本发明涉及电子束加工，尤其是一种提高电子束束流质量的方法。
背景技术：
1、对扫描区域内电子束束斑进行精确聚焦控制技术，是高质量电子束加工工艺的要求。对磁透镜和偏转结构进行深度的分析，用动态聚焦的方式来动态补偿电子束聚焦过程中产生的误差，来更好的形成电子束焦点，保证电子束最小束斑直径，提高电子束的能量密度，获得较好的束流品质，最终提高电子束工件的质量。
技术实现思路
1、电子枪中阴极上产生的电子在经过聚束极和阳极之间电压的加速后，会继续的沿着束流的轨迹方向继续运动，经过电子枪的电子光学系统，但是这样的电子便会在到达工件扫描处形成大片的散射电子云，使形成的电子束无法发挥作用，因此，需要将散射的电子进行聚焦，使其会聚成截面半径极小的圆斑点。进而形成束流焦点尺寸极小的电子束。电子束工作原理图如图1所示。
2、电子束束斑失真，形状发生改变，理论上是圆形，失真造成束斑成椭圆形，甚至成矩形，或者成花状图形，扫描的能量密度不同，通过优化和补偿使电子束的束斑更加接近圆形，束斑能量更加成高斯分布。
3、在电子束加工过程中，由于电子之间存在很强的空间电荷排斥力而沿着不同方向分散运动；电子运动距离越大，电子束的分散趋势越明显，电子束能量密度低，可能导致无法达到工作要求。要想达到电子束加工所需的高能量密度，必须对散射的电子进行聚焦。
1.一种改善电子束束流质量的方法，其特征在于，从电子光学原理出发，分析了焊接用电子枪的电子光学结构的特点与作用，找到了提高电子枪束功率的方法。
2.根据权利要求1所述的一种改善电子束束流质量的方法，其特征在于，确保被聚束的电子注有较高的稳定性，即所谓的“刚度”好。
3.根据权利要求1所述的一种改变电子束束流质量的方法，其特征在于，保证电子注外层电子的运动状态及外层电子运动中半径的变化。
4.根据权利要求1所述的一种改善电子束束流质量的方法，其特征在于，要得到具有更优偏转效果的偏转扫描线圈，需要重点研究线圈参数，设计线圈结构以及绕组分布方式。