非常高，因此成为制约micro led量产的关键因素。而巨量转移技术（mass transfer）的出现，给这一难题提供了一条有效地解决途径。目前，巨量转移技术主要分为以下几类：物理吸附（pick&place）、选择性释放（selective release）、自组装（self-assembly）、转印（rollprinting）。

3、在物理吸附巨量转移技术中，静电力转移技术是较为常见且已经开始进行批量生产的一种，其在进行micro led芯片转移的过程中需要给电极转移头通电来实现micro led芯片的拾取（pick）和放置（place），但是承载micro led芯片蓝宝石衬底基板自身就存在着弯曲度（bow）、翘曲度（sori）、厚度偏差（gbir）等问题，且电极转移头的平整度也无法保证一致，因此在进行巨量转移micro led芯片的过程中，转移头与芯片之间可能存在间隙，从而导致漏抓取、良率降低等问题，这将直接影响生产效率和经济效益。

技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种巨量转移装置和巨量转移方法，解决漏抓取、良率降低的问题。

2、为实现本申请的目的，本申请提供了如下的技术方案：

3、第一方面，本申请提供一种巨量转移装置，包括：第一基板；多个拾取头，设置在所述第一基板上，多个所述拾取头在所述第一基板上阵列分布；第二基板；多个调节柱，多个所述调节柱相背的两端分别与所述第一基板和所述第二基板连接，多个所述调节柱在所述第二基板上阵列分布，多个所述调节柱为可伸缩结构；所述拾取头用于拾取和释放微型发光二极管，当部分所述拾取头未拾取到所述微型发光二极管而其余部分所述拾取头已拾取到所述微型发光二极管时，对应未拾取到所述微型发光二极管的所述拾取头的位置的所述调节柱相对所述第二基板伸长，以推动未拾取到所述微型发光二极管的所述拾取头朝向所述微型发光二极管移动，以使所述拾取头拾取所述微型发光二极管。

4、一种实施方式中，所述第一基板分隔有阵列排布的多个调节区，每个所述调节区设置有至少两个所述拾取头，每个所述调节柱与每个所述调节区一一对应连接，所述调节柱用于推动所述调节区朝向所述微型发光二极管变形。

5、一种实施方式中，所述调节柱与所述调节区的中心点连接，所述调节区中的每一所述拾取头均与所述中心点具有间隔距离。

6、一种实施方式中，所述拾取头包括弹性部和拾取部，所述弹性部的一端与所述第一基板连接，另一端连接所述拾取部，所述弹性部用于产生弹性变形。

7、一种实施方式中，所述第一基板设有阵列电路，所述阵列电路与多个所述拾取头连接，所述阵列电路用于控制任一个所述拾取头的通电与断电。

8、一种实施方式中，所述巨量转移装置还包括控制器、检测电路和控制电路，所述检测电路与多个所述拾取头连接，并与所述控制器连接，所述控制电路与多个所述调节柱连接，并与所述控制器连接；所述控制器根据所述检测电路传递的信号确定未拾取到所述微型发光二极管的所述拾取头的位置，并通过所述控制电路控制对应未拾取到所述微型发光二极管的所述拾取头的位置的所述调节柱伸长。

9、一种实施方式中，所述阵列电路与所述检测电路集成为一体，或者，所述阵列电路与所述检测电路电连接。

10、一种实施方式中，在多个所述拾取头未拾取所述微型发光二极管的情况下，所述第一基板和所述第二基板平行，多个所述调节柱与所述第一基板和所述第二基板垂直。

11、第二方面，本申请还提供一种巨量转移方法，提供第一方面各种实施方式中任一项所述的巨量转移装置，所述巨量转移方法包括：将多个所述拾取头与多个微型发光二极管对位，并使多个所述拾取头拾取所述微型发光二极管；对应未拾取到所述微型发光二极管的所述拾取头的位置的所述调节柱相对所述第二基板伸长，以推动未拾取到所述微型发光二极管的所述拾取头朝向所述微型发光二极管移动，以使所述拾取头拾取所述微型发光二极管。

12、一种实施方式中，还包括：根据检测电路传递的信号确定未拾取到所述微型发光二极管的所述拾取头的位置；通过控制电路控制对应未拾取到所述微型发光二极管的所述拾取头的位置的所述调节柱伸长。

13、通过设置第二基板和可伸缩的多个支撑柱，当第一基板上的多个拾取头中的部分拾取头未拾取到微型发光二极管时，对应的支撑柱伸长以将第一基板的局部朝向微型发光二极管一侧推动，第一基板的局部变形而带动该处的拾取头朝向微型发光二极管移动，实现对该处的微型发光二极管的拾取，避免了漏抓取的问题，提高了转移后的驱动电路基板及其上的微型发光二极管的良率，能提升生产效率和经济效益。

技术特征：

1.一种巨量转移装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第一基板分隔有阵列排布的多个调节区，每个所述调节区设置有至少两个所述拾取头，每个所述调节柱与每个所述调节区一一对应连接，所述调节柱用于推动所述调节区朝向所述微型发光二极管变形。

3.根据权利要求2所述的巨量转移装置，其特征在于，所述调节柱与所述调节区的中心点连接，所述调节区中的每一所述拾取头均与所述中心点具有间隔距离。

4.根据权利要求2所述的巨量转移装置，其特征在于，所述拾取头包括弹性部和拾取部，所述弹性部的一端与所述第一基板连接，另一端连接所述拾取部，所述弹性部用于产生弹性变形。

5.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第一基板设有阵列电路，所述阵列电路与多个所述拾取头连接，所述阵列电路用于控制任一个所述拾取头的通电与断电。

6.根据权利要求5所述的巨量转移装置，其特征在于，所述巨量转移装置还包括控制器、检测电路和控制电路，所述检测电路与多个所述拾取头连接，并与所述控制器连接，所述控制电路与多个所述调节柱连接，并与所述控制器连接；

7.根据权利要求6所述的巨量转移装置，其特征在于，所述阵列电路与所述检测电路集成为一体，或者，所述阵列电路与所述检测电路电连接。

8.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，在多个所述拾取头未拾取所述微型发光二极管的情况下，所述第一基板和所述第二基板平行，多个所述调节柱与所述第一基板和所述第二基板垂直。

9.一种巨量转移方法，其特征在于，提供如权利要求1至8任一项所述的巨量转移装置，所述巨量转移方法包括：

10.根据权利要求9所述的巨量转移方法，其特征在于，还包括：

技术总结
一种巨量转移装置和巨量转移方法，巨量转移装置包括第一基板、多个拾取头、第二基板和多个调节柱；多个拾取头设置在第一基板上，多个拾取头在第一基板上阵列分布；多个调节柱相背的两端分别与第一基板和第二基板连接，多个调节柱在第二基板上阵列分布，多个调节柱为可伸缩结构；拾取头用于拾取和释放微型发光二极管，当部分拾取头未拾取到微型发光二极管而其余部分拾取头已拾取到微型发光二极管时，对应未拾取到微型发光二极管的拾取头的位置的调节柱相对第二基板伸长，以推动未拾取到微型发光二极管的拾取头朝向微型发光二极管移动，以使拾取头拾取微型发光二极管，避免了漏抓取的问题，提高了良率。

技术研发人员：魏世鑫,叶利丹
受保护的技术使用者：惠科股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13