一种刻蚀类产品自动清洗设备的制作方法

本发明属于石英半导体部件加工，具体涉及一种刻蚀类产品自动清洗设备。

背景技术：

1、石英的主要成分是二氧化硅的无机非金属矿物，是透明或者非透明的晶体，一般为无色或乳白色，质地坚硬，物理性质和化学性质俊十分稳定，被广泛运用于光源、电子、光通讯、光伏、仪表、激光、航技术和国防领域。

2、石英环类产品用于电子光刻机之中，用于刻写集成电路，对精密程度要求非常高，因此对于石英制品的尺寸、粗糙度、表面要求、化学处理非常严格。在石英环类产品进行清洗工艺时，现在的传统治具没有一种有效手段能带动产品减少接触面，使用时产品放置框体中，产品与框体接触的地方若没有进行人为的调整容易产生晶格不饱满不均匀甚至是外观瑕疵，若要求操作者人工调整产品位置，首先是影响效率及质量，其次是难以统一标准。

技术实现思路

1、本发明针对上述技术问题，目的在于提供一种刻蚀类产品自动清洗设备。

2、一种刻蚀类产品自动清洗设备，包括：

3、一设备外壳，具有上料工位、清洗工位和下料工位；

4、一龙门机械臂，具有可横移和升降的运动部，所述运动部的横移行程至少包括从所述上料工位经过所述清洗工位至所述下料工位；

5、一治具筐，放置待清洗产品，可转动的设置在所述运动部上；

6、若干槽体，并排设置在所述清洗工位上。

7、本发明设置有设备外壳，以将待清洗产品的清洗工序全部在设备外壳内完成。本发明使用时，将待清洗产品在上料工位放置入治具筐内，通过具有可横移和升降的龙门机械臂来带动含有待清洗产品的治具筐移动至清洗工位，通过若干槽体对待清洗产品逐个进行清洗工作，在对待清洗产品清洗过程中，通过治具筐的转动带动其内的待清洗产品转动，在产品转动过程中，产品与治具筐的接触面改变，未被清洗之处也会随着转动而被进行清洗，这样的方式大大保障了待清洗产品的清洗效果。在产品清洗完成后，龙门机械臂带着治具筐移动至下料工位，对已清洗完成的产品下料即可。本发明采用自动化清洗工艺，大大提高了清洗效率，避免了人工调整产品带来的质量问题。

8、可选的，所述设备外壳采用不锈钢框架结构，所述设备外壳外包覆有阻燃封板，所述阻燃封板与所述不锈钢框架结构之间采用双面焊接。

9、可选的，所述阻燃封板采用pp阻燃封板，优选采用npp10mm不锈钢封板。

10、可选的，所述设备外壳底部采用不锈钢底架，所述设备外壳底部设置有接液盘，防止污染地面。

11、可选的，所述龙门机械臂包括：

12、一横移模组，设置在所述上料工位至所述下料工位的侧边，具有横移端；

13、一升降模组，设置在所述横移模组的横移端上，具有升降端；

14、一连接杆，设置在所述升降模组的升降端，所述连接杆具有一横杆，所述横杆设置在所述上料工位、所述清洗工位或所述下料工位的上方，所述横杆作为运动部连接所述治具筐。

15、可选的，所述治具筐包括：

16、两个固定杆，相互平行的固定在所述龙门机械臂的运动部上；

17、两个固定盘，相互平行的位于两个所述固定杆之间；

18、两个治具转轴，分别连接两个所述固定盘，所述治具转轴通过治具轴承连接对应的所述固定杆；

19、一治具驱动电机，设置在其中一个所述固定杆或所述运动部上，通过齿轮传动机构连接其中一个所述治具转轴；

20、若干限位杆，轴向与所述治具转轴一致，位于两个所述固定盘之间，两端分别可拆卸的固定在两个固定盘的内壁上，若干所述限位杆沿所述固定盘的周向设置，每个所述限位杆的内侧均设置有若干限位槽。

21、可选的，所述刻蚀类产品自动清洗设备还包括：

22、一加热系统，具有若干加热管，每个所述槽体内均设置有所述加热管，所述加热管的控制端连接带散热装置的脉冲式固体继电器；

23、所述加热管优选采用特氟龙加热管，所述加热管优选设置在所述槽体内侧边，形成侧边加热功能。

24、可选的，所述刻蚀类产品自动清洗设备还包括：

25、一液位控制系统，具有若干溢流阀、若干液位浮球和若干排液管，所述溢流阀与对应的一个液位浮球联动，所述排液管与对应的一个溢流阀连通；

26、每个所述槽体上均设置有所述溢流阀，每个所述槽体内均设置有对应的一个液位浮球；

27、所述液位浮球优选采用可实现高低液位控制的pvdf液位浮球。

28、可选的，若干所述槽体中具有至少一个容纳酸液的酸槽、至少一个容纳纯水的水槽，与所述酸槽连通的所述排液管作为酸液排液管，与所述水槽连通的所述排液管作为纯水排液管，所述酸液排液管与所述纯水排液管采用相互独立的管道，所述酸液排液管、所述纯水排液管均设置有独立的排液阀门。

29、可选的，所述槽体采用pp槽体。

30、可选的，每个所述槽体四周均设置有抽风槽。

31、可选的，所述刻蚀类产品自动清洗设备还包括：

32、一超声波系统，具有至少一个超声波清洗部，所述超声波清洗部设置在至少一个所述槽体内。

33、可选的，所述刻蚀类产品自动清洗设备还包括：

34、一主排风系统，具有气泵、气管接头及气管，所述气泵经所述气管接头连接所述气管，所述气管连通所述设备外壳内部；

35、所述气泵优选采用无金属泵，所述气管接头优选采用四氟材质，所述气管优选采用四氟材质。

36、可选的，所述刻蚀类产品自动清洗设备还包括：

37、至少两个水枪，分别设置在所述上料工位和所述下料工位，所述水枪的喷射口朝向上方治具筐，所述水枪经送水管道连接高压送水机构，所述送水管道上设置有送水阀门。

38、有益效果：本发明具有如下优点：

39、1、与传统治具相比，本发明的治具筐可转动，在清洗过程中，可极好的保证化学处理效果。治具筐的具体改进结构，可实现对不同大小的石英环进行限位固定，从而使整个装置使用起来更加的方便。

40、2、一次上料可批量稳定对产品进行标准化清洗，保证清洗效果一致稳定。且产品清洗过程无需人工干预，可通过龙门机械臂带动含有产品的治具筐在若干槽体内进行逐一清洗，自动化程度高，大大提高了清洗效率，方便进行操作流程的统一化，降低了人员因素对石英类产品化学处理过程的干扰。

41、3、该装置结构简单，操作相对便利，通过结构改进，清洗设备具有防腐、防污染、可加热、温度控制、自动溢流、超声波清洗等至少一项功能。

技术特征：

1.一种刻蚀类产品自动清洗设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种刻蚀类产品自动清洗设备，其特征在于，所述设备外壳采用不锈钢框架结构，所述设备外壳外包覆有阻燃封板，所述阻燃封板与所述不锈钢框架结构之间采用双面焊接；

3.如权利要求1所述的一种刻蚀类产品自动清洗设备，其特征在于，所述龙门机械臂包括：

4.如权利要求1所述的一种刻蚀类产品自动清洗设备，其特征在于，所述治具筐包括：

5.如权利要求1至4中任意一项所述的一种刻蚀类产品自动清洗设备，其特征在于，所述刻蚀类产品自动清洗设备还包括：

6.如权利要求1至4中任意一项所述的一种刻蚀类产品自动清洗设备，其特征在于，所述刻蚀类产品自动清洗设备还包括：

7.如权利要求6所述的一种刻蚀类产品自动清洗设备，其特征在于，若干所述槽体中具有至少一个容纳酸液的酸槽、至少一个容纳纯水的水槽，与所述酸槽连通的所述排液管作为酸液排液管，与所述水槽连通的所述排液管作为纯水排液管，所述酸液排液管与所述纯水排液管采用相互独立的管道，所述酸液排液管、所述纯水排液管均设置有独立的排液阀门；

8.如权利要求1至4中任意一项所述的一种刻蚀类产品自动清洗设备，其特征在于，所述刻蚀类产品自动清洗设备还包括：

9.如权利要求1至4中任意一项所述的一种刻蚀类产品自动清洗设备，其特征在于，所述刻蚀类产品自动清洗设备还包括：

10.如权利要求1至4中任意一项所述的一种刻蚀类产品自动清洗设备，其特征在于，所述刻蚀类产品自动清洗设备还包括：

技术总结
本发明属于石英半导体部件加工技术领域，具体涉及一种刻蚀类产品自动清洗设备，包括：一设备外壳，具有上料工位、清洗工位和下料工位；一龙门机械臂，具有可横移和升降的运动部，运动部的横移行程至少包括从上料工位经过清洗工位至下料工位；一治具筐，放置待清洗产品，可转动的设置在运动部上；若干槽体，并排设置在清洗工位上。本发明与传统治具相比，本发明的治具筐可转动，在清洗过程中，可极好的保证化学处理效果。本发明一次上料可批量稳定对产品进行标准化清洗，保证清洗效果一致稳定。

技术研发人员：舒宇珩,马洋洋
受保护的技术使用者：上海菲利华石创科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15