刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置的制作方法

本发明涉及半导体加工，特别涉及刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置。

背景技术：

1、蚀刻机分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类，在化学蚀刻中是使用化学溶液经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，工作方式主要为固定半导体板，刻蚀开孔后将零部件安装固定；晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，成形后为原子晶体，晶体的活性会根据温度的升降自动升降。

2、然而目前使用的夹紧装置主要作用为固定安装半导体线路板，缺乏辅助打磨并且利用打磨增温，提高晶圆活性的辅助功能，以及保证打磨稳定性的辅助润滑和供给功能。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，其具有承接托座和上扣押架，能够通过二者的对接，收缩夹紧使线路板进行固定。

2、本发明提供了刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，具体包括：内置固定座，所述内置固定座的前侧固定设置有两组滑座板，滑座板前侧固定设置有外置架；u形滑架，所述u形滑架配合导轨滑动设置在两组滑座板的顶部；u形滑架的顶部固定设置有上扣押架，上扣押架的前后侧为通槽结构；承接托座，所述承接托座滑动在u形滑架内，承接托座的顶部两侧之间一体式设置有连接条，连接条位于上扣押架中；打磨板，所述打磨板的底部固定设置有条形框架，条形框架配合导轨滑动设置在承接托座的内部；摆动转轴，所述摆动转轴的数量设置为四组，四组摆动转轴旋转设置在u形滑架的两侧上方，同侧上下的摆动转轴设置齿轮传动连接；套壳，所述套壳配合两组气密轴承旋转设置在上侧两组摆动转轴的外部；油盒，所述油盒固定设置在u形滑架的底部。

3、可选地，所述内置固定座还包括有：导压架，外置架的顶部两侧一体式设置有两组向后上仰的导压架；传动丝杠，外置架和内置固定座之间两侧旋转设置有传动丝杠；传动丝杠与u形滑架螺纹连接；梯形导向块a，滑座板的后侧上方固定设置有梯形导向块a；侧转轴，外置架的前侧旋转设置有两组侧转轴；手摇轴，外置架的前侧中间旋转设置有手摇轴，手摇轴与两组侧转轴设置锥齿轮传动连接；侧转轴与传动丝杠设置锥齿轮传动连接。

4、可选地，所述u形滑架还包括有：从动轴，u形滑架的两侧旋转设置有从动轴；下侧摆动转轴和从动轴设置锥齿轮传动连接；传动轴，u形滑架的底部两侧旋转设置有两组传动轴；传动电机，u形滑架的前侧固定设置有传动电机，传动电机与两组传动轴设置锥齿轮传动连接；传动轴与从动轴设置锥齿轮传动连接。

5、可选地，所述承接托座包括有：复位横杆，承接托座的两侧前端固定设置有两组复位横杆；梯形导向块b，承接托座的底部后侧固定设置有两组梯形导向块b。

6、可选地，所述摆动转轴包括有：摆动轮，两侧摆动转轴的相邻端均固定设置有摆动轮，两侧摆动轮的相邻面均一体式设置有偏心杆；偏心杆滑动在条形框架的两侧中间；通孔a，上侧两组摆动转轴外位于套壳内的位置开设有通孔a；通孔b，上侧两组偏心杆外开设有通孔b，通孔b与通孔a连通；h形滑块，偏心杆的外部均配合两组气密轴承旋转设置有h形滑块，h形滑块包裹通孔b；通孔c，上侧两组h形滑块的两侧开设有通孔c。

7、可选地，所述套壳包括有：输油管，套壳的后侧均连接设置有输油管，两侧输油管设置三通连接。

8、可选地，所述油盒包括有：单向阀a，油盒的后侧底部一体式设置有凸块，凸块顶部连接设置有单向阀a，单向阀a的顶部连接设置有连接管。

9、可选地，所述u形滑架的后侧固定设置有输油活塞，输油活塞与连接管连接相通；输油活塞的伸缩端连接设置有单向阀b，单向阀b与输油管设置管道连通。

10、有益效果：1.本发明各实施例的打磨板，提供了辅助打磨并且利用打磨增温的功能，启动传动电机，通过锥齿轮带动两侧传动轴、从动轴、摆动转轴、摆动轮和偏心杆旋转，偏心杆带动条形框架和打磨板前后往复运动，摩擦线路板的底面，同时通过摩擦加热，提高晶圆的刻蚀效率，通过加热提高晶圆活性。

11、2.梯形导向块b与梯形导向块a的设置，提供了卡位夹紧功能，转动手摇轴，通过锥齿轮带动两组侧转轴旋转，传动丝杠通过螺纹传动推进u形滑架向后移动，将承接托座向后移动，当梯形导向块b与梯形导向块a斜面接触的时候，承接托座升起，将线路板卡住，完成固定安装，操作方便稳定。

12、3.输油活塞的设置，提供了润滑功能，在承接托座升降的过程中，输油活塞进行一次伸缩，输油活塞伸展的时候产生负压，将油盒内的润滑油穿过单向阀a和连接管吸入输油活塞，在输油活塞收缩的时候，将润滑油穿过单向阀b输入输油管，从套壳内进入通孔a，从通孔b排出，进而进入h形滑块，从通孔c输出，利用涂抹的方式均匀润滑，保证每次安装线路板后实现润滑。

技术特征：

1.刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，其特征在于，所述内置固定座（1）还包括有：

3.如权利要求1所述刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，其特征在于，所述u形滑架（2）还包括有：

4.如权利要求1所述刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，其特征在于，所述承接托座（3）包括有：

5.如权利要求1所述刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，其特征在于，所述摆动转轴（5）包括有：

6.如权利要求1所述刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，其特征在于，所述套壳（6）包括有：

7.如权利要求1所述刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，其特征在于，所述油盒（7）包括有：

技术总结
本发明提供了刻蚀机用的半导体金属零部件加工的夹紧装置，涉及半导体加工技术领域，包括内置固定座，所述内置固定座的前侧固定设置有两组滑座板，滑座板前侧固定设置有外置架；U形滑架，所述U形滑架配合导轨滑动设置在两组滑座板的顶部；根据本发明的各实施例的打磨板，提供了辅助打磨并且利用打磨增温的功能，启动传动电机，通过锥齿轮带动两侧传动轴、从动轴、摆动转轴、摆动轮和偏心杆旋转，偏心杆带动条形框架和打磨板前后往复运动，摩擦线路板的底面，同时通过摩擦加热，提高晶圆的刻蚀效率，通过加热提高晶圆活性，解决了现有夹紧装置缺乏辅助打磨并且利用打磨增温，提高晶圆活性的辅助功能的问题。

技术研发人员：赵述承
受保护的技术使用者：恒鑫盛机械设备（潍坊）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15