一种晶圆贴膜设备的制作方法

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆贴膜设备。

背景技术：

1、在半导体制造过程中，划片操作之前，会在晶圆背面覆盖上一层用于固定的离心膜胶带。这层胶带至关重要，它的主要功能是将芯片牢固地黏附在胶膜上，确保在后续切割过程中保持晶粒完整，减少崩碎、位移和掉落等现象。此外，这层胶带还为芯片提供必要的绝缘性能，防止切割过程中的电流对芯片造成不良影响。

2、现有技术的贴膜设备本身具备切割膜贴覆功能，主要是针对蓝膜贴膜。但是离心膜和蓝膜的贴覆方式有很大的不同。贴覆蓝膜的时候，装有蓝膜的滚轮会转动，机械臂随之移动，把蓝膜覆盖在晶圆的背面。然后，切割刀沿着钢圈切割，完成贴膜的过程。至于离心膜，是由透明保护膜、离心膜主体和离心膜载体三部分组成。在贴膜之前，装有离心膜的辊轴会转动，废料辊轴会收集保护离心膜的透明膜。当离心膜经过夹棍时，离心膜的一端会从载体上分离。然后通过压板会向工作台移动，并带动离心膜脱落的那一部分使其整体脱落，同时将脱落的离心膜压合粘贴在晶圆上。但是，由于离心膜受到重力的影响脱落的离心膜表现为自然垂落状态，有时压板压不到脱落部分的离心膜导致无法将离心膜压合粘贴在晶圆上，会造成原料浪费和制程不良。

技术实现思路

1、本发明的目的是针对现有技术的压板压不到脱落部分的离心膜导致原料浪费和制程不良的技术问题，提供一种晶圆贴膜设备。

2、本发明实施例中，提供了一种晶圆贴膜设备，其包括工作台、临近所述工作台设置的机械臂、设置于所述工作台上方的膜传送装置、脱模机构以及设置于所述工作台侧面且朝向所述脱模机构设置的鼓风装置，所述机械臂用于将待贴膜的晶圆移动到所述工作台上，所述膜传送装置用于使装载离心膜的离心膜载体在设定的路径上运动并经过所述脱模机构，所述脱模机构用于在离心膜经过时使离心膜与离心膜载体分离并覆盖所述工作台上的晶圆，所述鼓风装置用于对刚刚与所述离心膜载体分离的离心膜边缘吹风，使得离心膜快速脱离离心膜载体。

3、本发明实施例中，所述膜传送装置包括物料轴、载体收集轴、透明膜收集轴，所述物料轴上放置卷材物料，所述卷材物料包括层叠贴合的离心膜载体、离心膜及透明膜，所述离心膜分段粘贴于所述离心膜载体上，所述载体收集轴通过所述离心膜载体与所述物料轴相连接，所述透明膜收集轴通过所述透明膜与所述物料轴相连接，所述透明膜收集轴转动时，将所述离心膜上覆盖的透明膜去掉。

4、本发明实施例中，所述脱模机构为一位于所述载体收集轴和所述物料轴之间的夹片，当所述离心膜载体通过所述夹片时，运动方向发生转折，从而使得所述离心膜脱离所述离心膜载体。

5、本发明实施例中，还包括一设置于所述脱模机构一侧的压辊，所述压辊用于在离心膜与离心膜载体分离时，从露出的离心膜上滚过，使离心膜完全脱离并压合在晶圆上。

6、本发明实施例中，所述的晶圆贴膜设备还包括与所述压辊相连接的电机，用于控制所述压辊的运动。

7、本发明实施例中，所述的晶圆贴膜设备还包括用于存放晶圆的晶圆存储装置。

8、本发明实施例中，所述机械臂上设置有用于吸取晶圆的真空吸盘。

9、本发明实施例中，所述鼓风装置包括一管道及与所述多孔管道相连接的气泵，所述管道上设置有多个朝向所述脱模机构的气孔。

10、与现有技术相比较，本发明的晶圆贴膜设备设置了一个朝向所述脱模机构的鼓风装置，当装载有离心膜的离心膜载体经过脱模机构时，离心膜与离心膜载体开始分离一部分，此时所述鼓风装置正对分离出的部分离心膜进行吹风，使离心膜与离心膜载体快速分离出更多的部分，从而使得压辊经过时可以压住分离出的离心膜，防止出现压板压不到脱落部分的离心膜而导致原料浪费和制程不良的技术问题。

技术特征：

1.一种晶圆贴膜设备，其特征在于，包括工作台、临近所述工作台设置的机械臂、设置于所述工作台上方的膜传送装置、脱模机构以及设置于所述工作台侧面且朝向所述脱模机构设置的鼓风装置，所述机械臂用于将待贴膜的晶圆移动到所述工作台上，所述膜传送装置用于使装载离心膜的离心膜载体在设定的路径上运动并经过所述脱模机构，所述脱模机构用于在离心膜经过时使离心膜与离心膜载体分离并覆盖所述工作台上的晶圆，所述鼓风装置用于对刚刚与所述离心膜载体分离的离心膜边缘吹风，使得离心膜快速脱离离心膜载体。

2.如权利要求1所述的晶圆贴膜设备，其特征在于，所述膜传送装置包括物料轴、载体收集轴、透明膜收集轴，所述物料轴上放置卷材物料，所述卷材物料包括层叠贴合的离心膜载体、离心膜及透明膜，所述离心膜分段粘贴于所述离心膜载体上，所述载体收集轴通过所述离心膜载体与所述物料轴相连接，所述透明膜收集轴通过所述透明膜与所述物料轴相连接，所述透明膜收集轴转动时，将所述离心膜上覆盖的透明膜去掉。

3.如权利要求1所述的晶圆贴膜设备，其特征在于，还包括一设置于所述脱模机构一侧的压辊，所述压辊用于在离心膜与离心膜载体分离时，从露出的离心膜上滚过，使离心膜完全脱离并压合在晶圆上。

4.如权利要求1所述的晶圆贴膜设备，其特征在于，还包括：

5.如权利要求1所述的晶圆贴膜设备，其特征在于，还包括：

6.如权利要求1所述的晶圆贴膜设备，其特征在于，所述机械臂上设置有用于吸取晶圆的真空吸盘。

7.如权利要求1所述的晶圆贴膜设备，其特征在于，所述鼓风装置包括一管道及与所述多孔管道相连接的气泵，所述管道上设置有多个朝向所述脱模机构的气孔。

技术总结
本发明提供了一种晶圆贴膜设备，其包括工作台、临近所述工作台设置的机械臂、设置于所述工作台上方的膜传送装置、脱模机构以及设置于所述工作台侧面且朝向所述脱模机构设置的鼓风装置，所述机械臂用于将待贴膜的晶圆移动到所述工作台上，所述膜传送装置用于使装载离心膜的离心膜载体在设定的路径上运动并经过所述脱模机构，所述脱模机构用于在离心膜经过时使离心膜与离心膜载体分离并覆盖所述工作台上的晶圆，所述鼓风装置用于对刚刚与所述离心膜载体分离的离心膜边缘吹风，使得离心膜快速脱离离心膜载体。采用本发明的晶圆贴膜设备，可以减少贴膜过程中的原料浪费和制程不良问题。

技术研发人员：陈盛荣,刘欣,李凤珍,蒋英敏,饶锡平,张子涵
受保护的技术使用者：广东气派科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17