一种精确扩晶高度治具的制作方法

本技术涉及扩晶治具，具体涉及一种精确扩晶高度治具。

背景技术：

1、在led灯的生产过程中，led晶片的检测和分选是一道非常重要的工序。为了易于对led晶片的检测和分选，必须扩大晶片膜上原有led晶片之间的间距，也就是通过扩晶机对晶片膜进行扩晶操作。

2、根据公开号为：cn212625509u的中国专利，包括内环、外环和锁紧组件，其中，外环套设在内环外并与内环同心设置；锁紧组件包括相匹配的卡紧件和卡槽，卡紧件和卡槽中的一个设置在内环的外侧壁上，另一个设置在外环的内侧壁上，且卡紧件沿径向方向可移动地弹性连接在内环或外环上。

3、上述方案仍存在如下缺点：此扩晶治具无法进行机械切膜，固膜完成之后还需要人工将多余的薄膜用刀片割掉，不仅降低效率，而且由于人工的不确定性，切膜的质量也无法保证，为此我们提出了一种精确扩晶高度治具。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种精确扩晶高度治具，解决了扩晶治具无法进行机械切膜，固膜完成之后还需要人工将多余的薄膜用刀片割掉，不仅降低效率，而且由于人工的不确定性，切膜的质量也无法保证的问题。

2、本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

3、一种精确扩晶高度治具，包括：底座，所述底座的顶面固定安装有支撑板，所述支撑板的一侧固定安装有连接板，所述连接板的顶面开设有若干个固定孔，所述固定孔的内圆壁面固定套设有第一电动推杆，按压组件，所述按压组件设置在所述底座的上方，用于对晶圆进行扩晶操作。

4、通过采用上述技术方案，通过设置第一电动推杆，第一电动推杆伸缩杆的底端固定安装有按压板，进而当工作人员通过plc控制器启动第一电动推杆后使得按压板进行上下移动，从而可以使得薄膜进行按压固定。

5、较佳的，所述按压组件包括：按压板，所述按压板固定安装在所述第一电动推杆伸缩杆的底端，所述按压板的顶面开设有通孔，所述连接板的顶面开设有限位孔，所述限位孔与所述通孔相对应，所述限位孔的内圆壁面固定套设有气缸，所述气缸的一端固定安装有按压盘，所述按压盘与所述通孔活动套设。

6、通过采用上述技术方案，通过设置按压盘，按压盘的顶端固定安装有气缸，进而当工作人员通过plc控制器启动气缸后使得按压盘进行按压，从而可以使得按压盘对扩晶环进行按压。

7、较佳的，所述按压组件还包括：放置盘，所述放置盘设置在所述底座的顶面，所述底座的顶面开设有限位槽，所述限位槽与所述通孔相对应，所述限位槽与所述放置盘活动套设。

8、通过采用上述技术方案，通过设置放置盘，放置盘的顶面固定安装有固定盘，进而可以使得对固定盘进行支撑，从而当放置盘被第二电动推杆推动后使得薄膜被放置盘撑起。

9、较佳的，所述放置盘的顶端固定安装有固定盘，所述限位槽的内部底面开设有固定槽。

10、通过采用上述技术方案，通过设置固定盘，固定盘固定安装在放置盘的顶端，进而可以使得薄膜放置在固定盘上后通过第二电动推杆进行推动，从而对扩晶环与薄膜进行按压。

11、较佳的，所述固定槽的内圆壁面固定套设有第二电动推杆，所述第二电动推杆伸缩杆的顶端与所述放置盘的底端固定安装。

12、通过采用上述技术方案，通过设置第二电动推杆，第二电动推杆伸缩杆的顶端固定安装有放置盘，进而当薄膜被按压板进行按压固定后，通过启动第二电动推杆，使得固定盘上的薄膜进行推动。

13、较佳的，所述底座的顶面固定安装有两个固定块，所述固定块的一侧固定安装有第三电动推杆，所述第三电动推杆伸缩杆的一端固定安装有切割环。

14、通过采用上述技术方案，通过设置切割环，切割环的外圆壁面固定安装有第三电动推杆，进而当工作人员通过启动第三电动推杆后使得切割环进行推动，从而可以使得切割环对薄膜的边缘进行切割。

15、综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：

16、通过设置按压组件，按压组件可以提高对扩晶按压的精准度，并且可以进行切膜，固膜完成之后不需要人工将多余的薄膜用刀片割掉，按压组件通过第三电动推杆推动切割环对薄膜进行切割，提高了效率，切膜的质量也能得到保证，通过设置第一电动推杆，第一电动推杆伸缩杆的底端固定安装有按压板，进而当工作人员通过plc控制器启动第一电动推杆后使得按压板进行上下移动，从而可以使得薄膜进行按压固定，通过设置按压盘，按压盘的顶端固定安装有气缸，进而当工作人员通过plc控制器启动气缸后使得按压盘进行按压，从而可以使得按压盘对扩晶环进行按压。

17、通过设置放置盘，放置盘的顶面固定安装有固定盘，进而可以使得对固定盘进行支撑，从而当放置盘被第二电动推杆推动后使得薄膜被放置盘撑起，通过设置固定盘，固定盘固定安装在放置盘的顶端，进而可以使得薄膜放置在固定盘上后通过第二电动推杆进行推动，从而对扩晶环与薄膜进行按压，通过设置第二电动推杆，第二电动推杆伸缩杆的顶端固定安装有放置盘，进而当薄膜被按压板进行按压固定后，通过启动第二电动推杆，使得固定盘上的薄膜进行推动，通过设置切割环，切割环的外圆壁面固定安装有第三电动推杆，进而当工作人员通过启动第三电动推杆后使得切割环进行推动，从而可以使得切割环对薄膜的边缘进行切割。

技术特征：

1.一种精确扩晶高度治具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种精确扩晶高度治具，其特征在于，所述按压组件包括：

3.根据权利要求2所述的一种精确扩晶高度治具，其特征在于，所述按压组件还包括：

4.根据权利要求3所述的一种精确扩晶高度治具，其特征在于，所述放置盘(11)的顶端固定安装有固定盘(13)，所述限位槽(12)的内部底面开设有固定槽(14)。

5.根据权利要求4所述的一种精确扩晶高度治具，其特征在于，所述固定槽(14)的内圆壁面固定套设有第二电动推杆(15)，所述第二电动推杆(15)伸缩杆的顶端与所述放置盘(11)的底端固定安装。

6.根据权利要求1所述的一种精确扩晶高度治具，其特征在于，所述底座(1)的顶面固定安装有两个固定块(16)，所述固定块(16)的一侧固定安装有第三电动推杆(17)，所述第三电动推杆(17)伸缩杆的一端固定安装有切割环(18)。

技术总结
本技术公开了一种精确扩晶高度治具，其技术方案要点是：包括底座，所述底座的顶面固定安装有支撑板，所述支撑板的一侧固定安装有连接板，所述连接板的顶面开设有若干个固定孔，所述固定孔的内圆壁面固定套设有第一电动推杆；按压组件，所述按压组件设置在所述底座的上方，用于对晶圆进行扩晶操作，通过设置第一电动推杆，第一电动推杆伸缩杆的底端固定安装有按压板，进而当工作人员通过PLC控制器启动第一电动推杆后使得按压板进行上下移动，从而可以使得薄膜进行按压固定，通过设置按压盘，按压盘的顶端固定安装有气缸，进而当工作人员通过PLC控制器启动气缸后使得按压盘进行按压，从而可以使得按压盘对扩晶环进行按压。

技术研发人员：解寿正,刘冬寅,孙露,欧波涛
受保护的技术使用者：江苏瑞博光电科技有限公司
技术研发日：20230130
技术公布日：2024/1/12