ChuckPin防止晶圆破损结构的制作方法

本技术涉及晶圆防护，具体地，涉及chuck pin防止晶圆破损结构。

背景技术：

1、晶圆放在chuck盘上，chuck盘带动晶圆高速旋转，从而产生离心力。为此，现有技术中存在克服离心力、限制晶圆活动的装置，这些装置能够对晶圆形成一定的保护作用，将晶圆左右限制在chuck盘上，能够使chuck盘带动晶圆高速转动过程中把晶圆限位于安全位置，从而可以在气压稳定(伯努利原理)的条件下解决因高速旋转产生离心力而破片的问题。

2、现有chuck pin由于自身形状为直上直下结构的原因，若不借助于外部结构加以限制晶圆位置，则只能保证气压稳定不能出现波动，否则会影响气压(伯努利原理)导致离心力发生变化使晶圆向上移动出安全位置而发生破片带来经济损失。

技术实现思路

1、针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种chuck pin防止晶圆破损结构。

2、根据本实用新型提供的一种chuck pin防止晶圆破损结构，包括防止晶圆破损结构、chuck pin以及晶圆，防止晶圆破损结构位于chuck pin顶端，晶圆限位于chuck pin上，且防止晶圆破损结构位于晶圆的边缘上方。

3、一些实施例中，防止晶圆破损结构与chuck pin顶部圆柱角度为90°-180°

4、一些实施例中，防止晶圆破损结构与chuck pin顶部圆柱呈90°相接。

5、一些实施例中，防止晶圆破损结构呈圆形。

6、一些实施例中，防止晶圆破损结构与晶圆平行。

7、一些实施例中，chuck pin与晶圆垂直。

8、一些实施例中，chuck pin与防止晶圆破损结构一一对应连接。

9、一些实施例中，多个chuck pin位于晶圆周边。

10、一些实施例中，多个chuck pin均匀分布于晶圆周边。

11、与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：

12、本实用新型通过防止晶圆破损结构可以限制晶圆向上移动超出范围而发生破损，把晶圆限制在安全位置内，在高速转动过程中不会因离心力问题而转出安全位置；尤其适用于气压不稳的用户，可以有效弥补因气压不稳(伯努利原理)而带来的破片风险，从而使得本发明具有减少破片、减少损失、提升设备稳定性的功能。

技术特征：

1.一种chuck pin防止晶圆破损结构，其特征在于，包括防止晶圆破损结构(1)、chuckpin(2)以及晶圆(3)，所述防止晶圆破损结构(1)呈圆形，所述防止晶圆破损结构(1)位于所述chuck pin(2)顶端，所述chuck pin(2)与所述防止晶圆破损结构(1)一一对应连接，所述防止晶圆破损结构(1)与所述chuck pin(2)顶部圆柱角度为90°-180°，所述晶圆(3)限位于所述chuck pin(2)上，且所述防止晶圆破损结构(1)位于所述晶圆(3)的边缘上方，所述防止晶圆破损结构(1)与所述晶圆(3)平行。

2.根据权利要求1所述的chuck pin防止晶圆破损结构，其特征在于，所述防止晶圆破损结构(1)与所述chuck pin(2)顶部圆柱呈90°相接。

3.根据权利要求1所述的chuck pin防止晶圆破损结构，其特征在于，所述chuck pin(2)与所述晶圆(3)垂直。

4.根据权利要求1所述的chuck pin防止晶圆破损结构，其特征在于，多个所述chuckpin(2)位于所述晶圆(3)周边。

5.根据权利要求1所述的chuck pin防止晶圆破损结构，其特征在于，多个所述chuckpin(2)均匀分布于所述晶圆(3)周边。

技术总结
本技术提供了一种涉及晶圆防护技术领域的Chuck Pin防止晶圆破损结构，包括防止晶圆破损结构、Chuck Pin以及晶圆，防止晶圆破损结构位于Chuck Pin顶端，晶圆限位于Chuck Pin上，且防止晶圆破损结构位于晶圆的边缘上方。本技术通过防止晶圆破损结构可以限制晶圆向上移动超出范围而发生破损，把晶圆限制在安全位置内，在高速转动过程中不会因离心力问题而转出安全位置；尤其适用于气压不稳的用户，可以有效弥补因气压不稳(伯努利原理)而带来的破片风险，从而使得本发明具有减少破片、减少损失、提升设备稳定性的功能。

技术研发人员：石绍亮
受保护的技术使用者：淄博绿能芯创电子科技有限公司
技术研发日：20230208
技术公布日：2024/1/15