一种三维螺旋电感的制作方法

本申请涉及半导体器件，尤其涉及一种三维螺旋电感。

背景技术：

1、在射频集成电路发展过程中，迫切的需要发展高性能的新器件和新的单元电路，他们是实现射频集成前端的基础。螺旋电感是射频集成电路的重要组成之一，非常广泛的应用于各类射频集成电路中，例如滤波器、振荡器、功率放大器等等。并且螺旋电感作为射频集成电路中的关键元件，它的性能参数直接影响着射频集成电路的性能，然而具有优越品质的螺旋电感的设计非常艰深，影响着螺旋电感以及射频集成电路的发展进程。

2、5g以及后续的6g通信时代，对于射频系统的性能提出了更高的要求，使得兼顾高品质因数以及高感值的螺旋电感的需求更加强烈。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请提供了一种三维螺旋电感，方案如下：

2、一种三维螺旋电感，该三维螺旋电感包括：沿第一方向排布的第一螺旋线圈和第二螺旋线圈；其中，所述第一螺旋线圈与所述第二螺旋线圈相连接，并且所述第一螺旋线圈所在平面与所述第二螺旋线圈所在平面平行，所述第一方向垂直于所述第一螺旋线圈所在平面以及所述第二螺旋线圈所在平面；

3、所述第一螺旋线圈包括第一螺旋部分和第二螺旋部分，所述第二螺旋部分与所述第一螺旋部分相连接，并且所述第二螺旋部分环绕所述第一螺旋部分，且所述第二螺旋部分的线宽大于所述第一螺旋部分的线宽；

4、所述第二螺旋线圈包括第三螺旋部分和第四螺旋部分，所述第三螺旋部分与所述第四螺旋部分相连接，并且所述第三螺旋部分与所述第一螺旋部分相对，所述第四螺旋部分与所述第二螺旋部分相对，且所述第四螺旋部分的线宽大于所述第三螺旋部分的线宽。

5、可选的，所述第一螺旋部分的线宽与所述第三螺旋部分的线宽相等；

6、所述第二螺旋部分的线宽与所述第四螺旋部分的线宽相等。

7、可选的，所述第一螺旋线圈还包括第五螺旋部分和第六螺旋部分，所述第五螺旋部分的一端与所述第二螺旋部分相连接，另一端与所述第六螺旋部分相连接，并且所述第五螺旋部分环绕所述第二螺旋部分，所述第六螺旋部分环绕所述第五螺旋部分；

8、其中，所述第五螺旋部分的线宽小于所述第二螺旋部分的线宽，且还小于所述第六螺旋部分的线宽。

9、可选的，所述第五螺旋部分的线宽大于所述第一螺旋部分的线宽；

10、所述第六螺旋部分的线宽大于所述第二螺旋部分的线宽。

11、可选的，所述第二螺旋线圈还包括第七螺旋部分和第八螺旋部分，所述第七螺旋部分与所述第五螺旋部分相对，并且所述第七螺旋部分的一端与所述第四螺旋部分相连接，另一端与所述第八螺旋部分相连接，所述第八螺旋部分与所述第六螺旋部分相对；

12、其中，所述第七螺旋部分的线宽小于所述第四螺旋部分的线宽，且还小于所述第八螺旋部分的线宽。

13、可选的，所述第七螺旋部分的线宽大于所述第三螺旋部分的线宽；

14、所述第八螺旋部分的线宽大于所述第四螺旋部分的线宽。

15、可选的，所述第一螺旋线圈还包括第九螺旋部分，所述第九螺旋部分与所述第二螺旋部分相连接，并且所述第九螺旋部分环绕所述第二螺旋部分；

16、其中，所述第九螺旋部分的线宽大于所述第二螺旋部分的线宽。

17、可选的，所述第二螺旋线圈还包括第十螺旋部分，所述第十螺旋部分与所述第四螺旋部分相连接，并且所述第十螺旋部分环绕所述第四螺旋部分；

18、其中，所述第十螺旋部分的线宽大于所述第四螺旋部分的线宽。

19、可选的，所述三维螺旋电感还包括第三螺旋线圈，所述第三螺旋线圈包括n个子螺旋线圈，所述第一螺旋线圈、所述第二螺旋线圈、所述第三螺旋线圈沿所述第一方向依次排布，所述n个子螺旋线圈沿所述第一方向排布，n≥1。

20、可选的，所述子螺旋线圈包括第一子螺旋部分和第二子螺旋部分，其中，所述第一子螺旋部分与所述第二子螺旋部分相连接，并且所述第一子螺旋部分与所述第三螺旋部分相对，所述第二子螺旋部分与所述第四螺旋部分相对，且所述第二子螺旋部分的线宽大于所述第一子螺旋部分的线宽。

21、相比于现有技术，本申请的技术方案的有益效果如下：

22、本申请提供的三维螺旋电感包括：沿竖直方向排布的第一螺旋线圈和第二螺旋线圈，其中第一螺旋线圈包括第一螺旋部分和第二螺旋部分，第二螺旋部分与第一螺旋部分相连接，并且第二螺旋部分环绕第一螺旋部分，且第二螺旋部分的线宽大于第一螺旋部分的线宽。第二螺旋线圈包括第三螺旋部分和第四螺旋部分，第三螺旋部分与第四螺旋部分相连接，并且第三螺旋部分与第一螺旋部分相对，第四螺旋部分与第二螺旋部分相对，且第四螺旋部分的线宽大于第三螺旋部分的线宽。由上述可知，本申请提供的三维螺旋电感采用了粗细线条搭配的方式构建而成，缓解了宽线条对于感值的抑制，以及缓解了细线条对于品质因数的抑制，提高了该三维螺旋电感的感值和品质因数，实现了更高感值和更高品质因数，提高了三维螺旋电感的品质。

技术特征：

1.一种三维螺旋电感，其特征在于，包括：沿第一方向排布的第一螺旋线圈和第二螺旋线圈；其中，所述第一螺旋线圈与所述第二螺旋线圈相连接，并且所述第一螺旋线圈所在平面与所述第二螺旋线圈所在平面平行，所述第一方向垂直于所述第一螺旋线圈所在平面以及所述第二螺旋线圈所在平面；

2.根据权利要求1所述的三维螺旋电感，其特征在于，所述第一螺旋部分的线宽与所述第三螺旋部分的线宽相等；

3.根据权利要求1所述的三维螺旋电感，其特征在于，所述第一螺旋线圈还包括第五螺旋部分和第六螺旋部分，所述第五螺旋部分的一端与所述第二螺旋部分相连接，另一端与所述第六螺旋部分相连接，并且所述第五螺旋部分环绕所述第二螺旋部分，所述第六螺旋部分环绕所述第五螺旋部分；

4.根据权利要求3所述的三维螺旋电感，其特征在于，所述第五螺旋部分的线宽大于所述第一螺旋部分的线宽；

5.根据权利要求3所述的三维螺旋电感，其特征在于，所述第二螺旋线圈还包括第七螺旋部分和第八螺旋部分，所述第七螺旋部分与所述第五螺旋部分相对，并且所述第七螺旋部分的一端与所述第四螺旋部分相连接，另一端与所述第八螺旋部分相连接，所述第八螺旋部分与所述第六螺旋部分相对；

6.根据权利要求5所述的三维螺旋电感，其特征在于，所述第七螺旋部分的线宽大于所述第三螺旋部分的线宽；

7.根据权利要求1所述的三维螺旋电感，所述第一螺旋线圈还包括第九螺旋部分，所述第九螺旋部分与所述第二螺旋部分相连接，并且所述第九螺旋部分环绕所述第二螺旋部分；

8.根据权利要求7所述的三维螺旋电感，其特征在于，所述第二螺旋线圈还包括第十螺旋部分，所述第十螺旋部分与所述第四螺旋部分相连接，并且所述第十螺旋部分环绕所述第四螺旋部分；

9.根据权利要求1所述的三维螺旋电感，其特征在于，所述三维螺旋电感还包括第三螺旋线圈，所述第三螺旋线圈包括n个子螺旋线圈，所述第一螺旋线圈、所述第二螺旋线圈、所述第三螺旋线圈沿所述第一方向依次排布，所述n个子螺旋线圈沿所述第一方向排布，n≥1。

10.根据权利要求9所述的三维螺旋电感，其特征在于，所述子螺旋线圈包括第一子螺旋部分和第二子螺旋部分，其中，所述第一子螺旋部分与所述第二子螺旋部分相连接，并且所述第一子螺旋部分与所述第三螺旋部分相对，所述第二子螺旋部分与所述第四螺旋部分相对，且所述第二子螺旋部分的线宽大于所述第一子螺旋部分的线宽。

技术总结
本申请提供了一种三维螺旋电感，该三维螺旋电感包括：沿竖直方向排布的第一螺旋线圈和第二螺旋线圈，第一螺旋线圈包括相连接的第一螺旋部分和第二螺旋部分，第二螺旋部分环绕第一螺旋部分，且第二螺旋部分的线宽大于第一螺旋部分的线宽。第二螺旋线圈包括相连接的第三螺旋部分和第四螺旋部分，并且第三螺旋部分与第一螺旋部分相对，第四螺旋部分与第二螺旋部分相对，且第四螺旋部分的线宽大于第三螺旋部分的线宽。由上述可知，该三维螺旋电感采用了粗细线条搭配的方式构建而成，缓解了宽线条对于感值的抑制，以及缓解了细线条对于品质因数的抑制，实现了更高感值和更高品质因数，提高了三维螺旋电感的品质。

技术研发人员：元健,程伟,左成杰,何军
受保护的技术使用者：安徽云塔电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15