一种氮化镓单晶电极材料及制备方法和应用

本发明属于半导体器件，涉及一种氮化镓单晶电极材料及制备方法和应用。

背景技术：

1、伴随着人口持续增长和城市化进程不断加大，对于化石燃料的需求不断增加，因此造成了逐渐枯竭的能源问题和难以忽视的温室效应，从而环境严重恶化。对于此，世界各国部门正在加大力度制定有关可持续发展和先进能源开发的新型策略以此来积极的应对和缓解存在的环境问题。其中，探索清洁型新能源是有效果的举措之一。这些新型能源主要包括风能、水能、太阳能和潮汐能等可再生能源中获取。然而，不可避免的间接性的缺点严重的限制了这些新型能源的广泛性的应用。所以探索一种高效的能量存储和转换设备去实现新能源的可持续发展至关重要。在过去的三十年里，锂离子电池已经成为人们日常生活中不可或缺的重要能量供给设备，例如电动汽车和智能电子设备。但是由于地球表面有限的锂离子含量和分布的限制，需要探索一种可以补充或者取代锂离子电池的下一代新型的储能设备。超级电容器由于其高效的充放电速率和超长的工作寿命，引起了人们的广发关注。与传统的电容器相比，超级电容器是处于与电池之间的一种新型能源存储设备，有望达到令人满意的能量密度和功率密度平衡，实现实际能量供给需求。根据超级电容器不同的储能机理，超级电容器主要分为三大类。其中，电子双层超级电容器主要依赖于非法拉第反应，即容量主要来源于电极表面的离子吸附。电极材料是超级电容器的主要组成之一，决定了整个器件的性能，所以，探索一种可靠性和高性能兼容的的电极材料至关重要。

2、氮化镓单晶，作为宽禁带半导体的代表之一，由于其本身所具有的化学结构稳定性、优异的电子迁移率、抗击穿电压强、温度稳定性好(能够在大于300℃的环境下保持结构稳定)等优点，能够很好的满足现代航天航空、军事、雷达探索等前沿领域的需求。在目前的研究中，将氮化镓应用于能源存储设备(例如锂离子电池和超级电容器均有报道)已经引起了巨大的兴趣，已经证明氮化镓是非常有潜力的新型储能材料。同时能够很好的满足现代电子器件中绿色、便捷、缓解环境友好的储能需求。

3、然而，到目前为止，大多数对氮化镓电极材料的研究停留在非晶、多晶或者纳米材料的基础上。结晶度的降低可能会严重破坏氮化镓的结构稳定性，极大的限制了其本征的特性，阻碍了在未来发展中，氮化镓单晶电子器件的实际应用效率。此外，虽然氮化镓单晶具有高度的结晶度，但是其差的表面活性进一步阻碍了其在化学反应过程中的反应活性，导致不理想的容量。

4、因此，为了克服现有技术中电极材料的不足，获得一种可靠、稳定、高性能等综合性能优异的氮化镓电极材料成为亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、本发明针对上述问题，基于氮化镓单晶的优异性能，提供了一种大功率高稳定性氮化镓电极材料及制备方法和应用。

2、多孔氮化镓单晶不仅具有高度的长程有序结构，维持了单晶本身所具有的优异特性，而且多孔结构有效的扩大了比表面积，大的比表面积有助于暴露更多的活性位点，增加与电解液的接触，促进有效的电解液离子或者电子的吸附。同时，多孔结构提供了充足的空间使氮化镓单晶在发生化学反应时实现快速的离子或者电子的迁移，使其作为超级电容器的电极材料展现出优异的倍率性能。更加重要的是，多孔氮化镓单晶表现出优异的稳定性。一方面，氮化镓单晶本证结构稳定，具有高度的结晶度。另一方面，多孔结构为氮化镓有效的缓解了在器件快速的充放电过程中体积改变的问题。

3、而将多孔氮化镓单晶作为电极材料，能够显著提高氮化镓单晶超级电容器的比容量，从而在保证氮化镓单晶大功率特性的基础上，进一步优化了氮化镓单晶作为电极组装的超级电容器的比容量和稳定性，能够更好地满足超级电容器在超高瞬时功率输入和输出的器件中的实际应用要求。

4、为实现上述本目的，提供以下技术方案：

5、一种氮化镓单晶电极材料的制备方法，包括以下步骤：

6、(1)将氮化镓单晶切割为规则形状；

7、(2)将步骤(1)中所得的氮化镓单晶进行清洗得到洁净的氮化镓单晶；

8、(3)将步骤(2)中所得洁净的氮化镓单晶放入真空干燥箱中干燥；

9、(4)将步骤(3)中所得的干燥的氮化镓单晶放入高温管式炉中，并通入惰性气体，由室温升高至800～1500℃后自然降至室温，制备得到氮化镓单晶电极材料。

10、根据本发明优选的，所述步骤(1)中的氮化镓单晶的制备方法为氢化物气相外延、氨热法或助熔剂法。

11、根据本发明优选的，所述步骤(1)中的晶片切割方法为单线切割或者激光切割，切割为1×1.5cm的规则形状。

12、根据本发明优选的，所述步骤(1)中的氮化镓单晶为两英寸或者四英寸的完整晶圆，厚度为200-800μm。

13、根据本发明优选的，所述步骤(2)中依次用丙酮、乙醇和去离子水对氮化镓单晶进行清洗，清洗时间均为30min。

14、根据本发明优选的，所述步骤(3)中真空干燥箱中的相对压力为-0.1～-0.001mpa，水氧值均低于0.1ppm。

15、根据本发明优选的，所述步骤(3)中真空干燥箱中的干燥温度为60～80℃，干燥时间为24小时。

16、根据本发明优选的，所述步骤(4)中的惰性气体为高纯氩气或者高纯氮气中的任意一种。

17、根据本发明优选的，所述步骤(4)中的反应时间为30min，升温速率为5-20℃/min。

18、本发明还提供由上述方法制备得到的氮化镓单晶材料。

19、本发明还提供上述氮化镓单晶材料的应用，用于制备超级电容器，所述超级电容器由工作电极、对电极、参比电极和电解液组成，所述工作电极由所述氮化镓单晶电极材料制得，对电极为金属铂电极或者碳电极，参比电极为银/氯化银电极，电解液为2m kcl水溶液。

20、本发明与现有技术相比，具有以下优点：

21、(1)本发明通过一种简单、高效的方法制备了一种氮化镓单晶电极材料。多孔氮化镓单晶结构，在保证氮化镓长程有序的结构外有效的增加了其比表面积，增加了与电解液的接触面积，有利于充分发生化学反应，因此作为电极，能够提高器件的比容量。

22、(2)本发明首次利用高质量氮化镓单晶作为电极材料，充分实现了高结晶性的氮化镓单晶与储能器件将结合。

23、(3)本发明的多孔氮化镓单晶结构中，由于孔隙的存在为电解液离子或者电子提供了快速的运输通道，实现了材料的高倍率性，同时多孔结构提供了足够的空间，有效缓解了在发生快速的反应过程中，电极体积膨胀造成的器件性能不可逆下降的问题。

24、(4)本发明用多孔氮化镓单晶作为电极材料制备的超级电容器实现了较大的能量密度、可观的比容量和优异的倍率性能且具有超长的循环寿命。

技术特征：

1.一种氮化镓单晶电极材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中的晶片切割方法为单线切割或者激光切割，切割为1×1.5cm的规则形状；优选的，所述步骤(1)中的氮化镓单晶的生长方法为氢化物气相外延法、氨热法或助溶剂法。

3.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中的氮化镓单晶为两英寸或者四英寸的完整晶圆，厚度为200-800μm。

4.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中依次用丙酮、乙醇和去离子水对氮化镓单晶进行清洗，清洗时间均为30min。

5.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中真空干燥箱中的相对压力为-0.1～-0.001mpa，水氧值均低于0.1ppm。

6.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中真空干燥箱中的干燥温度为60～80℃，干燥时间为24小时。

7.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中的惰性气体为高纯氩气或者高纯氮气中的任意一种。

8.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中的反应时间为30min，升温速率为5-20℃/min。

9.如权利要求1-8任一项所述方法制备得到的氮化镓单晶电极材料。

10.如权利要求9所述的氮化镓单晶电极材料的应用，用于制备超级电容器，所述超级电容器由工作电极、对电极、参比电极和电解液组成，所述工作电极由所述氮化镓单晶电极材料制得，对电极为金属铂电极或者碳电极，参比电极为银/氯化银电极，电解液为2m kcl水溶液；

技术总结
本发明属于半导体器件技术领域，提出了一种氮化镓单晶电极材料及制备方法和应用。电极材料制备方法包括以下步骤：首先将氮化镓晶圆切割；然后进行清洗、干燥；再于高温管式炉中进行退火，制得多孔氮化镓单晶，该方法简单，高效。所得多孔氮化镓单晶可以直接作为超级电容器的电极材料，能够保持氮化镓单晶高度的结晶性，维持其本征所具有的优良特性；多孔结构可有效增加比表面积，有利于在化学储能过程中增大与电解液的接触面积，从而扩大电极比容量；多孔氮化镓单晶电极结构稳定性高，不仅具有大功率和超稳定性质，还能够应对电解液离子或者电子的反复冲击，提供充足的空间，以更好的满足对大功率、超稳定性能的需求。

技术研发人员：王守志,吕松阳,张雷,王国栋,徐现刚
受保护的技术使用者：山东大学
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15