晶圆圆心定位装置的制作方法

本技术涉及半导体，特别涉及晶圆圆心定位装置。

背景技术：

1、晶圆片，是将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片制成的标准的圆形片。

2、专利号202021234180.7公开了晶圆圆周定位装置，该方案通过采用多对夹爪分别夹持对中的方式，对晶圆中心和回转杆中心的同心度进行精确定位，仅需通过简单地更换夹爪规格，即可实现针对不同规格的晶圆的定位。

3、然而该方案在实施过程中，在对晶圆进行对中时，需要操作人员更换夹爪，非常麻烦，不能够及时便捷的完成晶圆的对中工作，进而则会影响晶圆的检测效率，使整体装置在使用中产生弊端。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供晶圆圆心定位装置，能够解决方案中需要来回更换夹爪的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：晶圆圆心定位装置，包括放置架，所述放置架的上表面固定连接有连接柱，连接柱的上端固定连接长板，长板的表面开设有贯穿长板表面的收纳槽，放置架的上表面开设有移动槽，移动槽的内部设置有对中机构，收纳槽的内壁开设有转动槽，转动槽的内壁滑动连接有圆板，圆板的底部固定连接有液压伸缩杆，液压伸缩杆固定连接在放置架的内部。

3、优选的，所述对中机构包括转杆，转杆的表面与长板的内壁转动连接，转杆贯穿长板的表面，转杆的下端固定连接有第一齿轮，长板的下方设置有圆环，圆环的内外壁均开设有齿牙，圆环通过齿牙与第一齿轮啮合连接，圆环内壁的齿牙啮合连接有第二齿轮，第二齿轮的表面转动连接在放置架的表面。

4、优选的，所述圆环的表面开设有呈凸形的环形槽，环形槽的内壁滑动连接有凸形的限位杆，限位杆的两侧均为弧形，限位杆的上端固定连接在长板的底部。

5、优选的，所述移动槽的内壁滑动连接有移动块，移动块靠近晶圆的一侧为弧形。

6、优选的，所述移动块的侧壁同样开设有齿牙，移动块通过齿牙与第二齿轮啮合连接。

7、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

8、(1)、该晶圆圆心定位装置，通过对中机构的设置，使操作人员只需要对转动转杆就可以完成晶圆圆心的定位，降低了晶圆圆心定位的难度，提高了装置的实用性，同时装置不需要更换夹爪就可以实现对不同尺寸晶圆的圆心进行定位，进而提高了操作人员的工作效率，同时能够使操作人员能够快速上手，进而扩大了装置的适用范围，提高了装置的适用性。

9、(2)、该晶圆圆心定位装置，通过限位杆与环形槽凸形的设置，进而避免了限位杆与环形槽的脱离，进而避免了圆环的脱落，保证了圆环的稳定连接，保证了圆环的稳定运行。

10、(3)、该晶圆圆心定位装置，通过圆板与液压伸缩杆的设置，方便了操作人员的对晶圆的取出，避免了由于晶圆过于圆滑，导致操作人员难以经晶圆取出的情况，降低了晶圆的取出难度，进而提高了操作人员对晶圆的检测效率。

技术特征：

1.晶圆圆心定位装置，其特征在于：包括放置架(1)，所述放置架(1)的上表面固定连接有连接柱(16)，连接柱(16)的上端固定连接长板(2)，长板(2)的表面开设有贯穿长板(2)表面的收纳槽(3)，放置架(1)的上表面开设有移动槽(7)，移动槽(7)的内部设置有对中机构，收纳槽(3)的内壁开设有转动槽(13)，转动槽(13)的内壁滑动连接有圆板(14)，圆板(14)的底部固定连接有液压伸缩杆(15)，液压伸缩杆(15)固定连接在放置架(1)的内部。

2.根据权利要求1所述的晶圆圆心定位装置，其特征在于：所述对中机构包括转杆(4)，转杆(4)的表面与长板(2)的内壁转动连接，转杆(4)贯穿长板(2)的表面，转杆(4)的下端固定连接有第一齿轮(8)，长板(2)的下方设置有圆环(9)，圆环(9)的内外壁均开设有齿牙(6)，圆环(9)通过齿牙(6)与第一齿轮(8)啮合连接，圆环(9)内壁的齿牙(6)啮合连接有第二齿轮(12)，第二齿轮(12)的表面转动连接在放置架(1)的表面。

3.根据权利要求2所述的晶圆圆心定位装置，其特征在于：所述圆环(9)的表面开设有呈凸形的环形槽(10)，环形槽(10)的内壁滑动连接有凸形的限位杆(11)，限位杆(11)的两侧均为弧形，限位杆(11)的上端固定连接在长板(2)的底部。

4.根据权利要求3所述的晶圆圆心定位装置，其特征在于：所述移动槽(7)的内壁滑动连接有移动块(5)，移动块(5)靠近晶圆的一侧为弧形。

5.根据权利要求4所述的晶圆圆心定位装置，其特征在于：所述移动块(5)的侧壁同样开设有齿牙(6)，移动块(5)通过齿牙(6)与第二齿轮(12)啮合连接。

技术总结
本技术公开了晶圆圆心定位装置，涉及半导体技术领域，该晶圆圆心定位装置，包括放置架，所述放置架的上表面固定连接有连接柱，连接柱的上端固定连接长板，长板的表面开设有贯穿长板表面的收纳槽，放置架的上表面开设有移动槽，移动槽的内部设置有对中机构，收纳槽的内壁开设有转动槽，转动槽的内壁滑动连接有圆板，通过对中机构的设置，使操作人员只需要对转动转杆就可以完成晶圆圆心的定位，降低了晶圆圆心定位的难度，提高了装置的实用性，同时装置不需要更换夹爪就可以实现对不同尺寸晶圆的圆心进行定位，提高了操作人员的工作效率，同时能够使操作人员能够快速上手，进而扩大了装置的适用范围，提高了装置的适用性。

技术研发人员：易佳朋,刘建辉,黄辉,张罗丹,林伟龙,曹光辉
受保护的技术使用者：深圳中科精工科技有限公司
技术研发日：20230103
技术公布日：2024/1/12