一种导电线路打印方法、装置、电子设备及介质与流程

本说明书的一个或多个实施例涉及半导体，具体涉及一种导电线路打印方法、装置、电子设备及介质。

背景技术：

1、随着半导体设计技术和制程能力的发展，基于集成电路芯片的微电子装备向着微型化、集成化、高频化、高环境耐受性的方向快速迭代。为实现精密的电路控制，需要在基材上制作高精度的电路图案，现有电路制作方法主要采用物理气相沉积技术在基底上沉积所需的薄膜层，然后使用光刻技术在薄膜上制作所需电路图案，或是通过激光直接烧蚀无用的金属膜层区域，留下所需电路图案。然而，此类方法均只能在较为平整的界面上制作线路，当在有复杂地形或有明显高度差异的界面进行制程时，常常存在光刻/激光失焦、成膜不良、刻蚀不良等现象，导致制作的电路精度低，并对电导率和基体性能造成影响。另外，现有导电线路打印方法在打印过程中，打印针头需要与打印底材保持一定的接触力以实现正常的墨水传递，然而，由于打印底材的表面不平整性、针头的磨损或其他突发因素，打印针头的高度可能随时会发生变化，导致打印质量下降或者无法正常进行打印。

技术实现思路

1、本说明书实施例提供了一种导电线路打印方法、装置、电子设备及介质，其技术方案如下：

2、第一方面，本说明书实施例提供了导电线路打印方法，包括：获取导电线路在基材上的当前规划路径并设置打印参数；建立基材坐标系，并根据所述基材坐标系确定打印针头、视觉传感器、形貌传感器之间的相对位置关系；获取视觉传感器坐标，所述视觉传感器坐标为所述视觉传感器的光轴对到所述当前规划路径第一规划点时所述视觉传感器的坐标；基于所述相对位置关系，根据所述视觉传感器坐标更新打印针头坐标以及形貌传感器坐标；基于所述形貌传感器坐标，通过所述形貌传感器扫描所述当前规划路径，得到当前规划路径坐标集合；通过所述当前规划路径坐标集合生成所述当前规划路径对应的针头打印路径，所述针头打印路径用于所述打印针头基于所述打印针头坐标执行打印动作。

3、第二方面，本说明书实施例提供了一种导电线路打印装置，包括：路径获取单元，用于获取导电线路在基材上的当前规划路径并设置打印参数；坐标建立单元，用于建立基材坐标系，并根据所述基材坐标系确定打印针头、视觉传感器、形貌传感器之间的相对位置关系；坐标获取单元，用于获取视觉传感器坐标，所述视觉传感器坐标为所述视觉传感器的光轴对到所述当前规划路径第一规划点时所述视觉传感器的坐标；扫描单元，用于基于所述形貌传感器坐标，通过所述形貌传感器扫描所述当前规划路径，得到当前规划路径坐标集合；路径生成单元，用于通过所述当前规划路径坐标集合生成所述当前规划路径对应的针头打印路径，所述针头打印路径用于所述打印针头基于所述打印针头坐标执行打印动作。

4、第三方面，本说明书实施例提供了一种电子设备，包括处理器以及存储器；处理器与存储器相连；存储器，用于存储可执行程序代码；处理器通过读取存储器中存储的可执行程序代码来运行与可执行程序代码对应的程序，以用于执行上述实施例第一方面的导电线路打印方法的步骤。

5、第四方面，本说明书实施例提供了一种计算机存储介质，计算机存储介质存储有多条指令，指令适于由处理器加载并执行上述实施例第一方面的导电线路打印方法的步骤。

6、本说明书一些实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

7、本说明书实施例基于高精度打印技术，通过打印针头、视觉传感器、形貌传感器之间的相对位置关系更新打印针头坐标以及形貌传感器坐标，通过形貌传感器扫描当前规划路径，得到当前规划路径坐标集合，通过当前规划路径坐标集合生成当前规划路径对应的针头打印路径。本说明书实施例不仅能够实现在非平整基材上精准制作导电线路，导电线路精度高，而且在打印过程中能够通过形貌传感器扫描出当前规划路径对应的当前规划路径坐标集合，以进一步对打印针头的高度进行实时调整和补偿，确保了打印质量的稳定性和一致性。

技术特征：

1.一种导电线路打印方法，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，所述通过所述当前规划路径坐标集合生成所述当前规划路径对应的针头打印路径，还包括：

3.根据权利要求2所述的方法，所述将所述当前规划路径坐标集合拟合为平滑的形貌曲线，根据所述形貌曲线以及所述打印参数生成对应的针头打印路径，还包括：

4.根据权利要求3所述的方法，所述在拟合过程中过滤所述异常坐标数据，还包括：

5.根据权利要求3所述的方法，所述将所述当前规划路径坐标集合拟合为平滑的形貌曲线，还包括：

6.根据权利要求1所述的方法，所述通过所述当前规划路径坐标集合生成所述当前规划路径对应的针头打印路径之后，还包括：

7.根据权利要求6所述的方法，所述基于所述针头打印路径，通过所述打印针头基于所述打印针头坐标执行打印动作，包括：

8.一种导电线路打印装置，包括：

9.一种电子设备，包括处理器以及存储器；

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1～7任一项所述的方法。

技术总结
本说明书实施例公开了一种导电线路打印方法、装置、电子设备及介质。其中，导电线路打印方法中方法包括获取导电线路在基材上的当前规划路径并设置打印参数；建立基材坐标系，并根据基材坐标系确定打印针头、视觉传感器、形貌传感器之间的相对位置关系；获取视觉传感器坐标；基于相对位置关系，根据视觉传感器坐标更新打印针头坐标以及形貌传感器坐标；基于形貌传感器坐标，通过形貌传感器扫描当前规划路径，得到当前规划路径坐标集合；通过当前规划路径坐标集合生成当前规划路径对应的针头打印路径。本说明书实施例不仅导电线路精度高，而且确保了打印质量的稳定性和一致性。

技术研发人员：周南嘉,陈枫,喻长宜,池益帆,曹方义,冯雨晨,张若虚
受保护的技术使用者：芯体素（杭州）科技发展有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/4