一种高透光性双面TOPCon电池的制备方法与流程

文档序号:35869676发布日期:2023-10-28 01:04阅读:111来源:国知局

本发明涉及太阳能电池,具体是一种高透光性双面topcon电池的制备方法。


背景技术:

1、目前topcon电池仅背表面由二氧化硅和掺杂的多晶硅组成钝化接触结构,而前表面仅由氧化铝钝化,使用烧穿型浆料时,仍存在栅线与硅基体直接接触,无法实现topcon电池双面钝化。因此,电池正面也需要采用钝化接触结构。目前topcon双面钝化电池正面采用掺杂多晶硅实现双面钝化,但多晶硅禁带宽度(1.1ev-1.7ev)较小,其光学透光性较差,寄生吸收严重,从而造成效率损失。


技术实现思路

1、为解决背景技术中的技术问题,本发明公开了一种高透光性双面topcon电池的制备方法。

2、本发明提供一种高透光性双面topcon电池的制备方法,包括以下步骤:

3、s1、硅基体双面制绒;

4、s2、对硅基体背面进行抛光;

5、s3、硅基体双面沉积遂穿氧化层;

6、s4、硅基体双面印刷掺碳的硅浆料,并对浆料进行固化;

7、s5、硅基体正面进行硼扩散,同时硅基体正面掺碳硅浆料晶化成掺碳的poly硅;

8、s6、通过酸洗去除硅基体背面的bsg层;

9、s7、对硅基体背面进行磷扩散,同时硅基体背面掺碳硅浆料晶化成掺碳的poly硅;

10、s8、通过酸洗去除硅基体正面的bsg以及背面psg;

11、s9、硅基体双面沉积氮化硅膜;

12、s10、在硅基体的正反两面进行丝网印刷,制得双面topcon电池。

13、掺碳poly硅的设置,增加了禁带宽度,在保证钝化效果的同时,减小了消光系数,减少了对光谱的寄生吸收,提升了电流,实现了topcon电池的双面钝化,同时避免了正面电极与硅基体的直接接触。

14、如碳掺杂含量过低,则poly硅禁带宽度增幅不足;如碳掺杂含量过高,则会破坏晶格的晶体结构,同时影响接触电阻,降低填充因子,基于此,进一步的设计是:硅浆料中碳掺杂的含量为3%-5%。



技术特征:

1.一种高透光性双面topcon电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种高透光性双面topcon电池的制备方法,其特征在于:硅浆料中碳掺杂的含量为3%-5%。


技术总结
本发明是一种高透光性双面TOPCon电池的制备方法,先在硅基体双面印刷掺碳的硅浆料,并对浆料进行固化;随后通过硼扩散和磷扩散的方式,使得硅基体两面形成掺碳的POLY硅;掺碳POLY硅的设置,增加了禁带宽度,在保证钝化效果的同时,减小了消光系数,减少了对光谱的寄生吸收,提升了电流,实现了TOPCon电池的双面钝化,同时避免了正面电极与硅基体的直接接触。

技术研发人员:肖奇,胡琴,张飞,孙铁囤
受保护的技术使用者:常州亿晶光电科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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