本发明涉及硅片承载器，尤其涉及一种防止硅片粘连的硅片承载器。
背景技术：
1、集成电路的制造涉及在半导体基板的硅片上的多种操作。其中某些操作可能包括例如光刻、蚀刻、曝光，其中所涉及的环境一般都属于强酸和/或强碱等强腐蚀性环境，因而用于承载硅片进行相应操作的承载器需要能够耐强酸及强碱腐蚀，甚至是高温条件下强酸及强碱的腐蚀。
2、随着半导体科学技术的飞速的发展，其被广泛应用涉及到现代社会的各行各业。因此，硅片的需求量及生产加工量不断攀升，要求采用大规模流水线生产才能满足市场需求。与此相适应，随着集成电路制造工艺的不断进步，硅片生产、加工的自动化程度越来越高，需要许多与自动化、规模化生产相配套的辅助设备，例如用于放置在硅片清洗设备中、装载硅片以便完成硅片清洗的硅片承载器，其外形尺寸受清洗设备限制而严格设计，并且需要具备与硅片清洗设备相应的固定或连接机构。在硅片清洗等操作后，相邻硅片之间会存留液体，使得相邻摆放的硅片之间易粘连在一起，长时间的粘连结构会破坏硅片的原有结构，导致硅片损坏；且硅片之间短时间粘连在一起时不易分离，拿取不方便，针对硅片放置在承载器上结构之间易发生粘连属于传统硅片承载设备遇到的难题。
3、基于此，提出一种防止硅片粘连的硅片承载器。
技术实现思路
1、本发明的目的在于：为了解决上述问题，而提出的一种防止硅片粘连的硅片承载器。
2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
3、一种防止硅片粘连的硅片承载器，包括承载架，所述承载架上连接有倾斜架，所述承载架上开设有侧槽和中间槽，所述承载架上端连接有连接柱，所述连接柱上连接有限位扣，所述连接柱外侧连接有轴架，所述轴架上连接有分离轴二，所述承载架一侧连接有u型板，所述u型板上开设有板槽，所述板槽上连接有分离轴一，所述分离轴一上连接有用以拨动硅片分离的分离机构一，所述分离轴二上连接有用以拨动硅片分离的分离机构二。
4、优选地，所述分离机构二包括分离片一，所述分离片一转动连接在分离轴二，所述分离片一上固定连接有绳杆，所述绳杆上连接有牵引绳，所述牵引绳另一端连接有汇总杆，所述汇总杆上连接有汇总绳。
5、优选地，所述u型板上固定连接有限位架，所述限位架上滑动连接有升降杆，所述升降杆两端固定连接有限位块。
6、优选地，所述分离机构一包括推杆，所述推杆上连接有平移杆，所述u型板下端连接有固定柱，所述固定柱下端连接有限位管，所述限位管套设在平移杆上，所述推杆上连接有端杆，所述端杆上连接有垂直杆，所述垂直杆一侧设置用以带动垂直杆移动的传动件。
7、优选地，所述分离轴一上转动连接有分离片二，所述分离片二设置在板槽，所述分离片二呈弯折结构，所述分离片二短边朝向推杆一侧，所述分离片二长边朝向承载架一侧。
8、优选地，所述u型板上连接有固定板，所述固定板上连接有转轴一，所述转轴一上连接有轴杆，所述轴杆上连接有转轴二。
9、优选地，所述传动件包括转盘，所述转盘一侧连接有齿环，所述转盘另一侧连接有旋转杆，所述转盘转动连接在转轴一上，所述转盘一侧设置有夹持架，所述夹持架上连接有撬动片，所述撬动片转动连接在转轴二上，所述夹持架一端夹持在推杆上，所述齿环一侧设置有用以带动齿环转动的连动组件。
10、优选地，所述连动组件包括升降齿条，所述升降齿条上端贯穿u型板固定连接在限位块上，所述升降齿条一侧设置有齿条轨，所述齿条轨固定连接在u型板上，所述升降齿条一侧与齿环之间相互啮合。
11、综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：
12、1、本申请通过采用分离片一和分离片二结构，利用分离片一和分离片二从硅片两侧对其结构进行挑动，使得相邻硅片之间结构分离，能够避免硅片结构之间粘连在一起，且配合设置的倾斜架结构，使得硅片底端之间结构相互分离，特殊的的倾斜结构在接触到硅片时，能够方便硅片上清洗后留存的液体顺延倾斜结构流下，加速硅片表面液体的风干，避免硅片在摆放时结构之间发生粘连。
13、2、本申请通过采用转盘结构，利用转盘结构带动推杆结构进行水平往复移动，进而推动分离片二结构发生偏转，而转盘结构是依靠提拉升降杆完成结构传动的，在提拉升降杆的同时会带动分离片一发生偏转，即分离硅片的只需要上下拉动升降杆即可，操作简单，且分离硅片的操作不干扰整体承载器放置于硅片清洗液里清洗的操作。
1.一种防止硅片粘连的硅片承载器，包括承载架（1），其特征在于，所述承载架（1）上连接有倾斜架（13），所述承载架（1）上开设有侧槽（15）和中间槽（16），所述承载架（1）上端连接有连接柱（33），所述连接柱（33）上连接有限位扣（34），所述连接柱（33）外侧连接有轴架（12），所述轴架（12）上连接有分离轴二（36），所述承载架（1）一侧连接有u型板（2），所述u型板（2）上开设有板槽（17），所述板槽（17）上连接有分离轴一（35），所述分离轴一（35）上连接有用以拨动硅片分离的分离机构一，所述分离轴二（36）上连接有用以拨动硅片分离的分离机构二。
2.根据权利要求1所述的一种防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述分离机构二包括分离片一（11），所述分离片一（11）转动连接在分离轴二（36），所述分离片一（11）上固定连接有绳杆（37），所述绳杆（37）上连接有牵引绳（18），所述牵引绳（18）另一端连接有汇总杆（6），所述汇总杆（6）上连接有汇总绳（7）。
3.根据权利要求1所述的一种防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述u型板（2）上固定连接有限位架（3），所述限位架（3）上滑动连接有升降杆（4），所述升降杆（4）两端固定连接有限位块（5）。
4.根据权利要求1所述的一种防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述分离机构一包括推杆（10），所述推杆（10）上连接有平移杆（25），所述u型板（2）下端连接有固定柱（23），所述固定柱（23）下端连接有限位管（24），所述限位管（24）套设在平移杆（25）上，所述推杆（10）上连接有端杆（26），所述端杆（26）上连接有垂直杆（27），所述垂直杆（27）一侧设置用以带动垂直杆（27）移动的传动件。
5.根据权利要求1所述的一种防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述分离轴一（35）上转动连接有分离片二（14），所述分离片二（14）设置在板槽（17），所述分离片二（14）呈弯折结构，所述分离片二（14）短边朝向推杆（10）一侧，所述分离片二（14）长边朝向承载架（1）一侧。
6.根据权利要求1所述的一种防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述u型板（2）上连接有固定板（9），所述固定板（9）上连接有转轴一（29），所述转轴一（29）上连接有轴杆（20），所述轴杆（20）上连接有转轴二（31）。
7.根据权利要求4所述的一种防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述传动件包括转盘（21），所述转盘（21）一侧连接有齿环（28），所述转盘（21）另一侧连接有旋转杆（30），所述转盘（21）转动连接在转轴一（29）上，所述转盘（21）一侧设置有夹持架（19），所述夹持架（19）上连接有撬动片（32），所述撬动片（32）转动连接在转轴二（31）上，所述夹持架（19）一端夹持在推杆（10）上，所述齿环（28）一侧设置有用以带动齿环（28）转动的连动组件。
8.根据权利要求7所述的一种防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述连动组件包括升降齿条（8），所述升降齿条（8）上端贯穿u型板（2）固定连接在限位块（5）上，所述升降齿条（8）一侧设置有齿条轨（22），所述齿条轨（22）固定连接在u型板（2）上，所述升降齿条（8）一侧与齿环（28）之间相互啮合。